CN218602379U - 检测系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种检测系统，所述检测系统包括第一检测组件、转台、第二检测组件和第三检测组件，第一检测组件的检测端朝上设置，以便检测晶粒的下端面，转台用于放置晶粒，且转台可沿其周向转动以带动晶粒转动，第二检测组件设在转台的上方，第二检测组件的检测端与转台沿上下方向间隔相对设置，以便检测晶粒的上端面，第三检测组件设在转台的一侧，在转台的径向方向上，第三检测组件的检测端的至少部分与转台的上端面间隔相对设置，以便检测晶粒的外周面。本实用新型的检测系统具有检测效率高、结构简单、成本低廉等优点。

Description

检测系统

技术领域

本实用新型涉及一种芯片芯片制造、封装领域，具体地，涉及一种检测系统。

背景技术

晶圆是属于一种硬脆性的材质，在经过物理或激光阵列切割后，会对晶圆上的晶粒的边的崩缺，造成晶粒中间的震裂，晶粒表面的污染，容易导致晶粒功能的失效或各种缺陷产生。如果在封装阶段引入到这种晶粒进入封装，会造成整个封装过程的无端浪费和损失。

相关技术中，晶片的检测效率较低，检测结果不准确。

实用新型内容

本实用新型是基于发明人对以下事实和问题的发现和认识做出的：

相关技术中，例如专利号CN104624520A-裸晶粒缺陷检测设备，设置第一表面检测传感器、第三、五表面检测传感器、第二表面检测传感器和第四、六表面检测传感器等对晶粒外表面进行检测，但是表面检测传感器无法360°对晶粒外表面进行全方位检测，导致晶粒的外表面检测结果不准确。

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种晶粒检测效率高、检测结果准确的检测系统。

本实用新型实施例的检测系统包括：第一检测组件，所述第一检测组件的检测端朝上设置，以便检测晶粒的下端面；转台，所述转台用于放置所述晶粒，且所述转台可沿其周向转动以带动所述晶粒转动；第二检测组件，所述第二检测组件设在所述转台的上方，所述第二检测组件的检测端与所述转台沿上下方向间隔相对设置，以便检测所述晶粒的上端面；第三检测组件，所述第三检测组件设在所述转台的一侧，在所述转台的径向方向上，所述第三检测组件的检测端的至少部分与所述转台的上端面间隔相对设置，以便检测所述晶粒的外周面。

本实用新型实施例的检测系统，设置第一检测组件、第二检测组件、转台和第三检测组件，以对晶粒的上端面和下端面以及360°的对晶粒的外周面检测，从而能够准确的将具有缺陷的晶粒剔除，提高了检测晶粒外周面是否出现污染情况或损坏情况的准确性，减小了后续的封装成本。

在一些实施例中，所述检测系统还包括安装架，所述安装架设在所述第一检测组件的一侧；第一吸取件，所述第一吸取件用于提取晶粒，所述第一吸取件设在所述安装架上且相对于所述安装架的长度方向可移动，所述第一吸取件在所述安装架的长度方向上具有第一位置和第二位置，在所述第一位置，所述第一吸取件与所述第一检测组件沿上下方向间隔相对设置，在所述第二位置，所述第一吸取件与所述第二检测组件沿上下方向间隔设置，以便所述第一吸取件上的晶粒输送至所述转台上。

在一些实施例中，所述检测系统还包括伸缩组件，所述伸缩组件的一端与所述安装架相连且沿上下方向可伸缩运动，所述伸缩组件的另一端与所述第一吸取件相连，以便所述伸缩组件带动所述第一吸取件沿上下方向运动。

在一些实施例中，所述检测系统还包括存放盘，所述存放盘设在所述第一检测组件远离所述转台的一侧，所述存放盘上设有多个凹槽，多个所述凹槽间隔设置，所述凹槽内适于存放待检测晶粒，所述第一吸取件在所述安装架的长度方向上还具有第三位置，在所述第三位置，所述第一吸取件与所述存放盘沿上下方向间隔相对设置，所述存放盘可相对于所述第一检测组件可移动，以便所述存放盘上的晶粒与所述第一吸取件沿上下方向间隔设置。

在一些实施例中，所述检测系统还包括第四检测组件，所述第四检测组件设在所述安装架上且位于所述存放盘的上方，所述第四检测组件的检测端与所述存放盘沿上下方向间隔相对设置，以便所述第四检测组件检测所述凹槽内是否有晶粒。

在一些实施例中，所述检测系统还包括第一支撑架，所述第一支撑架设在所述安装架的一侧，所述第三检测组件设在所述安装架上，在所述第三位置，所述第一吸取件位于所述第四检测组件和所述存放盘之间。

在一些实施例中，所述检测系统还包括存放组件，所述存放组件设在所述转台远离所述第一检测组件的一侧，所述存放组件包括第一存放盒和第二存放盒，所述第一存放盒用于存放无缺陷的晶粒，所述第二存放盒用于存放缺陷晶粒。

在一些实施例中，所述检测系统还包括第二吸取件，所述第二吸取件设在所述安装架上，所述第二吸取件可相对于所述安装架的长度方向可移动，所述第二吸取件具有第四位置和第五位置，在所述第四位置，所述第二吸取件与所述转台沿上下方向间隔相对设置，在所述第五位置，所述第二吸取件与所述存放组件沿上下方向间隔相对设置。

在一些实施例中，所述存放盘、所述第一检测组件和所述转台在所述安装架的长度方向上等间距设置。

在一些实施例中，所述检测系统还包括：第二支撑架，所述第二检测组件设在所述第二支撑架上；第三支撑架，所述第三支撑架设在所述第二支撑架的一侧且于所述第二支撑架间隔设置，所述第三检测组件设在所述第三支撑架上。

附图说明

图1是本实用新型实施例的检测系统的结构示意图。

附图标记：

检测系统100；

第一检测组件1；转台2；第二检测组件3；第三检测组件4；安装架5；第一吸取件6；存放盘7；第一支撑架8；第一段81；第二段82；第三段83；第二支撑架9；第四段91；第五段92；第六段93；第三支撑架10；竖杆101；横杆102；第四检测组件11；存放组件12；第一存放盒121；第二存放盒122；第二吸取件13。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的检测系统。

如图1所示，根据本实用新型实施例的检测系统包括第一检测组件1、转台2、第二检测组件3和第三检测组件4。

第一检测组件1的检测端朝上设置，以便检测晶粒的下端面。具体地，如图1所示，第一检测组件1为LED多光谱相机，第一检测组件1的检测端(即：第一检测组件1的镜头)朝上设置，由此，可将晶粒放置在第一检测组件1的上端，使得第一检测组件1对晶粒的下端面进行检测，以检测晶粒的下端面是否出现污染情况或损坏情况，当第一检测组件1检测到晶粒下端面出现污染情况或损坏情况时，将晶粒剔除。

转台2用于放置晶粒，且转台2可沿其周向转动以带动晶粒转动。具体地，如图1所示，转台2设在第一检测组件1的左侧，转台2可进行自转，当晶粒下端面无污染情况或损坏情况时，将晶粒放置在转台2上，从而使得转台2带动晶粒沿360°转动。

第二检测组件3设在转台2的上方，第二检测组件3的检测端与转台2沿上下方向间隔相对设置，以便检测晶粒的上端面。具体地，如图1所示，第二检测组件3为LED多光谱相机，第二检测组件3设在转台2的上方，第二检测组件3的检测端(即：第二检测组件3的镜头)朝下设置且与转台2的上端面在上下方向上间隔相对设置，由此，通过第二检测组件3检测晶粒上端面是否出现污染情况或损坏情况，当第二检测组件3检测到晶粒上端面出现污染情况或损坏情况时，将晶粒剔除。

第三检测组件4设在转台2的一侧，在转台2的径向方向(如图1所示的左右或前后方向)上，第三检测组件4的检测端的至少部分与转台2的上端面间隔相对设置，以便检测晶粒的外周面。具体地，如图1所示，第三检测组件4为LED多光谱相机，第三检测组件4的检测端(即：第三检测组件4的镜头)水平设置且与转台2的上端面沿左右方向间隔相对设置，由此，当转台2转动时候，第三检测组件4可对晶粒的外周面是否出现污染情况或损坏情况进行360°检测，当晶粒的外周面出现污染情况或损坏情况时，将晶粒剔除。

本实用新型实施例的检测系统100，设置第一检测组件1和第二检测组件3，以对晶粒的上端面和下端面进行检测，设置转台2和第三检测组件4，以对晶粒的进行360°外周面检测，从而对晶粒进行全方位的检测，能够准确的将具有缺陷的晶粒剔除，提高了检测晶粒外周面是否出现污染情况或损坏情况的准确性，减小了后续晶粒的封装的加工制造成本。

在一些实施例中，检测系统100还包括安装架5和第一吸取件6

安装架5设在第一检测组件1的一侧。具体地，如图1所示，安装架5设在第一检测组件1的后面，且安装架5沿左右方向延伸。

第一吸取件6用于提取晶粒，第一吸取件6设在安装架5上且相对于安装架5的长度方向(如图1所示的左右方向)可移动，第一吸取件6在安装架5的长度方向上具有第一位置和第二位置，在第一位置，第一吸取件6与第一检测组件1沿上下方向间隔相对设置，在第二位置，第一吸取件6与第二检测组件3沿上下方向间隔设置，以便第一吸取件6上的晶粒输送至转台2上。具体地，如图1所示，第一吸取件6可以为真空吸盘，安装架5的前端面设有直线导轨，且直线导轨沿左右方向延伸，第一吸取件6设在直线导轨上，第一吸取件6通过直线导轨沿左右方向滑动，从而带动第一吸取件6在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置，第一吸取件6将带动晶粒位于第一检测组件1的上方，使得第一检测组件1检测晶粒检测晶粒的下端面是否出现污染情况或损坏情况，当晶粒上端面检测完毕后，第一吸取件6将带动晶粒移动到第二位置，使得晶粒在上下方向上与转台2相对，此时转台2停止转动，第一吸取件6将晶粒放置在转台2上，转台2带动晶粒转动，从而方便第二检测组件3检测晶粒的上端面，第三检测组件4检测晶粒的外周面，从而使得检测系统100设置更加合理，提高了检测系统100的自动化程度，减轻了操作者的劳动强度。

在一些实施例中，检测系统100还包括存放盘7，存放盘7设在第一检测组件1远离转台2的一侧，存放盘7上设有多个凹槽，多个凹槽间隔设置，凹槽内适于存放待检测晶粒，第一吸取件6在安装架5的长度方向上还具有第三位置，在第三位置，第一吸取件6与存放盘7沿上下方向间隔相对设置，存放盘7可相对于第一检测组件1可移动，以便存放盘7上的晶粒与第一吸取件6沿上下方向间隔设置。

具体地，如图1所示，存放盘7设在第一检测组件1的左侧，存放盘7的上端面可以设有多个凹槽，每个凹槽内存放有一个待检测晶粒，第一吸取件6还具有第三位置，第三位置位于第一位置的左侧，且第三位置为初始位置，当第一吸取件6位于第三位置时，第一吸取件6与存放盘7沿上下方向间隔设置，从而方便第一吸取件6吸取存放盘7上的晶粒，存放盘7可沿左右方向或前后方向移动，由此，当第一吸取件6位于第三位置时，存放盘7可沿左右方向或前后方向移动，可调整晶粒位于第一吸取件6的正下方，以方便第一吸取件6提取晶粒，进一步提高了检测系统100的自动化程度。

在一些实施例中，检测系统100还包括第四检测组件11，第四检测组件11设在安装架5上且位于存放盘7的上方，第四检测组件11的检测端与存放盘7沿上下方向间隔相对设置，以便第四检测组件11检测凹槽内是否有晶粒。具体地，如图1所示，第四检测组件11可以为CCD识别相机，且第四检测组件11设在安装架5上且第四检测组件11的检测端(即：第四检测组件11的镜头)与存放盘7沿上下方向间隔相对设置，由此，通过第四检测组件11可对存放盘7的上端面进行拍摄，从而对存放盘7内的晶粒进行实时检测，且控制存放盘7移动，使得晶粒与第一吸取件6在上下方向上相对设置。

在一些实施例中，检测系统100还包括第一支撑架8，第一支撑架8设在安装架5的一侧，第四检测组件11设在安装架5上，在第三位置，第一吸取件6位于第三检测组件4和存放盘7之间。具体地，如图1所示，第一支撑架8设在安装架5的右前方，且第一支撑架8包括第一段81、第二段82和第三段83，第一段81和第三段83沿上下方延伸，第二段82沿水平方向延伸，且第一段81的下端固定在地面上，第一段81的上端与第二段82的右端相连，第二段82的左端与第三段83相连，第四检测组件11固定在第三段83的下方，由此，通过第一支撑架8将第四检测组件11悬挂在存放盘7上方，通过第一支撑架8为第四检测组件11提供安装基础。

在一些实施例中，检测系统100还包括存放组件12，存放组件12设在转台2远离第一检测组件1的一侧，存放组件12包括第一存放盒121和第二存放盒122，第一存放盒121用于存放无缺陷的晶粒，第二存放盒122用于存放缺陷晶粒。具体地，如图1所示，存放组件12设在转台2的左侧，存放组件12包括第一存放盒121和第二存放盒122，且第一存放盒121和第二存放盒122沿前后方向间隔设置，第一存放盒121可用于存放无缺陷的晶粒，第二存放盒122用于存放缺陷晶粒，从而将有缺陷的晶粒和无缺陷晶粒通过第一存放盒121和第二存放盒122挑选开来。

在一些实施例中，检测系统100还包括第二吸取件13，第二吸取件13设在安装架5上，第二吸取件13可相对于安装架5的长度方向可移动，第二吸取件13具有第四位置和第五位置，在第四位置，第二吸取件13与转台2沿上下方向间隔相对设置，在第五位置，第二吸取件13与存放组件12沿上下方向间隔相对设置。具体地，如图1所示，第二吸取件13可以为真空吸盘，第二吸取件13设在直线滑轨上且与第一吸取件6沿左右方向间隔设置，第二吸取件13可通过直线滑轨在左右方向上在第四位置和第五位置之间移动，当第二检测组件3和第三检测组件4检测晶粒完毕后，第二吸取件13将移动到第四位置(即转台2的上方)，第二吸取件13将转台2上的晶粒吸取起来，然后带动晶粒移动到第五位置，使得晶粒与存放组件12在上下方向上相对设置，从而使得有缺陷的晶粒放入第二存放盒122，无缺陷晶粒放入第一存放盒121。

可以理解的是，第一吸取件6和第二吸取件13的运动方式不限于通过直线滑轨带动，也可以通过链条传送、带传送等运动方式，本实用新型实施例中不再描述。

在一些实施例中，检测系统100还包括伸缩组件(图中未示意出)，伸缩组件的一端与安装架5相连且沿上下方向可伸缩运动，伸缩组件的另一端与第一吸取件6相连，以便伸缩组件带动第一吸取件6在上下方向上运动。具体地，如图1所示，伸缩组件可沿上下方向进行伸缩运动，伸缩组件与直线导轨相连，第一吸取件6和第二吸取件13均设在伸缩组件的下端，由此，使得第一吸取件6和第二吸取件13可通过伸缩组件与直线滑轨相连，当第一吸取件6位于第三位置时，伸缩组件将进行伸缩运动，带动第一吸取件6朝下运动以提取存放盘7上的晶粒，当第一吸取件6提取晶粒后，伸缩组件将带动第一吸取件6朝上运动，从而方便晶粒后续在第一位置和第二位置上移动，防止晶粒在移动的过程中与第一检测组件1和转台2发生碰撞，当第一吸取件6位于第二位置时，此时转台2停止转动，伸缩组件将进行伸缩运动，以带动第一吸取件6向下运动，使得第一吸取件6上的晶粒放置在转台2上，从而防止转台2与第一吸取件6的下端面之间的间距过大，导致晶粒放置在转台2上被磕坏，当第一吸取件6上的晶粒放置在转台2后，第一吸取件6通过伸缩组件向上运动，重新返回第三位置以提取晶粒。

当晶粒在转台2上检测完毕后，转台2停止转动，第二吸取件13将运动到第四位置，伸缩组件将进行伸缩运动，伸缩组件带动第二吸取件13向下运动，从而吸取转台2上检测后的晶粒，待第二吸取件13吸取晶粒后将由伸缩组件带动向上运动，从而方便晶粒后续在第四位置和第五位置上移动，防止晶粒在移动的过程中与发生碰撞而导致晶粒防止在转台2上被磕坏，当第二吸取件13运动到第五位置时，伸缩组件将进行伸缩运动，使得伸缩组件带动第二吸取件13向下运动，以便第二吸取件13上的晶粒放置在存放组件12内，防止存放组件12与第二吸取件13的下端面之间的间距过大，导致晶粒放置在存放组件12上被磕坏，当晶粒放置在存放组件12后，第二吸取件13将由伸缩组件带动向上运动且返回至第四位置，以便第二吸取件13重新提取转台2上的晶粒。

可以理解的是，伸缩组件可以为电动推杆、气缸等等，在本实用新型实施例不做限制。

在一些实施例中，第一存放盒121和第二存放盒122可沿左右方向和前后方向移动，当且仅当第一检测组件1、第二检测组件3和第三检测组件4检测的晶粒外表面无缺陷时，第一存放盒121将移动到第二吸取件13的下方，以便晶粒放置在第一存放盒121内，当第一检测组件1、第二检测组件3和第三检测组件4的其中一个检测的晶粒外表面有缺陷时，第二存放盒122将移动到第二吸取件13的下方，以便晶粒放置在第二存放盒122内。

在一些实施例中，存放盘7、第一检测组件1和转台2在安装架5的长度方向上等间距设置。具体地，如图1所示，存放盘7、第一检测组件1和转台2在左右方向上间隔相对设置，且存放盘7和第一检测组件1在左右方向上的间距为第一间距，第一检测组件1和转台2在左右方向上的间距为第二间距，且第一间距等于第二间距，由此，使得第一位置到第三位置之间的距离等于第一位置到第二位置之间的距离，从而使得第一吸取件6在安装架5上的移动距离保持不变，从而可免去位置传感器对第一吸取件6移动的位置进行限制，直接通过机械限位装置即可对第一吸取件6移动的位置进行限制，减小了检测系统100的加工制造成本，使得检测系统100的设置更加合理。

在一些实施例中，检测系统100还包括第二支撑架9和第三支撑架10。

第二检测组件3设在第二支撑架9上，第三支撑架10设在第二支撑架9的一侧且于第二支撑架9间隔设置，第三检测组件4设在第三支撑架10上。具体地，如图1所示，第二支撑架9和第二安装架5均设在安装架5的前方且沿前后方向间隔设置，第二支撑架9包括第四段91、第五段92和第六段93，第四段91和第六段93沿上下方向延伸，第五段92沿左右方向延伸，第四段91的下端固定在地面上，第四段91的上端与第五段92的左端相连，第五段92的右端与第六段93相连且第二检测组件3设在第六段93的下方，从而通过第二支撑架9将第二检测组件3悬挂在转台2的上方，第三支撑架10包括横杆102和竖杆101，竖杆101的下端固定在地面上，竖杆101的上端与横杆102的左端固定相连，第三检测组件4固定在横杆102的右端，从而通过第三支撑架10为第三检测组件4提供安装基础。

需要说明的是，本实用新型对于第一吸取件6、第二吸取件13、存放盘7、转台2、第一存放盒121和第二存放盒122的运动方式可以通过机械驱动，也可以人工驱动第一吸取件6、第二吸取件13、存放盘7、转台2、第一存放盒121和第二存放盒122，这均是本领域人员常用的手段，本实用新型实施例在此不做限制。

在一些实施例中，检测系统100还包括控制系统(图中未示意出)，第一吸取件6、第二吸取件13、存放盘7、转台2、第一存放盒121、第二存放盒122、第一检测组件1、第二检测组件3和第三检测组件4的每一者均与控制系统相连，第一检测组件1、第二检测组件3和第三检测组件4将拍摄的检测结果传送给控制系统，控制系统将对控制第一吸取件6、第二吸取件13、存放盘7、转台2、第一存放盒121、第二存放盒122运动，从而提高了检测系统100自动化程度。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了上述实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域普通技术人员对上述实施例进行的变化、修改、替换和变型均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种检测系统，其特征在于，包括：第一检测组件，所述第一检测组件的检测端朝上设置，以便检测晶粒的下端面；转台，所述转台用于放置所述晶粒，且所述转台可沿其周向转动以带动所述晶粒转动；第二检测组件，所述第二检测组件设在所述转台的上方，所述第二检测组件的检测端与所述转台沿上下方向间隔相对设置，以便检测所述晶粒的上端面；第三检测组件，所述第三检测组件设在所述转台的一侧，在所述转台的径向方向上，所述第三检测组件的检测端的至少部分与所述转台的上端面间隔相对设置，以便检测所述晶粒的外周面。

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，还包括

安装架，所述安装架设在所述第一检测组件的一侧；

第一吸取件，所述第一吸取件用于提取晶粒，所述第一吸取件设在所述安装架上且相对于所述安装架的长度方向可移动，所述第一吸取件在所述安装架的长度方向上具有第一位置和第二位置，在所述第一位置，所述第一吸取件与所述第一检测组件沿上下方向间隔相对设置，在所述第二位置，所述第一吸取件与所述第二检测组件沿上下方向间隔设置，以便所述第一吸取件上的晶粒输送至所述转台上。

3.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，还包括伸缩组件，所述伸缩组件的一端与所述安装架相连且沿上下方向可伸缩运动，所述伸缩组件的另一端与所述第一吸取件相连，以便所述伸缩组件带动所述第一吸取件沿上下方向运动。

4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，还包括存放盘，所述存放盘设在所述第一检测组件远离所述转台的一侧，所述存放盘上设有多个凹槽，多个所述凹槽间隔设置，所述凹槽内适于存放待检测晶粒，所述第一吸取件在所述安装架的长度方向上还具有第三位置，在所述第三位置，所述第一吸取件与所述存放盘沿上下方向间隔相对设置，所述存放盘可相对于所述第一检测组件可移动，以便所述存放盘上的晶粒与所述第一吸取件沿上下方向间隔设置。

5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，还包括第四检测组件，所述第四检测组件设在所述安装架上且位于所述存放盘的上方，所述第四检测组件的检测端与所述存放盘沿上下方向间隔相对设置，以便所述第四检测组件检测所述凹槽内是否有晶粒。

6.根据权利要求5所述的检测系统，其特征在于，还包括第一支撑架，所述第一支撑架设在所述安装架的一侧，所述第三检测组件设在所述安装架上，在所述第三位置，所述第一吸取件位于所述第四检测组件和所述存放盘之间。

7.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，还包括存放组件，所述存放组件设在所述转台远离所述第一检测组件的一侧，所述存放组件包括第一存放盒和第二存放盒，所述第一存放盒用于存放无缺陷的晶粒，所述第二存放盒用于存放缺陷晶粒。

8.根据权利要求7所述的检测系统，其特征在于，还包括第二吸取件，所述第二吸取件设在所述安装架上，所述第二吸取件可相对于所述安装架的长度方向可移动，所述第二吸取件具有第四位置和第五位置，在所述第四位置，所述第二吸取件与所述转台沿上下方向间隔相对设置，在所述第五位置，所述第二吸取件与所述存放组件沿上下方向间隔相对设置。

9.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述存放盘、所述第一检测组件和所述转台在所述安装架的长度方向上等间距设置。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的检测系统，其特征在于，还包括：

第二支撑架，所述第二检测组件设在所述第二支撑架上；

第三支撑架，所述第三支撑架设在所述第二支撑架的一侧且于所述第二支撑架间隔设置，所述第三检测组件设在所述第三支撑架上。

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