JPS6141236Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、拡散炉、CVD装置等の半導体製造
装置の熱処理炉において用いられているカセツト
とボートまたは第２のカセツトとの間でウエーハ
を立替えるための装置に関する。近年、超LSI関
係の急速な発展に伴い装置の省力化、自動化の要
求が強くなつている。半導体製造装置の自動化の
一貫として、ウエーハ立替えの自動化も重要な課
題である。

従来、ウエーハの立替えは、ピンセツトや真空
チヤツクを用いて人手によりウエーハを一枚ずつ
立替えるか、または真空チヤツクを用いて自動的
にウエーハを一枚ずつ立替えているため、処理能
力に限界があり、立替えに長時間を要するばかり
でなく、挟持したウエーハの部分が汚れたり、歪
んだりしてウエーハの品質を損う欠点がある。

本考案は上記の欠点を改良するためになされた
ものであつて、多数枚のウエーハをウエーハに衝
撃を与えず同時に立替えることができるウエーハ
立替え装置を提供することを目的とする。

以下上記の目的を達成する本考案を図面に示す
実施例について説明する。

第１図は本考案装置の一実施例を示す斜視図を
示し、この実施例においてはカセツト１のウエー
ハ出入口１ａ両側にそれぞれカセツト１に沿つて
配置したローラアーム支点軸４ａ，４ｂの両端部
をそれぞれカセツト支持用プレート１４ａ，１４
ｂに枢支する。これらのローラアーム支点軸４
ａ，４ｂにそれぞれカセツト１のウエーハ出入口
１ａ側でウエーハ２を閉持・開放するためのロー
ラ３ａ，３ｂをローラアーム５ａ，５ｂを介して
支持する。カセツト支持用プレート１４ａにはウ
エーハ２の閉持・開放を行うべく各ローラアーム
支点軸４ａ，４ｂをそれぞれ反対方向に回転する
ための支点軸駆動機構１２を設ける。支点軸駆動
機構１２は例えばモータ１２ａと、このモータ１
２ａの回転をそのままローラアーム支点軸４ａに
伝達するための正回転伝達機構１２ｂと、モータ
１２ａの回転を逆方向に変えてローラアーム支点
軸４ｂに伝達するための逆回転伝達機構１２ｃと
よりなる。

カセツト支持用プレート１４ａ，１４ｂに支承
プレート１６ａ，１６ｂに支承した立替用回転軸
１５に貫通固着し、この立替用回転軸１５を回転
軸駆動機構、例えばモータ１３に連結する。カセ
ツト１に平行に配置されかつカセツト支持用プレ
ート１４ａ，１４ｂが180゜回転した際、カセツ
ト１のウエーハ出入口１ａ側と対向する位置には
ボート８を設けると共に、ボート８の上部左右位
置に、カセツト１とボート８間のウエーハ２の移
し替え時にウエーハ２をガイドするウエーハガイ
ド６，６を配置し、このウエーハガイド６，６に
それぞれウエーハガイド支持部７，７を介して左
右方向に駆動するためのガイド駆動機構（図示せ
ず）を連結せしめる。ボート８の下方にはウエー
ハ２の移し替え時にボート８の中心孔８ａを挿通
して上動するウエーハ受け９を配置し、このウエ
ーハ受け９をウエーハ受け軸受１１に支承された
ウエーハ受け軸１０に固定せしめ、このウエーハ
受け軸１０に上下動機構（図示せず）を連結す
る。１７は支承プレート１６ａ，１６ｂ、ボート
８、ウエーハ受け軸受１１等が設けられた設置台
である。

次に上記の構成において本考案装置の動作を説
明する。

カセツト１に収納された多数枚のウエーハ２を
ボート８に立替える場合には、まず、支点軸駆動
機構１２のモータ１２ａを駆動してローラアーム
支点軸４ａ，４ｂをそれぞれ正、逆回転伝達機構
１２ｂ，１２ｃを介して正、逆回転（第１図にお
いて時計、反時計方向に回転）させ、ローラアー
ム支点軸４ａ，４ｂにそれぞれローラアーム５
ａ，５ｂを介して支持したローラ３ａ，３ｂをそ
れぞれ時計、反時計方向に回転させてウエーハ２
に第２図ａ示のように押付け、ウエーハ２をロー
ラ３ａ，３ｂによつて閉持させる。

次いでモータ１３を駆動して立替用回転軸１５
を第１図において矢印で示す時計方向に回転さ
せ、ウエーハ２を収納したカセツト１及び支点軸
駆動機構１２等を支持したカセツト支持用プレー
ト１４ａ，１４ｂを時計方向に180゜回転させて
第２図ｂ示のようにカセツト１のウエーハ出入口
１ａを下向きの状態にする。

次に上下動機構によりウエーハ受け９を上動さ
せ、ウエーハ受け９の溝内に、第２図ｃ示のよう
にローラ３ａ，３ｂによつて閉持されたカセツト
１内のウエーハ２が入つたところで停止させる。
またウエーハガイド６，６をそれぞれガイド駆動
機構により第２図ｃ示のように左右方向に駆動し
て閉じ、ウエーハ２をガイドできる位置（ウエー
ハガイド６，６間の間隔がウエーハ２の直径に等
しくなつた位置）で停止させる。

次いでモータ１２ａを上記とは逆の方向に駆動
してローラアーム支点軸４ａ，４ｂをそれぞれ反
時計、時計方向に回転させ、ローラアーム支点軸
４ａ，４ｂにそれぞれローラアーム５ａ，５ｂを
介して支持したローラ３ａ，３ｂをそれぞれ反時
計、時計方向に緩くりと回転させて第２図ｄ示の
ようにウエーハ２を開放させ、ウエーハ２をウエ
ーハ受け９の溝上に移し替える。

ウエーハ受け９を上下動機構により第２図ｅ示
のように下動させ、ウエーハ２をウエーハガイド
６，６によつてガイドしつつ下動させて、第２図
ｆ示のようにボート８上に立てた状態のまま移し
替え（立替え）る。ウエーハ受け９は最下位置で
停止させる。そしてウエーハガイド６，６をそれ
ぞれガイド駆動機構により第２図ｇ示のように左
右方向に駆動して開き、一連の動作を終了する。

また、ボート８からカセツト１へのウエーハ２
の立替えは、モータ１３を上記と同じ方向に駆動
して立替用回転軸１５を第１図において矢印で示
す時計方向に回転させ、空のカセツト１及び支点
軸駆動機構１２等を支持したカセツト支持用プレ
ート１４ａ，１４ｂを時計方向に180゜回転させ
て第２図ｇ示のようにウエーハ出入口１ａを下向
きの状態にする。以下上記とは逆の過程、即ち第
２図ｇ，ｆ，ｅ，ｄ，ｃ，ｂ，ａを経てウエーハ
２をボート８よりカセツト１へ立替えることがで
きる。

このようにして多数枚のウエーハ２をカセツト
１とボート８間で同時に立替えることができる
が、カセツト支持用プレート１４ａ，１４ｂによ
つて支持されたカセツト１の数及びボート８の数
は図示のように１個の場合に限らず、複数個の場
合も上記と同様に実施することができることは勿
論である。

また、ボート８に代えて第２のカセツトを配置
し、カセツト１とこの第２のカセツトとの間で多
数枚のウエーハ２の立替えを行うこともできる。
この場合にはカセツト両側面がウエーハガイドの
役目を果すので、ウエーハガイド６，６は不用で
ある。勿論、ボート８を用いる場合でも、ボート
８の両側にカセツトガイドの役目をする側面を有
する時にはカセツトガイド６，６は不用である。

上述の説明より明らかなように本考案によれ
ば、多数枚のウエーハ２をカセツト１とボート
８または第２のカセツト間で同時に立替えること
ができ、処理能力の増大を図り立替え時間を大幅
に短縮することができる。ウエーハ２を押える
ローラ３ａ，３ｂ及びウエーハ２を支えるウエー
ハ受け９等を使用し、また必要に応じてウエーハ
ガイド６，６を使用することによりウエーハ２に
衝撃を与えずに立替えることができる。ウエー
ハ２とローラ３ａ，３ｂ、ウエーハ受け９及びウ
エーハガイド６，６等との接触は、ウエーハ端面
で行われるため、ウエーハ２を汚したり、ウエー
ハ２に歪を与えたりするおそれはほとんどなくな
り、ウエーハ２の品質を向上することができる。
支点軸駆動機構１２、回転軸駆動機構１３、ウ
エーハ受け上下動機構及びガイド駆動機構等に入
力信号を与えることによりウエーハの立替えを自
動的に行うことができるので、作業者の個有技術
を全く不要にでき、ウエーハの品質を均一にでき
るばかりでなく半導体プロセスの一連の自動化を
達成することができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の一実施例を示す斜視図、
第２図ａ〜ｇはその動作説明用断面図である。 １……カセツト、１ａ……ウエーハ出入口、２
……ウエーハ、３ａ，３ｂ……ローラ、４ａ，４
ｂ……ローラアーム支点軸、５ａ，５ｂ……ロー
ラアーム、６，６……ウエーハガイド、７，７…
…ウエーハガイド支持部、８……ボート、８ａ…
…中心孔、９……ウエーハ受け、１０……ウエー
ハ受け軸、１１……ウエーハ受け軸受、１２……
支点軸駆動機構、１２ａ……モータ、１２ｂ，１
２ｃ……正、逆回転伝達機構、１３……回転軸駆
動機構（モータ）、１４ａ，１４ｂ……カセツト
支持用プレート、１５……立替用回転軸、１６
ａ，１６ｂ……支承プレート、１７……設置台。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. カセツトとボートまたは第２のカセツトとの間
   でウエーハの立替えを行う装置において、カセツ
   トのウエーハ出入口両側にそれぞれカセツトに沿
   つて配置したローラアーム支点軸の両端部をそれ
   ぞれカセツト支持用プレートに枢支し、これらの
   ローラアーム支点軸にそれぞれカセツトのウエー
   ハ出入口側でウエーハを閉時・開放するためのロ
   ーラをローラアームを介して支持し、カセツト支
   持用プレートにウエーハの閉持・開放を行うべく
   各ローラアーム支点軸をそれぞれ反対方向に回転
   するための支点軸駆動機構を設け、カセツト支持
   用プレートを立替用回転軸に固着し、この立替用
   回転軸を回転軸駆動機構に連結せしめ、カセツト
   に平行に配置されかつカセツト支持用プレートが
   180゜回転した際、カセツトのウエーハ出入口側
   と対向する位置にボートまたは第２のカセツトを
   設けると共に、ボートまたは第２のカセツトの下
   方にウエーハの移し替え時にボートまたは第２の
   カセツトの中心孔を挿通して上動するウエーハ受
   けを配置し、このウエーハ受けに上下動機構を連
   結せしめてなるウエーハ立替え装置。