JPS6138917B2 - - Google Patents
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- JPS6138917B2 JPS6138917B2 JP369479A JP369479A JPS6138917B2 JP S6138917 B2 JPS6138917 B2 JP S6138917B2 JP 369479 A JP369479 A JP 369479A JP 369479 A JP369479 A JP 369479A JP S6138917 B2 JPS6138917 B2 JP S6138917B2
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- Japan
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- film
- ring
- vibrating membrane
- laminated
- etching
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- Expired
Links
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
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- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 241001428214 Polyides Species 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
- H04R19/01—Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はエレクトレツトコンデンサ型マイクロ
ホン等の静電型電気音響変換器の製造方法に関
し、極めて薄い振動膜をリングに安定に接着でき
る製造方法を提供するものである。
ホン等の静電型電気音響変換器の製造方法に関
し、極めて薄い振動膜をリングに安定に接着でき
る製造方法を提供するものである。
第１図、第２図は静電型電気音響変換器の断面
を示している。第１図、第２図において、１は片
面に蒸着電極が形成された厚み数μの振動膜であ
り、この振動膜１はリング２の下面に接着されて
いる。３はリング状のスペーサ、４は絶縁支持体
５に支持された固定電極であり、この固定電極４
の上面にエレクトレツト６が接着されている。７
は固定電極４およびエレクトレツト６を貫通する
孔、８は固定電極４の下面中央に設けられた端
子、９はケースである。なお、第２図におけるス
ペーサ３′は振動膜１の中央部にも設けられてい
るものである。
を示している。第１図、第２図において、１は片
面に蒸着電極が形成された厚み数μの振動膜であ
り、この振動膜１はリング２の下面に接着されて
いる。３はリング状のスペーサ、４は絶縁支持体
５に支持された固定電極であり、この固定電極４
の上面にエレクトレツト６が接着されている。７
は固定電極４およびエレクトレツト６を貫通する
孔、８は固定電極４の下面中央に設けられた端
子、９はケースである。なお、第２図におけるス
ペーサ３′は振動膜１の中央部にも設けられてい
るものである。
従来においては、リング２に厚さ数μの振動膜
１を接着する場合、第３図に示すように、振動膜
１をリング２の片面に直接接着し、振動膜１の不
要部分を取除いて製造していた。
１を接着する場合、第３図に示すように、振動膜
１をリング２の片面に直接接着し、振動膜１の不
要部分を取除いて製造していた。
しかしながら、従来においては第３図に示すよ
うに、極めて薄い振動膜１を直接リング２に接着
するため、接着後の振動膜１に張力のバラツキが
生じる欠があるとともに、製造時の振動膜の取扱
いに充分注意しなければならなく作業性が悪い欠
点があつた。また従来例においては、別途製造し
たスペーサ３，３′を振動膜１と固定電極４間に
介在させる構成であるため、スペーサ３，３′の
製造時に生じたバリ、変形等により、振動膜１と
エレクトレツト６間のギヤツプが一定とならず、
安定しない欠点があつた。
うに、極めて薄い振動膜１を直接リング２に接着
するため、接着後の振動膜１に張力のバラツキが
生じる欠があるとともに、製造時の振動膜の取扱
いに充分注意しなければならなく作業性が悪い欠
点があつた。また従来例においては、別途製造し
たスペーサ３，３′を振動膜１と固定電極４間に
介在させる構成であるため、スペーサ３，３′の
製造時に生じたバリ、変形等により、振動膜１と
エレクトレツト６間のギヤツプが一定とならず、
安定しない欠点があつた。
本発明は上記従来の欠点を除去するものであ
り、以下に本発明の実施例について説明する。
り、以下に本発明の実施例について説明する。
第４図において、２はリング、１０は四フツ化
エチレンと六フツ化プロピレンの共重合体
（FEP）からなるフイルム、１１はポリイミドか
らなるフイルムであり、このフイルム１０，１１
は積層され積層フイルム１２が形成されている。
上記積層フイルム１２は第５図に示すように、リ
ング２の下面に熱融着または接着剤等により接着
される。
エチレンと六フツ化プロピレンの共重合体
（FEP）からなるフイルム、１１はポリイミドか
らなるフイルムであり、このフイルム１０，１１
は積層され積層フイルム１２が形成されている。
上記積層フイルム１２は第５図に示すように、リ
ング２の下面に熱融着または接着剤等により接着
される。
このように、積層フイルム１２を接着した後
に、エツチングすると、ポリイミドからなるフイ
ルム１１は除去され、第６図に示すようにFEP
からなるフイルム１０が残り、このフイルム１０
が振動膜となるものである。
に、エツチングすると、ポリイミドからなるフイ
ルム１１は除去され、第６図に示すようにFEP
からなるフイルム１０が残り、このフイルム１０
が振動膜となるものである。
このように、本発明方法によれば、振動膜とな
るFEPフイルム１０の片面にポリイドフイルム
１１を積層してFEPフイルム１０を補強してリ
ング２に接着するため、振動膜の張力にバラツキ
が発生せず、またリングへの接着工程における作
業性が向上するものである。そして接着後、エツ
チングによつてフイルム１１を完全に除去しても
振動膜の張力にバラツキは発生せず、一定となる
ものである。
るFEPフイルム１０の片面にポリイドフイルム
１１を積層してFEPフイルム１０を補強してリ
ング２に接着するため、振動膜の張力にバラツキ
が発生せず、またリングへの接着工程における作
業性が向上するものである。そして接着後、エツ
チングによつてフイルム１１を完全に除去しても
振動膜の張力にバラツキは発生せず、一定となる
ものである。
なお、補強のためのフイルム１１としては、エ
ツチング可能な材料のフイルムを用いなければな
らず、また、振動膜となるフイルム１０として
は、エツチング不可能な材料、又はフイルム１１
に比較してエツチング速度が遅い材料からなるフ
イルムを用いる必要がある。
ツチング可能な材料のフイルムを用いなければな
らず、また、振動膜となるフイルム１０として
は、エツチング不可能な材料、又はフイルム１１
に比較してエツチング速度が遅い材料からなるフ
イルムを用いる必要がある。
次に、本発明の他の実施例について第７図、第
８図Ａ，Ｂとともに説明する。
８図Ａ，Ｂとともに説明する。
第７図において、２はリングであり、このリン
グ２の下面には、積層フイルム１２が接着されて
いる。このようにリング２に接着された積層フイ
ルム１２のフイルム１１をフオトエツチングによ
り、第８図Ａに示すように外周部のみを残し、ま
たは第８図Ｂに示すように外周部と中央部（点
状、同心円状等）を残し、このフイルム１１を残
存部分をスペーサとして利用するものである。
グ２の下面には、積層フイルム１２が接着されて
いる。このようにリング２に接着された積層フイ
ルム１２のフイルム１１をフオトエツチングによ
り、第８図Ａに示すように外周部のみを残し、ま
たは第８図Ｂに示すように外周部と中央部（点
状、同心円状等）を残し、このフイルム１１を残
存部分をスペーサとして利用するものである。
本実施例によれば、前記実施例と同様に、振動
膜の張力が一定となるとともに、接着工程におけ
る作業性が向上する利点を有し、さらに、スペー
サがエツチングにより形成されるため、振動膜と
固定電極との間のギヤツプが一定となり、変換器
の感度が一定となる利点を有するものである。
膜の張力が一定となるとともに、接着工程におけ
る作業性が向上する利点を有し、さらに、スペー
サがエツチングにより形成されるため、振動膜と
固定電極との間のギヤツプが一定となり、変換器
の感度が一定となる利点を有するものである。
本発明は上記のような構成であり、本発明によ
れば以下に示す効果が得られるものである。
れば以下に示す効果が得られるものである。
(1) 振動膜の張力が一定となる。
(2) 振動膜のリングへの接着工程における作業性
が向上する。
が向上する。
(3) スペーサを同時に製造することが可能とな
り、かつ振動膜と固定電極間のギヤツプが一定
となる。
り、かつ振動膜と固定電極間のギヤツプが一定
となる。
第１図、第２図はそれぞれ電気音響変換器の断
面図、第３図は従来の電気音響変換器の製造方法
における接着工程の断面図、第４図は本発明の一
実施例における電気音響変換器の製造方法におけ
る接着工程の断面図、第５図は同製造方法におけ
る積層フイルムをリングに接着した状態の断面
図、第６図は同製造方法におけるエツチング後の
断面図、第７図は本発明の他の実施例における積
層フイルムをリングに接着した状態の断面図、第
８図Ａ，Ｂはそれぞれ同製造方法におけるエツチ
ング後の断面図である。 １……振動膜、２……リング、３……スペー
サ、４……固定電極、５……絶縁支持体、６……
エレクトレツト、７……孔、８……端子、９……
ケース、１０，１１……フイルム、１２……積層
フイルム。
面図、第３図は従来の電気音響変換器の製造方法
における接着工程の断面図、第４図は本発明の一
実施例における電気音響変換器の製造方法におけ
る接着工程の断面図、第５図は同製造方法におけ
る積層フイルムをリングに接着した状態の断面
図、第６図は同製造方法におけるエツチング後の
断面図、第７図は本発明の他の実施例における積
層フイルムをリングに接着した状態の断面図、第
８図Ａ，Ｂはそれぞれ同製造方法におけるエツチ
ング後の断面図である。 １……振動膜、２……リング、３……スペー
サ、４……固定電極、５……絶縁支持体、６……
エレクトレツト、７……孔、８……端子、９……
ケース、１０，１１……フイルム、１２……積層
フイルム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 振動膜となる第１のフイルムの片面に蒸着電
極を設けるとともに、他の面にエツチング可能な
第２のフイルムを積層した積層フイルムを用い、
前記積層フイルムの蒸着電極面をリングの片面に
接着した後、エツチングにより上記第２のフイル
ムに全部又は一部除去することを特徴とする静電
型電気音響変換器の製造方法。 ２ エツチングにより積層フイルムの第２のフイ
ルムの一部分を除去し、第２のフイルムの残存部
分をスペーサとすることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の静電型電気音響変換器の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP369479A JPS5596799A (en) | 1979-01-16 | 1979-01-16 | Production of electrostatic electroacustic transducer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP369479A JPS5596799A (en) | 1979-01-16 | 1979-01-16 | Production of electrostatic electroacustic transducer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5596799A JPS5596799A (en) | 1980-07-23 |
| JPS6138917B2 true JPS6138917B2 (ja) | 1986-09-01 |
Family
ID=11564488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP369479A Granted JPS5596799A (en) | 1979-01-16 | 1979-01-16 | Production of electrostatic electroacustic transducer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5596799A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4659519B2 (ja) * | 2005-05-25 | 2011-03-30 | 株式会社オーディオテクニカ | 振動板組立体の製造方法およびコンデンサマイクロホン |
| JP4724505B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2011-07-13 | 株式会社日立製作所 | 超音波探触子およびその製造方法 |
| KR200449885Y1 (ko) * | 2008-05-19 | 2010-08-17 | 주식회사 비에스이 | 콘덴서 마이크로폰용 스페이서 일체형 다이어프램 |
-
1979
- 1979-01-16 JP JP369479A patent/JPS5596799A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5596799A (en) | 1980-07-23 |
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