JPS61294828A - 半導体マウンテイング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体マウンティング装置、特にリードフレー
ムの所定位置に半導体ペレットを自動的にマウントする
半導体７１クンテイング装置に関する。

〔発明の技術的背景〕

ダイシング後の半導体ペレットをリードフレームの所定
位置にマウントするために、一般に半導体マウンティン
グ装置が用いられている。第４図に従来の一般的な半導
体マウンティング装置を示す。この装置のほぼ中央には
、搬送用のレール６が設けられており、レール６の手前
にはストッカ５が設けられている。このストッカ５は第
６図に示すような形状をした容器で、この中にリードフ
レームが積層されて収納される。ストッカ５の底面には
開口部４８が設けられ、この開口部４８から積層された
リードフレームを押上げるエレベータが挿入される。リ
ードフレーム吸着装置７は、ストッカ５の最上層のリー
ドフレームを吸着し、これをレール６の上に供給する。

レール６上に供給されたリードフレームは、レール６上
を図の左から右へと搬送される。マウントヘッド１はダ
イシング後の半導体ウェハ３の一片を吸着し、搬送され
てきたリードフレームの所定位置にこれをマウントする
。マークント後リードフレームはアンローダマガジン２
まで送られる。マウント状態は位置検出カメラ９によっ
て検出され、その結果はモニタ８によって確認される。

オペレータはコントロールパネル４によって以上のマウ
ント工程を制御する。

第５図はこの装置を正面からみた部分説明図である。ス
トッカ５内にはリードフレーム１０が積層されている状
態が示されており、ストッカ部エレベータ駆動用モータ
１１によって、エレベータが駆動され、リードフレーム
が押上げられる。図はリードフレーム吸着装置７がスト
ッカ５内の最上層のリードフレーム１０を吸着した状態
を示す。

このリードフレーム吸着装置７は矢印のように吸引が行
われており、リードフレーム１０が保持される。レール
６上に載せられたリードフレームは、フレーム搬送用ロ
ーラ駆動モータ１３によって駆動される搬送用ローラ３
８により搬送される。マウントヘッド１は、ウェハリン
グ３ａ上に載せられたダイシング後の半導体ウェハ３の
一片である半導体ペレット１４を、矢印のように吸引す
ることによって吸着し保持する。マウント終了優のリー
ドフレームはアンローダマガジン２まで送られるが、ア
ンローダマガジン２内ではアンローダ部エレベータ駆動
用モータ１２が駆動され、リードフレームが押上げられ
、順次積層されてゆく。

〔背景技術の問題点〕

上述の装置は、レール６の脇にストッカ５が設けられて
いる。また、レール６上では、載置されたリードフレー
ムの位置決めを搬送中に行うようにしているため、レー
ル６の良さもある程度長くしなくてはならない。このた
め装置全体がかなり大きなものとなり、設置スペースを
広く占有するという問題点があった。

〔発明の目的〕

そこで本発明は小型で軽量な半導体マウンティング装置
を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明の特徴は、半導体ペレットをリードフレームの所
定位置にマウントするための半導体７１クンテイング装
置において、リードフレームを搬送するための一対のレ
ールを有する搬送手段と、レールの下方に設けられリー
ドフレームを積層して保持するストック手段と、一対の
レールの間隔を変化させることにより開閉運動させる機
構を有しストック手段の最上層のリードフレームを一対
のレールの開閉運動に連動させて一対のレール上に供給
する供給手段と、一対のレール上に供給されたリードフ
レームの所定位置に半導体ペレットをマウントするマウ
ント手段と、を設け、装置の小型化、軽量化を図った点
にある。

〔発明の実施例〕

以下本発明を図示する実施例に基づいて説明する。第１
図は本発明に係る装置の一実施例を正面からみた部分説
明図である。ス１〜ツカ５の中にはリードフレーム１０
が積層されて収容されている。

積層されたリードフレーム１０はストッカ部エレベータ
上昇板１５の上に載せられており、ストッカ部エレベー
タ駆動用モータ１１によって押上げられる。従来装置と
異なる点は、ストッカ５が搬送用のレール６の直下にあ
る点である。レール６には搬送用ロー５３８が設けられ
、この搬送用ロー５３８は搬送用ローラ駆動モータ１３
によって駆動される。ストッカ５の最上層のリードフレ
ームは後述するようにリードフレーム吸着装置７によっ
て吸着され、レール６上に供給される。レール６上のリ
ードフレーム１０は、搬送用ローラ３８によって図の左
から右へ搬送される。この搬送中にマウントヘッド１に
より半導体ペレットがリードフレーム１０の所定位置に
マウントされる。

マウント後のリードフレーム１０はアンローダマガジン
２へ送られ、アンローダ部エレベータ駆動用モータ１２
によって押上げられ、次々と積層されてゆく。

第２図は第１図に示ず装置を矢印Ｘの方向からみた説明
図である。但し、アンローダマガジン２およびこれに関
連した部材は省略されている。以下この図を参照して、
ストッカ５・の最上層のリードフレームをレール６上に
供給する機構について説明する。レール６は第１の搬送
用レール４０と第２の搬送用レール４１とから構成され
る。第１の搬送用レール４０には押さえローラ３９が設
けられ、第２の搬送用レール４１には搬送用ローラ３８
が設けられている。レール４０．４１はともに図の矢印
に示すように水平に移動可能であり、両レールによって
開閉運動を行うことができる。

まず両レールを開状態にし、リードフレーム吸着−装置
７によりストッカ５の最上層のリードフレーム５を吸着
してレール上まで持上げ、続いて両レールを閉状態にし
、リードフレーム１０をレール上に載置する。このとき
リードフレーム１０の下には、補強のためのバックアッ
プホルダ５２があられれる。リードフレーム１０はロー
ラ３８゜３９によって両側から挟まれ支持される。リー
ドフレーム１０がそのままの位置にあるうちに、マウン
トヘッド１はウェハリング３ａ上の半導体ペレット１４
を吸着して、これをマウントする。マウント終了後、リ
ードフレーム１０はＯ−ラ３８゜３９によって次のマウ
ント位置まで搬送される。

このようにしてリードフレームのすべてのマウント位置
に順次マウントが行われることになる。

リードフレーム吸着装置７はＴ型取付板４２によってレ
バー４７に取付けられ、また、レール４０はレバー４６
に、レール４１はレバー４５に取付【プられており、そ
れぞれ図の矢印の方向に運動する。レバー４５．４６．
４７はそれぞれ〇−ラ３３．３４．３５を介して偏心カ
ム３０．３１゜３２に接しており、また、それぞれスプ
リング３６．３７．４３によって固定点と接続されてい
る。これによって偏心カムの回転に応じて、レール４０
，４１およびリードフレーム吸着装置７は上述の所定の
運動を行う。

第３図はストッカ５の最上層のリードフレーム１０をレ
ール６上に供給する供給装置の別な実施例を示す。この
装置は、第２図に示す装置におけるリードフレーム吸着
装＠７とバックアップホルダ５２とを一体化したバック
アップホルダ吸着装置４９を有する。このバックアップ
ホルダ吸着装＠４９はアーム５０に、図の一点鎖線を軸
として回転するように取付けられており、モータ５１に
よって矢印の方向に回転させられる。一方、アーム５０
はローラ３５を介して偏心カム３０に接しており上下運
動をする。この装置の動作は次のようになる。まず、ア
ーム５０が下がることにより、図のようにバックアップ
ホルダ吸着装置４９の下面がストッカ５の最上層のリー
ドフレーム１０に接近し、これを吸着する。続いてレー
ル６が開状態となるとともに、アーム５０は上がり、更
にバックアップホルダ吸着装置４９が図の矢印の方向に
１８０°回転し、今まで下面だった面が上を向くように
なる。従って吸着されたリードフレーム１０もその上に
載る形となる。続いてレール６が閉状態となれば、リー
ドフレーム１０はレール６の上に載置されることになる
。マウントヘッド１によってマウント動作が行われる際
には、リードフレーム１０の下にバックアップホルダ吸
着装置４９が位置するため、補強のための特別なバック
アップホルダは不要となる。

〔発明の効果〕

以上のとおり本発明によれば、半導体マウンティング装
置において、ストッカをレールの真下に設置するように
したため、ストッカをレールの脇に設置する従来装置よ
り幅を小さくすることができ、また、ストッカの真上に
リードフレームを移動させてレール上に載せる機構とな
るため、レールに載置した時点で正確な位置決めが可能
となり、従来装置のように位置決めを行うためにレール
を長くする必要もなくなり、装置の小型化、軽量化を図
ることができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る装置の一実施例を正面からみた部
分説明図、第２図は第１図に示す装置を矢印Ｘの方向か
らみた説明図、第３図は本発明の別な実施例の部分説明
図、第４図は従来装置の一例を示す説明図、第５図は第
４図に示す装■を正面からみた部分説明図、第６図は第
４図に示す装置のストッカの説明図である。 １・・・マウントヘッド、２・・・アンローダマガジン
、３・・・半導体ウェハ、３ａ・・・ウェハリング、４
・・・コントロールパネル ７・・・リードフレーム吸着装置、８・・・モニタ、９
・・・位置検出カメラ、１０・・・リードフレーム、１
１・・・ストッカ部エレベータ駆動用モータ、１２・・
・アンローダ部エレベータ駆動用モータ、１３・・・搬
送用ローラ駆動モータ、１４・・・半導体ペレット、１
５・・・ストッカ部エレベータ上昇板、３０・・・カム
、３１・・・カム、３２・・・カム、３３・・・ローラ
、３４・・・ローラ、３５・・・ローラ、３６・・・ス
プリング、３７・・・スプリング、３８・・・搬送用ロ
ーラ、３９・・・押さえローラ、４０・・・第１の搬送
用レール、４１・・・第２の搬送用レール、４２・・・
Ｔ型取付板、４３・・・スプリング、４５・・・レバー
、４６・・・レバー、４７・・・レバー、４８・・・エ
レベータ出入用開口部、４９・・・バックアップホルダ
吸着装置、５０・・・アーム、５１・・・モータ、５２
・・・バックアップホルダ。　　・出願人代理人　　猪
　　股　　　　清 第１図 第２図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、半導体ペレットをリードフレームの所定位置にマウ
   ントするための半導体マウンティング装置であって、リ
   ードフレームを搬送するための一対のレールを有する搬
   送手段と、前記レールの下方に設けられリードフレーム
   を積層して保持するストック手段と、前記一対のレール
   の間隔を変化させることにより開閉運動させる機構を有
   し前記ストック手段の最上層のリードフレームを前記一
   対のレールの開閉運動に連動させて前記一対のレール上
   に供給する供給手段と、前記一対のレール上に供給され
   たリードフレームの所定位置に半導体ペレットをマウン
   トするマウント手段と、をそなえることを特徴とする半
   導体マウンティング装置。 ２、搬送手段がレールに取付けられた搬送用ローラを有
   することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の半導
   体マウンティング装置。 ３、ストック手段が、積層されたリードフレームを上方
   へ押上げるエレベータ機構を有することを特徴とする特
   許請求の範囲第１項または第２項記載の半導体マウンテ
   ィング装置。 ４、一対のレールを開閉運動させる機構が、偏心カムを
   用いることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３
   項のいずれかに記載の半導体マウンティング装置。 ５、供給手段がリードフレームを吸引して保持する吸着
   装置を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項乃
   至第４項のいずれかに記載の半導体マウンティング装置
   。 ６、マウント手段が半導体ペレットを吸引して保持する
   吸着装置を有することを特徴とする特許請求の範囲第１
   項乃至第５項のいずれかに記載の半導体マウンティング
   装置。 ７、マウント手段が、ストック手段の真上でマウントを
   行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第６項
   のいずれかに記載の半導体マウンティング装置。