JPS61280548A - 粒子解析装置 - Google Patents

粒子解析装置

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JPS61280548A
JPS61280548A JP60121885A JP12188585A JPS61280548A JP S61280548 A JPS61280548 A JP S61280548A JP 60121885 A JP60121885 A JP 60121885A JP 12188585 A JP12188585 A JP 12188585A JP S61280548 A JPS61280548 A JP S61280548A
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JP
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focus
light
particle analysis
analysis device
optical system
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Yuji Ito
勇二 伊藤
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Canon Inc
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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    • G01N15/10Investigating individual particles
    • G01N15/14Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、フローサイトメータ等において、合焦状態の
判定を可能とした粒子解析装置に関するものである。
[従来の技術] フローサイトメータ等に用いられる従来の粒子解析装置
では、フローセルの中央部の例えば200 gmX 2
00 pmの微小な矩形断面を有する流通部内を、シー
ス液に包まれて通過する血球細胞などの検体にレーザー
光等の照射光を照射し、その結果として生ずる前方及び
側方散乱光により、検体の形状・大きさ中屈折率等の粒
子的性質を得ることが可能である。また、蛍光剤により
染色され得る検体に対しては、照射光とほぼ直角方向の
側方散乱光から検体の蛍光を検出することにより、検体
を解析するための重要な情報を求めることができる。
フローサイトメータ等において正確な測定を行うために
は、検体粒子以外の物体からの疑似信号が混入しないよ
うに、測光用の対物レンズにより正確に検体粒子或いは
その極〈近傍のみを集光させなければならない、そのた
めに、測光用対物レンズの焦点調整を行う必要があるが
、従来装置においては測定前に標準サンプルを流しなが
ら操作者が目視により手動で焦点調整を行っているので
、操作が繁雑である上に、操作者によって個人差が生じ
、十分に正確な焦点調整を行うことが困難であるのが現
状である。
また、測定中に焦点の移動が生じた場合に、その確認が
不可能なため、測定途中で疑似信号が混入したか否かを
判別できず、データの信頼性についての不安も有してい
る。
更に、ノズルやフローセル等を交換するコトニ焦点調整
を必要とし、測定に手間が掛かる欠点がある。また、蛍
光測定を行う場合に微弱な蛍光信号を強化する必要があ
るが、そのために蛍光を検出する光電検出器をフォトマ
ルにすること・蛍光剤の発光効率を向上させること・照
射光源のパワーを増大させること・・測光用対物レンズ
の集光効率を向上させること等が考えられている。測光
用対物レンズの集光効率の向上は、対物レンズの開口数
を上げれば達成されるが、その代償として焦点深度が浅
くなるという逆効果を伴うことになる。焦点深度が浅く
なれば、流通部と対物レンズとの間の距離が僅かに変動
しただけでも、検体粒子からの信号だけてなく、他の物
体からの信号が混入してしまい、正確な測定を行うこと
ができない、このように、従来装置では焦点調整が繁雑
である上に、十分な蛍光信号強度が得られず、解析精度
が向上しないという欠点を有している。
このような欠点を除去するために、先に水出願人は特願
昭60−7040号を出願した。この装置は測光対物レ
ンズと別の光路から合焦用光束をフローセル流通部前面
及び後面に照射し、その反射光を分割型素子の光電検出
器で把え、分割型素子におけるそれぞれの出力信号が同
じ大きさになるまで、測光用対物レンズと合焦光学系と
を同時に移動させることにより合焦させる方式のもので
ある。
この装置においては、通常は十分に精度の良い合焦状態
が得られるが、分割素子による出方信号の大きさを比較
して合焦状態を測定しているために、フローセル流通部
の内部が相当に汚れて反射強度が減少した場合等には、
出方信号の大きさの比較が困難になることがある。
[発明の目的] 本発明の目的は、焦点調整を正確に行い高精度な解析を
可能とすると共に、容易に操作できる粒子解析装置を提
供することにある。
[発明の概要] 上述の目的を達成するための本発明の要旨は、ブローセ
ルの流通部を流れる検体粒子に光ビームを照射する照射
光学系と、該光ビームが検体粒子によって散乱された散
乱光を測定する測光光学系とを備え、前記流通部に少な
くとも2つの指標光束を投射し1位置検出素子で得られ
る前記流通部の前後の境界面による少なくとも計4個の
指標反射像の出力パターン信号により合焦状態を検出す
る焦点検出手段を設けたことを特徴とする粒子解析装置
である。
[発明の実施例] 本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
第1図、第2図は粒子解析装置の構成図であり、第1図
は紙面内を検体粒子Sが流れている状態を示したフロー
セル及び流通部と、側方散乱光の検出光学系及び合焦用
光学系を示し、第2図は第1図を°■−■断面から見た
図、即ち紙面を垂直に検体粒子Sが流れている状態のフ
ローセル流通部、レーザー照射光学系、前方散乱光検出
光学系及び側方散乱の光検出光学系の一部を示したもの
である。フローセル部1にサンプル液湾入口A、シース
液流入口Bが接続され、フローセル部1の先端のオリフ
ィスから高速層流となったシース液に包まれて流体力学
的焦点合わせが行われた検体粒子Sが流出し、フローセ
ル流通部2においてレーザー光照射が行われた後に、末
端部Cからドレインとして排出されるようになっている
レー・ザー光源3から出射されたレーザー光りは、光軸
01に沿って結像レンズ系を介してフローセル流通部2
を通過し、集光レンズ5を経て光電検出器6に至るよう
になっている。
また、検体粒子Sの流れの中心軸Z、及びレーザー光り
の光軸01のそれぞれにほぼ直交する方向の光軸02に
沿って、凸レンズ7舎凹レンズ8から成る測光用対物レ
ンズ系9、グイクロイックミラー等の波長選別手段10
、凸レンズ11、絞り12、凸レンズ13、波長選別手
段14及び15、反射鏡16が順次に配列されている。
そして、側方散乱光の光軸02に対して斜設された波長
選別手段14.15及び反射鏡16により反射される方
向の光路上に、凸レンズ1711バリヤフイルタ18・
光ファイバ19の一端、凸レンズ20eバリヤフイルタ
21−光ファイバ22の一端、凸レンズ2311バリヤ
フイルタ24・光ファイバ25の一端がそれぞれ対応し
て配置されている。
そして、これらの光ファイバ19.22.25の他端り
、E、Fには図示しない光電検出器がそれぞれ接続され
ている。これらの光電検出器としては、微弱光を増倍し
て検出することが可能なフォトマルが通常使用されてい
る。
更に、光軸02に対して斜設された波長選別手段10の
反射側には、順次に凸レンズ28、ハーフミラ−27、
第1図(a)に示すように2個の開口を有する開口絞り
28、(b)に示すように1個のスリット孔を有する開
口絞り29、及び合焦用光@30が配されている。また
、光路中に傾設されたハーフミラ−27の反射側には順
次にバントハスフィルタ31、(C)に示すアレイセン
サ32が配置されている。
結像レンズ系4としては、通常2組のシリンドリカルレ
ンズを直交させたものが用いられ、これによりレーザー
光りは任意の長径・短径の結像ビームに成形され、検体
粒子Sに照射される。
レーザー光りの検体粒子Sによる散乱光のうち、前方散
乱光は集光レンズ5を介して光電検出器6に集光され、
検体粒子Sの性状が測定される。光電検出器6における
出力信号の強度は検体粒子Sの大きさと相関しているの
で、前方散乱光は通常検体粒子Sの大きさの決定に用い
られる。
また、各種蛍光剤により染色された検体粒子Sについて
は、側方散乱光として測光用対物レンズ系9及び凸レン
ズ11により絞り12に集光される。なお、絞り12は
検体粒子Sに共役な位置に設置されており、側方散乱光
及び蛍光をこの絞り12を通過させることにより、雑音
の少ない測光信号を得ることができる。蛍光染色された
検体粒子Sについての測定の際には、通常Ar”の48
8nmのレーザー光が用いられ、検体粒子Sは緑色又は
赤色の蛍光を発する0例えば、DNA量検出用のPI(
ヨウ化プロプイウム)によって染色された検体粒子Sは
赤色の蛍光を発し、細胞膜表面抗原検出用のFITC(
フルオレセインイソシアン酸thjりに染色された検体
粒子Sは緑色の蛍光を発し、アクリジンオレンジで蛍光
染色された゛検体粒子SのDNAからの蛍光は赤色を呈
することが知られている。また、Ar”レーザーの波長
で90″方向に散乱される光の量は検体粒子Sの内部の
複雑性を反映することが知られている・近年、各種蛍光
プローブ即ち細胞内核酸、タンパク質等に結び付く蛍光
染料が開発されており、検査目的に応じて使い分けられ
るようになってきているが、通常では側方散乱光を適当
に波長選別し、それぞれの測定値を得るようにしている
。即ち、絞り12を通過後の光束を凸レンズ13により
平行光束とし、適当な分光特性を持たせたグイクロイッ
クミラー等の波長選別手段14によって側方散乱光と蛍
光とに分光し、側方散乱光は凸レンズ17.バリヤフィ
ルタ18、光ファイ/<19を介して光電検出器で検出
され、検体粒子S内部の顆粒性が観測される。レーザー
光源としてAr″′488nmレーザー光が用いられた
場合には、波長選別手段14は488nmよりも長波長
の光を通す特性を有するものとし、バリヤフィルタ18
は488nmの光を通すバンドパスフィルタとすればよ
い。
一方、蛍光は波長選別手段14を通過し1例えば緑色反
射、赤色透過の特性を有するグイクロイックミラー等の
波長選別手段15によって緑色蛍光と赤色蛍光に分光さ
れ、緑色蛍光は凸レンズ20、緑色のみを通すバンドパ
スフィルタであるバリヤフィルタ21及び光ファイバ2
2を介して光電検出器で検出される。また、赤色蛍光は
反射鏡16と凸レンズ23、赤色を通すバンドパスフィ
ルタであるバリヤフィルタ24及び光ファイバ25を介
して光電検出器で検出され、検体粒子Sの生化学的性質
が観測される。
なお、通常蛍光を選別する波長選別手段15としては緑
赤二色のグイクロイックミラーが使用されているが、例
えば波長を連続的に分光できる分光プリズム或いは回折
格子等の波長選別手段を用いてもよい、また、反射鏡1
6は赤色のみを反射するグイクロイックミラーとしても
支障はない。
次に、測光用対物レンズ系9゛の合焦状態を検出する手
段について説明する0合焦用光源30の波長は流通部2
内での散乱光の測定に影響を及ぼさないように、レーザ
ー光源3の波長や蛍光の波長と分離している方が望まし
いので、赤外光源を使用することが好適である。従って
、光源30は赤外域の光を発するものとし、波長選別手
段10は赤外光を反射し、可視域の光を通す特性を有す
るものとする。
第1図(b)に示すスリット状の開口絞り29を通過し
た光源30からめ光束は、(a)に示す開口絞り28に
よって2木の光束に絞られた後に、ハーフミラ−27、
凸レンズ26を介して波長選別手段10によって対物レ
ンズ系9側に反射される。そして、対物レンズ系9によ
ってフローセル流通部2に集光され、2つの指標光束は
流通部2の前面及び後面でそれぞれ反射されて計4個の
反、射像となる。これらの反射光は対物レンズ系9によ
って再び屈折された後に、波長選別手段10によって反
射され、凸レンズ26を介してハーフミラ−27によっ
て反射され、バリヤフィルタ31を介してアレイセンサ
32上に開口絞り29の2つの像が結像される。なお、
バリヤフィルタ31は光源30の波長域の光のみを通過
させる特性を有するものを使用しているので、外乱の影
響を少  。
なくすることができる。
ここで、開口絞り29は流通部2の照射時に流通部2内
に入る大きさの高さと幅のスリット孔を有しており、ア
レイセンサ32は光学的に凸レンズ26と等価な位置に
あり、対物レンズ系9が合焦時には、アレイセンサ32
は流通部2と光学的に共役になるように配されている。
また、アレイセンサ32と開口絞り29とは光学的に等
位置に配されており、対物レンズ系9が合焦状態で流通
部2の中央に焦点が合っているときには、合焦用光束は
細い光束の状態で流通部2の前面及び後面に照射され、
第3図(a)に示すように各指標光束は前面と後面とで
反射されて重なり合い、アレイセンサ32から2本の鮮
明なピーク状のパターン信号が得られることになる。一
方、対物レンズ系9が非合焦状態で流通部2の前面又は
後面に焦点が合っている場合には、第3図(b)に示す
ようにアレイセンサ32上には3本のピークが形成され
、流通部2に全く焦点が合っていないときには(C)に
示す拡りを持ったパターン信号が得られることになる。
フローセル流通部2が清浄な状態で測定を開始しても、
測定を繰り返すうちに、流通部2の内部にサンプル液に
よる汚れが付着し、流通部2の前面及び後面の反射面が
清浄な状態でなくなる。このような状態になると反射強
度が減少し、流通部2からの反射光を受光する光電検出
器を分割素子等で構成し、そこで得られる出力の大小に
よって合焦状態を判定する方式では、この大小の比較が
困難となる。しかし本実施例においては、アレイセンサ
32上に得られたパターン信号のピークのみに注目して
いればよいので、反射強度に殆ど影響されずに合焦検出
を行うことができることになる。
このようにして得られた合焦検出信号を例えばオシロス
コープに表示することにより、手動で対物レンズ系9を
動かして合焦することができる。
また、この合焦検出信号によって駆動される機構、例え
ばサーボ系によるモータ駆動機構等を設け、アレイセン
サ32上に2本のピークを有する信号波形が得られるま
で、対物レンズ系9を含む合焦系を駆動機構により測光
光学系光軸上を探索移動させ5合焦波形の信号により駆
動機構を停止させるようにすれば、自動的に合焦状態が
得られ更に操作性が良くなる。
また、合焦駆動機構の停止した状態の信号、或いはアレ
イセンサ32の合焦時出力信号により粒子解析装置の測
定開始信号を発するようにすれば、合焦していないとき
には不正確な測定が行われないで済む、なお、対物レン
ズ系9及び合焦光学系を駆動させる代りに、アレイセン
サ32の信号により、フローセル部1を手動又は自動で
駆動して焦点調整を行うことも可能である。また、開口
絞り28における開口は2個ではなく、それ以上の数と
してもよい。
以上の説明では合焦検出について述べたが、本装置を合
軸検出についても利用することができる。即ち、合軸時
の出力信号波形の中心値の設定された中心位置からのず
れによって合軸か否かを判定することも可能である。
[発明の効果] 以上説明したように本発明に係る粒子解析装置は、出力
パターン信号により位置検出が可能な焦点検出素子を有
する焦点検出手段を設けることによって、フローセル流
通部の内面の汚れ等の外乱に影響されずに、常に測光用
対物レンズの焦点調整を容易にかつ正確に行うことを可
能とし、測定精度を向上させ対物レンズの開口数を増す
こともでき、これによって蛍光測定強度を向上させ、高
精度な解析を可能としている。
また所望によっては、焦点検出手段を駆動する機構を設
けることによって、全自動的に焦点調整を行うことも可
能となり、更に合焦状態にのみ装置が可動する機構を設
けて、測定操作を更に容易にすることもできる。
【図面の簡単な説明】 図面は本発明に係る粒子解析装置の一実施例を示すもの
であり、第1図は側方から見た光学系配置図、第2図は
上方から見た光学系配置図、第3図(a) 、 (b)
 、 (c)は合焦検出素子上の光像分布の説明図であ
る。 符号1はフローセル部、2は流通部、3はレーザー光源
、4は結像レンズ系、5.11.13.17.20.2
3.26は集光レンズ、6は光電検出器、7は凸レンズ
、8は凹レンズ、9は対物レンズ系、10,14.15
は波長選別手段、12.28.29は絞り、iaは反射
鏡、18.21.24.31はバリヤフィルタ、19.
22.25は光ファイバ、3oは合焦用光源、32はア
レイセンサである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、フローセルの流通部を流れる検体粒子に光ビームを
    照射する照射光学系と、該光ビームが検体粒子によって
    散乱された散乱光を測定する測光光学系とを備え、前記
    流通部に少なくとも2つの指標光束を投射し、位置検出
    素子で得られる前記流通部の前後の境界面による少なく
    とも計4個の指標反射像の出力パターン信号により合焦
    状態を検出する焦点検出手段を設けたことを特徴とする
    粒子解析装置。 2、前記合焦状態は前記少なくとも計4個の指標反射像
    が2個ずつ合成されたパターン信号が分離して識別でき
    る場合に合焦とするようにした特許請求の範囲第1項に
    記載の粒子解析装置。 3、前記焦点検出手段と前記測光光学系とは、測光用対
    物レンズを共有するようにした特許請求の範囲第1項に
    記載の粒子解析装置。 4、前記焦点検出手段は散乱光の測光に使用する波長領
    域外の波長域の光を使用するようにした特許請求の範囲
    第1項に記載の粒子解析装置。 5、前記焦点検出手段と前記測光光学系との光路を第1
    の光分割部材により分割し、該第1の光分割部材は前記
    焦点検出手段使用波長域と測光波長域とを分割する特性
    を有する波長選択性反射部材とした特許請求の範囲第4
    項に記載の粒子解析装置。 8、前記焦点検出手段において、第2の光分割部材を介
    して指標投影光学系及び指標検知光学系に分割した特許
    請求の範囲第1項に記載の粒子解析装置。 7、前記指標投影光学系内に少なくとも第1、第2の2
    個の開口絞りを設置した特許請求の範囲第6項に記載の
    粒子解析装置。 8、前記第1の開口絞りは、流通部の幅内に入る指標像
    を流通部に投影するための1個のスリット孔を有するよ
    うにした特許請求の範囲第7項に記載の粒子解析装置。 9、前記第2の開口絞りは2分割された開口を有するも
    のとした特許請求の範囲第7項に記載の粒子解析装置。
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4999513A (en) * 1988-09-09 1991-03-12 Canon Kabushiki Kaisha Particle measuring apparatus
JPH02289808A (ja) * 1989-04-28 1990-11-29 Olympus Optical Co Ltd 照明光学系
DE69118429T2 (de) * 1990-01-26 1996-09-12 Canon Kk Verfahren zur Messung einer Spezies unter Verwendung von Fluoreszenzlicht
JP2939647B2 (ja) * 1990-07-24 1999-08-25 シスメックス株式会社 フローイメージングサイトメータにおける自動焦点調整方法
JP2874746B2 (ja) * 1990-11-22 1999-03-24 シスメックス株式会社 フローイメージングサイトメータにおけるフローセル機構
US5512760A (en) * 1993-05-06 1996-04-30 U.S. Philips Corporation Optical height detector with coaxial irradiation and image axes and plural detectors spaced along the image axis
US5940178A (en) * 1996-07-03 1999-08-17 Beckman Instruments, Inc. Nephelometer and turbidimeter combination
JP3881498B2 (ja) * 2000-05-25 2007-02-14 ペンタックス株式会社 光波測距儀
US6469777B2 (en) * 2000-06-12 2002-10-22 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Surveying instrument having an optical distance meter
US6674058B1 (en) 2000-09-20 2004-01-06 Compucyte Corporation Apparatus and method for focusing a laser scanning cytometer
CN101968432B (zh) * 2010-09-03 2012-08-15 江苏大学 微粒物性分析多维光信息传感器
JP5852364B2 (ja) 2011-08-26 2016-02-03 キヤノン株式会社 情報処理装置、情報処理装置の制御方法、およびプログラム
JP6391370B2 (ja) 2014-08-29 2018-09-19 キヤノン株式会社 光ポンピング磁力計及び磁気センシング方法
GB201415783D0 (en) * 2014-09-05 2014-10-22 Malvern Instr Ltd Particle characterisation
EP3397942B1 (en) 2015-12-30 2024-05-08 Bio-Rad Laboratories, Inc. Detection and signal processing system for particle assays
US9846111B2 (en) * 2015-12-30 2017-12-19 Bio-Rad Laboratories, Inc. Optical detection system for particles
US11385154B2 (en) * 2020-09-28 2022-07-12 Tokyo Electron Limited Apparatus and method for monitoring and measuring properties of polymers in solutions

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5018080A (ja) * 1973-06-18 1975-02-26
JPS5082882A (ja) * 1973-11-26 1975-07-04
JPS5322787A (en) * 1976-08-16 1978-03-02 Hitachi Ltd Measuring apparatus for corpuscle
JPS5386298A (en) * 1976-11-05 1978-07-29 Leeds & Northrup Co Measuring method and apparatus for volume and volumetric distribution of fine particles

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60100114A (ja) * 1983-11-05 1985-06-04 Canon Inc 合焦検出装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5018080A (ja) * 1973-06-18 1975-02-26
JPS5082882A (ja) * 1973-11-26 1975-07-04
JPS5322787A (en) * 1976-08-16 1978-03-02 Hitachi Ltd Measuring apparatus for corpuscle
JPS5386298A (en) * 1976-11-05 1978-07-29 Leeds & Northrup Co Measuring method and apparatus for volume and volumetric distribution of fine particles

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US4715708A (en) 1987-12-29

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