JPH05340865A - 測定装置 - Google Patents

測定装置

Info

Publication number
JPH05340865A
JPH05340865A JP4149469A JP14946992A JPH05340865A JP H05340865 A JPH05340865 A JP H05340865A JP 4149469 A JP4149469 A JP 4149469A JP 14946992 A JP14946992 A JP 14946992A JP H05340865 A JPH05340865 A JP H05340865A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
irradiation
laser
measuring device
light
energy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4149469A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuya Yamazaki
達也 山▲崎▼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP4149469A priority Critical patent/JPH05340865A/ja
Priority to US08/062,223 priority patent/US5446532A/en
Publication of JPH05340865A publication Critical patent/JPH05340865A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
    • G01N15/1456—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals
    • G01N15/1459—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers without spatial resolution of the texture or inner structure of the particle, e.g. processing of pulse signals the analysis being performed on a sample stream
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume, or surface-area of porous materials
    • G01N15/10—Investigating individual particles
    • G01N15/14—Electro-optical investigation, e.g. flow cytometers
    • G01N2015/1477—Multiparameters

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置の大型化やコストの上昇を招くことな
く、放射エネルギの指向性変動に拘らず正確な測定を行
なうことができる測定装置を提供すること。 【構成】 レーザ発光部１と、レーザ出力ミラー２を有
する光源からのレーザビームを照射光学系（３、４）に
よってフローセル５内の照射領域６に照射される。フロ
ーセル５を流れる被検粒子によって発する散乱光や蛍光
は検出器（７、８）で検出される。ここでレーザ光の指
向性変動の支点であるレーザ出力ミラー２近傍と照射領
域６とが光学的に略共役にされており、レーザ光の指向
性が変動してもその影響を受けずに正確に測定が行なえ
るようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えば、被検物に光を照
射して被検物より生じる散乱光や蛍光を測定する測定装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被検物にレーザ光等の放射ビームを照射
し、被検物より生じる散乱光や蛍光を測定する測定装置
の一例として、フローサイトメータ、パーティクルカウ
ンタ、異物欠陥検査装置などが従来から知られており、
生物学分野、医療分野、半導体分野、その他工業分野な
どで広く用いられている。
【０００３】一般に精密な光学測定装置には光源として
単色性集光性に優れるレーザ光を使用している。しかし
ながら通常レーザ光の指向性は100Hz 以上の周波数で微
小変動しており、同時にこの指向性はレーザ保持機構の
熱収縮によっても緩やかに変動する。よって従来の測定
装置の光学系はレーザ光の照射位置の正確な制御が難し
く測定精度の更なる向上は容易ではなかった。
【０００４】また被検粒子を流すための流体系が不安定
であれば、流路を流れる披検粒子も本来の位置から流路
に直交する方向に変動する。この際、レーザ光の強度は
ガウス分布をしているので、照射レーザ光に対し披検粒
子の位置が変動した場合には、披検粒子に照射されるレ
ーザ光の強度が変わるために、披検粒子から発する散乱
光やレーザ光によって励起される蛍光の強度が不安定に
なり、正確な披検粒子の測定が困難になる。
【０００５】そこでこの課題を解決するために、従来は
照射するレーザ光のスポット形状を被検粒子の流れに対
して直交する方向に長径を有する楕円形状にしていた。
すると照射レーザ光強度分布が広がり流れに対して直交
する方向の照射光強度変化が減少するので、披検粒子の
位置が照射レーザ光に対して前記方向に若干移動して
も、披検粒子に当たる照射レーザ光の強度変動を抑制す
ることができる。
【０００６】しかしながらこの方法では照射レーザ光の
断面積が大きくなるので、披検粒子に照射される光エネ
ルギ密度が減少し、その結果、披検粒子から発する散乱
光や蛍光の強度も弱くなり、検出器で検出される信号の
Ｓ／Ｎ比が低くなってしまう。これを補うためには強力
レーザ光を発するレーザ光源を用いれば良いが、装置の
大型化・コスト上昇の要因になってしまう。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、装置の
大型化やコストの上昇を招くことなく、放射エネルギの
指向性変動に拘らず正確な測定を行なうことができる測
定装置を提供することにある。
【０００８】この目的を達成する本発明の測定装置は、
エネルギ放射源と、該エネルギ放射源からの放射エネル
ギを披検物に照射する照射手段と、該披検物の特性を検
知する検知手段とを有し、該照射手段は該放射エネルギ
の指向性変動の支点と該披検物が放射エネルギで照射さ
れる照射領域とを略共役にすることを特徴とするもので
ある。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例の説明にあたり、まず本発明
の基本的な考え方を説明する。一般にレーザビームのビ
ームウェストの径と位置は次式（１）（２）で表わされ
る（図１参照）。なおｗ0 は物側ビームウェストの径、
ｗ0 ' は像側ビームウェストの径，ｚ0 はレンズと物側
ビームウェストの距離、ｚ0 ' はレンズと像側ビームウ
エストの距離、ｆはレンズの焦点距離、λは光の波長で
ある。
【００１０】 ｗ0 ' ＝ｗ0 ｆ／（（ｆ＋ｚ0 ）2 ＋ａ2 ）1/2 （１） ｚ0 ' ＝ｆ（１−ｆ（ｆ＋ｚ0 ）／（（ｆ＋ｚ0 ）2 ＋ａ2 ）） （２） ａ＝πｗ0 2／λ （２）式において、光学系の物側焦点位置にビームウェ
ストがあると、ｚ0 ＝−ｆであるので ｚ0 ' ＝ｆ （３） となり、どのような光学系であっても像側焦点位置にビ
ームウェストが生ずる。これをビームエキスパンダに代
表されるアフォーカル系を用いると、像側ビームウェス
トの径ｗ0'は次式で表わされる（図２参照）。ｆ1 は第
１レンズ33の焦点距離、ｆ2 は第２レンズ34の焦点距離
である。
【００１１】 ｗ0 ' ＝ｗ0 （ｆ2 ／ｆ1 ） （４） ここで第１レンズ33の像側焦点位置と第２レンズ34の物
側焦点位置は同位置である共焦点配置であるから、
（２）式より第１レンズ33の物側焦点位置にビームウェ
ストを置けば第２レンズ34の像側焦点位置に（４）式で
表わされるビームウェストが生ずる。
【００１２】一方、図２にて点線で示したように、第１
レンズ33の物側焦点位置と第２レンズ34の像側焦点位置
は共役であるので第１レンズ33の物側焦点位置を通過し
た光線はその角度に拘らず第２レンズ34の像側焦点位置
を通過する。
【００１３】レーザ共振器を構成するミラーの配置によ
って多少異なるが、一般にレーザはその出力ミラーの近
傍にビームウェストを形成することが知られているの
で、第１レンズ33の物側焦点位置にレーザの出力ミラー
32を、第２レンズの像側焦点位置に照射領域35を置け
ば、照射領域35にビームウェストがデフォーカスするこ
となく形成され、かつレーザ光が出力ミラー32を出射す
る角度に拘らず照射領域35に入射するレーザ光の位置は
変動しない。
【００１４】前述したようにレーザ光の指向性は時間的
に微小変動し、特に100Hz 以上の指向性変動は主にレー
ザ出力ミラーを支点として生じる。よってそのミラーと
照射領域を共役にすればレーザ光の指向性が変動しても
レーザ照射領域における照射スポット位置は変動しな
い。またレーザ光の指向性はレーザ支持機構の熱収縮に
より緩やかに変動するが、この指向性変動の支点もレー
ザミラー近傍に存在することが多いので、やはりレーザ
出力ミラーと照射領域を共役にすることでレーザ照射位
置の変動を抑えることができる。以後、光学補正機能を
持ったこの照射光学系を「倒れ補正照射系」と呼ぶ。
【００１５】＜実施例１＞次により具体的な実施例を説
明する。図３は本発明をフローサイトメータに適用した
実施例の全体構成図である。血液等のサンプル液を前処
理として蛍光試薬等で染色処理し適切な反応時間及び希
釈濃度に調整する。そしてこれをサンプル液容器115 に
入れる。また蒸留水や生理食塩水等のシース液はシース
液容器114に入れる。サンプル液容器115 及びシース液
容器114 は各々不図示の加圧機構により加圧される。す
るとシースフロー方式によりフローセル5 内でサンプル
液がシース液に包まれて細い流れに収斂され、フローセ
ル5 内の流通部のほぼ中央を通過する。このとき、サン
プル液に包まれる個々の披検粒子（細胞、微生物、担体
粒子など）は分離されて１個ずつ順次流れる。この披検
粒子の流れに対して、レーザ光源ユニット1 から出射さ
れたレーザ光がレンズ3,4 を有する照射光学系によって
照射される。照射光学系は後述するようにレーザ光源ユ
ニット1 から出射されるレーザビームの指向性変動の支
点とフローセル5 の照射位置を光学的に共役にしてい
る。
【００１６】披検粒子に光ビームが照射されると散乱光
や蛍光が生じる。散乱光の内、光路前方方向に発する前
方散乱光は集光レンズ105 、光検出器106 から成る前方
散乱検出系によって測光される。なお照射された光ビー
ムが直接、光検出器106 に入射するのを防ぐため、光路
中集光レンズ105 の手前には光吸収性の微小なストッパ
100 が設けられ、照射光源からの直接光、及び披検粒子
を透過した透過光を除去するようになっている。これに
より披検粒子からの散乱光のみを測光することができ
る。
【００１７】また光照射される被検粒子からレーザ光軸
及び披検粒子の流れに直交する側方方向に発する光は集
光レンズ107 で集光される。集光された光はダイクロイ
ックミラー108 で反射され、散乱光の波長即ちレーザ光
の波長（Ａｒ+ レーザであれば488nm ）を選択的に透過
させるバンドパスフィルタ121 を経て光検出器111 にて
側方散乱光が測光される。また披検粒子が蛍光染色され
ている場合には、散乱光とともに発生する複数色の蛍光
を測光するため、集光レンズ107 によって集光され、ダ
イクロイックミラー108 を透過した蛍光の内、ダイクロ
イックミラー109 、緑色蛍光波長用530nm 付近）のバン
ドパスフィルタ122 、光検出器112 の組によって緑色蛍
光が検出され、また全反射ミラー110 、赤色蛍光波長用
（570nm付近）のバンドパスフィルタ123 、各光検出器1
06、11、112、113の信号は演算回路116 に入力され、該演
算回路116 において、粒子のカウント、種類や性質等の
解析などの演算が行なわれる。
【００１８】図４は本実施例の照射光学系の構成図であ
る。1 はレーザ発光部、2 はレーザ出力ミラーであり、
これらによってレーザ光源ユニットが構成されている。
出射したレーザ光は共焦点配置をなす凸レンズ3、4 の組
から成るビームコンプレッサでビーム径を変換されフロ
ーセル5 内にある照射領域6 に照射される。照射領域6
には披検物である細胞が個々に流れており、照射レーザ
光によってその特性に応じた散乱光や蛍光を発する。こ
れらは前方散乱光検出系7 、側方散乱光・蛍光検出系8
で検出される。
【００１９】従来のフローサイトメータ照射光学系は集
光レンズの焦点位置に照射領域を位置させていた。つま
り無限遠と照射領域とを共役にしていたのでレーザ光の
指向性変動が生じると照射位置が移動してしまう課題を
有していたのに対して、本実施例は先に説明した倒れ補
正照射光学系としているので、フローセル内のレーザ光
照射位置は常に一定に保たれ、被検粒子に照射される照
射光の強度変動がなくなる。よって従来に比べより正確
に散乱光蛍光の光量測定を行なうことができる。また同
時に既に述べた理由によりビームウェストを照射位置に
デフォーカスすることなく正確に形成することができる
ので、ビーム径の変動が最小になり正確な散乱光蛍光の
光量測定を行なうことができる。すなわち本実施例によ
れば、倒れ補正照射光学系を用いて照射位置を正確に制
御することにより、非常に高精度の光学測定装置を提供
している。
【００２０】＜実施例２＞次に上記実施例を更に改良し
た第２実施例を説明する。図５（Ａ）、図５（Ｂ）は第
２実施例の照射光学系の構成を示し、図５（Ａ）は細胞
の流路に平行に切った断面図、図５（Ｂ）は垂直に切っ
た断面図である。該両図面において41はレーザ発光部、
42はレーザ出力ミラー、43は子線方向焦点距離ｆ3 ＝50
mmのシリンドリカルレンズ、44は焦点距離ｆ4 ＝20mmの
凸レンズ、45はフローセル、46は照射領域である。図面
より明らかなように本実施例はアナモルフィック光学系
を構成しているので、各断面別に説明する。
【００２１】図５（Ａ）においてレーザ発光部41、レー
ザ出力ミラー42を出射したレーザ光はこの方向にパワー
のないシリンドリカルレンズ43を直進透過し、凸レンズ
44でフローセル45内の照射領域46に集光される。レーザ
出力ミラー42でのレーザビームの直径をｄ1 ＝1mm とす
ると照射領域での流路に平行な方向のレーザビームの直
径ｄ2 は次式で表される。なお波長λ＝488nm とした。
【００２２】 ｄ2 ＝４λｆ4 ／（πｄ1 ） （５） ＝12.4 （μm ） 一方、図５（Ｂ）において同じくレーザ発光部41、レー
ザ出力ミラー42を出射したレーザ光はビームコンプレッ
サを形成するシリンドリカルレンズ43と凸レンズ44によ
ってレーザビーム径を変換され照射領域46に入射する。
照射領域46における流路に直交する方向のレーザビーム
直径ｄ3 は（４）式で計算できる。
【００２３】ｄ3 ＝40 （μm ） ここで測定精度について考える。図５（Ａ）の断面では
パワーを持っているレンズは凸レンズ44だけで、凸レン
ズ44の焦点位置に照射領域46が配置されているので、レ
ーザの指向性変動があった場合レーザの照射位置は流路
に沿って移動する。しかし細胞もまた流路に沿って移動
しているので流路方向の照射位置変動は測定値の安定性
には無関係である。
【００２４】一方、流路に直交する方向では前述のよう
に照射位置の変動は測定値の変化をもたらすが、図５
（Ｂ）の断面は第１の実施例と同じく倒れ補正照射系を
構成しているので、この方向では照射位置安定性が実現
される。しかもｄ2 ＜ｄ3 であるから流路位置の安定性
が多少低くても、比較的測定値を安定させることができ
る。
【００２５】ところで一般にフローサイトメータでは２
枚のシリンドリカルレンズを用いてレーザ照射光を楕円
形状にしておりレーザビーム径の縦横比即ちｄ2 とｄ3
の比は１対１０程度であるが、本実施例では１対３．２
程度でも十分であり、照射レーザ光のエネルギ密度の低
下を抑制しなおかつ照射位置変動のない高精度の測定を
実現する。したがって高価な強力レーザは不要である。
通常シリンドリカルレンズは製造が困難で高価であり一
般には１面平面の平凸レンズとするので、特に焦点距離
が短いレンズでは収差が十分に補正できないことがあ
る。しかし本実施例では長焦点シリンドリカルレンズ、
短焦点両凸球面レンズを各１枚づつ使用しシリンドリカ
ルレンズの枚数を削減しているのでコストを低減すると
共に結像性能を改善できるメリットがある。また該短焦
点両凸球面レンズを顕微鏡対物レンズのような色消しレ
ンズに代えれば、光源の波長を変更するときにも対処が
容易になる。
【００２６】以上述べたように、披検物が流路を流れる
測定装置において流路に直交する方向に倒れ補正光学系
を採用することで、照射領域での光量変化を少なくし大
型レーザを使うことなく正確な測定を実現することがで
きる。
【００２７】＜実施例３＞第２の実施例では披検物が流
路を流れる測定装置において流路に直交する方向に倒れ
補正照射系を採用することで高精度の測定を実現した
が、第３の実施例ではレーザ光照射位置のアライメント
に更なる改良を加える。
【００２８】フローサイトメータで採用されているラミ
ナーフロー方式は細胞等の披検物を安定して正確に流す
のに優れる技術であるが、披検物を流すまでは披検物が
フローセル内のどの場所を流れるか分からない。したが
って光学系だけではアライメントの調整ができず実際に
披検物が流れる状態にならないと最終的なアライメント
調整は出来ない問題点を有している。この問題点に対し
従来は米国特許公報第4,989,977号に見られるように照
射光学系と照射領域の間にガラス板等を設け、それを傾
けることによりレーザ光照射位置の最終的なアライメン
トを行なっていた。しかしながらこの方法では、ガラス
板は照射光が平行でない場所に置かれるので、収差が発
生し正確なスポットが得られないばかりか、ガラス板に
よってゴースト像が発生し誤った測定を行なう欠点を有
している。更にガラス板の傾きに対し照射位置が敏感に
反応するため微細な調整は困難である。また照射位置に
微小なレーザスポットが必要なときには、照射光学系の
焦点距離は短くなり照射光学系と照射領域の間隔が狭く
なるので両者の間にガラス板を置くのが困難になること
もある。
【００２９】そこで本実施例では、レーザ出力ミラー近
傍と照射領域を共役になるように照射光学系を構成しか
つレーザ出力ミラーと照射光学系の間に可変の光路偏位
手段を設けることによりレーザ光照射位置のアライメン
トを高精度に行なうものである。
【００３０】第３の実施例を図面を用いて詳細に説明す
る。図６（Ａ）、図６（Ｂ）は本発明をフローサイトメ
ータの照射光学系に応用した光学系の図面であり、第２
の実施例と同様に図６（Ａ）は細胞の流路に平行に切っ
た断面図、図６（Ｂ）は垂直に切った断面図である。該
両図面に置いて61はレーザ発光部、62はレーザ出力ミラ
ー、63は子線方向焦点距離ｆ3 ＝50mmのシリンドリカル
レンズ、64は焦点距離ｆ4 ＝20mmの凸レンズ、65はフロ
ーセル、66は照射領域、67は平行平板である。67を除い
て第２の実施例と同じ構成であるので重複する部分につ
いては説明を省略する。
【００３１】ここで図６（Ａ）、図６（Ｂ）に示したよ
うにレーザ出力ミラー62とシリンドリカルレンズ63の間
に角度可変の平行平板67を挿入したときの効果について
述べる。先ず流路に平行な断面即ち図６（Ｂ）において
は平行平板67はレーザ光がほぼ平行である部分に挿入さ
れ、またパワーを持ったレンズは凸レンズ64のみであり
該レンズを介して照射領域66と無限遠が共役であるか
ら、平行平板67の角度を変えても照射位置でのレーザ光
の角度は変化するが、凸レンズ64の収差が無視できる範
囲でレーザ光照射位置は動かない。一方、流路に垂直な
断面即ち図６（Ａ）においてはやはり平行平板67はレー
ザ光がほぼ平行である部分に挿入されるが、レーザ出力
ミラー62と照射領域66は倒れ補正光学系を介して共役で
あり両者は物と像の関係にあるから、平行平板67の角度
を変えると像の位置即ちレーザ照射位置は平行移動す
る。したがって平行平板67の角度を変化させることで照
射領域66でのレーザ照射位置を調整することができる。
また平行平板67はレーザ光がほぼ平行である部分に挿入
されるので平行平板67の角度を変化させても収差は変化
せず照射領域66に有害なゴースト像も発生しない。さら
に一般に照射光学系は縮小系であるので平行平板67の角
度変化に対し照射位置66でのレーザ照射位置の変化も縮
小されるので高精度のアライメントが可能になる。しか
もこの方向では照射光学系は倒れ補正照射光学系になっ
ているから、平行平板67を一度固定すればレーザ光の指
向性変動があってもレーザ光照射位置は変化しなくな
る。
【００３２】以上述べたように、流路に直交する方向の
照射光学系に倒れ補正照射系を採用し更に光源であるレ
ーザの出力ミラーと該照射光学系との間に角度可変の平
行平板を挿入することで、収差や有害なゴースト像を発
生させることなく流路に直交する方向の高精度なアライ
メント調整ができ、しかも平行平板を固定すればレーザ
光の指向性が変動してもレーザ光照射位置が変動しない
照射光学系を実現できる。しかも平行平板の角度を変化
させても流路に平行な方向にはレーザ光照射位置は移動
しないので、アライメントの際にレーザ光照射位置の意
図しない変化を抑制することができる。
【００３３】なお本実施例では偏位手段として平行平板
を用いたが、これに限らず同等の機能を有する素子であ
れば同様の効果が得られる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、測定装置のエネル
ギ照射系にエネルギ指向性変動の支点（例えばレーザ出
力ミラー）とエネルギ照射領域とを共役にする倒れ補正
照射系を採用することで、エネルギ指向性変動に起因す
るエネルギ照射位置変動が抑制された高精度の測定装置
を実現できる。
【００３５】また披検物が流路を流れる測定装置におい
て特に流路に直交する方向に倒れ補正照射系を採用する
ことで、高精度の測定装置を実現できる。
【００３６】更に上記倒れ補正照射系を用いた測定装置
において、エネルギ指向性変動の支点と照射光学系の間
にエネルギ偏位手段を設けることで高精度のアライメン
ト調整を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レーザ光（ガウスビーム）の結像状態を表わす
説明図である。
【図２】倒れ補正照射光学系の説明図である。
【図３】フローサイトメータの全体構成図である。
【図４】本発明の第１実施例のフローサイトメータ照射
光学系の構成図である。
【図５】第２実施例の照射光学系の構成図である。
【図６】第３実施例の照射光学系の構成図である。
【符号の説明】
1、31、41、61 レーザ発光部 2、32、42、62 レーザ出力ミラー 3、4、33、34、44、64 凸レンズ 43、63 シリンドリカルレンズ 45、65 フローセル 6、35、46、66 照射領域 67 平行平板

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 エネルギ放射源と、該エネルギ放射源か
    らの放射エネルギを披検物に照射する照射手段と、該披
    検物の特性を検知する検知手段とを有し、 該照射手段は該放射エネルギの指向性変動の支点と該披
    検物が放射エネルギで照射される照射領域とを略共役に
    することを特徴とする測定装置。
  2. 【請求項２】 前記エネルギ放射源と照射手段との間
    に、該放射エネルギの位置を偏位させる偏位手段を有す
    る請求項１の測定装置。
  3. 【請求項３】 前記エネルギ放射源は光源を有し、前記
    放射エネルギは光である請求項１の測定装置。
  4. 【請求項４】 前記光源はレーザ光源である請求項３の
    測定装置。
  5. 【請求項５】 前記照射光の指向性変動の支点はレーザ
    出力ミラー近傍であり、該出力ミラー近傍と前記照射領
    域とを略共役にする請求項４の測定装置。
  6. 【請求項６】 前記披検領域にレーザ光のビームウェス
    トを形成する請求項４の測定装置。
  7. 【請求項７】 前記披検物の特性は散乱光及び／又は蛍
    光を含む光学的特性であり、前記検知手段は光検知器を
    有する請求項３の測定装置。
  8. 【請求項８】 前記披検物は流路を流れる粒子である請
    求項１の測定装置。
  9. 【請求項９】 前記流路の流れ方向に直交する方向にお
    いて、前記放射エネルギの指向性変動の支点と照射領域
    とを共役にする請求項８の測定装置。
  10. 【請求項１０】 前記照射手段はアナモルフィック光学
    系を含む請求項９の測定装置。
JP4149469A 1992-06-09 1992-06-09 測定装置 Pending JPH05340865A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4149469A JPH05340865A (ja) 1992-06-09 1992-06-09 測定装置
US08/062,223 US5446532A (en) 1992-06-09 1993-05-18 Measuring apparatus with optically conjugate radiation fulcrum and irradiated area

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4149469A JPH05340865A (ja) 1992-06-09 1992-06-09 測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05340865A true JPH05340865A (ja) 1993-12-24

Family

ID=15475823

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4149469A Pending JPH05340865A (ja) 1992-06-09 1992-06-09 測定装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5446532A (ja)
JP (1) JPH05340865A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006194770A (ja) * 2005-01-14 2006-07-27 Institute Of Physical & Chemical Research 時間分解蛍光顕微鏡
JP2008249804A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Fujifilm Corp 共焦点蛍光顕微鏡

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2341359A1 (en) 1998-08-21 2000-03-02 Ian Walton Novel optical architectures for microvolume laser-scanning cytometers
US6201055B1 (en) 1999-03-11 2001-03-13 Dow Corning Corporation Silicone composition and silicone pressure sensitive adhesive
US6937330B2 (en) 1999-04-23 2005-08-30 Ppd Biomarker Discovery Sciences, Llc Disposable optical cuvette cartridge with low fluorescence material
US6687395B1 (en) * 1999-07-21 2004-02-03 Surromed, Inc. System for microvolume laser scanning cytometry
US6787761B2 (en) * 2000-11-27 2004-09-07 Surromed, Inc. Median filter for liquid chromatography-mass spectrometry data
US20020095260A1 (en) * 2000-11-28 2002-07-18 Surromed, Inc. Methods for efficiently mining broad data sets for biological markers
US6873915B2 (en) * 2001-08-24 2005-03-29 Surromed, Inc. Peak selection in multidimensional data
US20030078739A1 (en) * 2001-10-05 2003-04-24 Surromed, Inc. Feature list extraction from data sets such as spectra
US6989100B2 (en) * 2002-05-09 2006-01-24 Ppd Biomarker Discovery Sciences, Llc Methods for time-alignment of liquid chromatography-mass spectrometry data
JP4533044B2 (ja) * 2003-08-27 2010-08-25 キヤノン株式会社 センサ
US7248360B2 (en) * 2004-04-02 2007-07-24 Ppd Biomarker Discovery Sciences, Llc Polychronic laser scanning system and method of use
US7899105B1 (en) * 2005-06-15 2011-03-01 Cvi Laser, Llc Temperature control system for a frequency converted diode laser
US10114213B2 (en) 2008-04-04 2018-10-30 Cvi Laser, Llc Laser systems and optical devices for manipulating laser beams
US9413130B2 (en) 2012-12-12 2016-08-09 Cvi Laser, Llc Optical systems
US7903706B2 (en) * 2008-04-04 2011-03-08 O'shaughnessy John Compact, thermally stable multi-laser engine
US8975572B2 (en) * 2008-04-04 2015-03-10 Cvi Laser, Llc Compact, thermally stable fiber-optic array mountable to flow cell
US9500588B2 (en) 2014-09-30 2016-11-22 Perkinelmer Health Sciences, Inc. Flow cell modules and liquid sample analyzers and methods including same
US9581491B2 (en) 2014-09-30 2017-02-28 Perkinelmer Health Sciences, Inc. Flow cell modules and liquid sample analyzers and methods including same
JP6688089B2 (ja) * 2016-01-22 2020-04-28 日本光電工業株式会社 フローセルおよび粒子分析装置
US11378808B2 (en) 2018-07-18 2022-07-05 Idex Health & Science Llc Laser systems and optical devices for laser beam shaping

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4989977A (en) * 1985-07-29 1991-02-05 Becton, Dickinson And Company Flow cytometry apparatus with improved light beam adjustment
JPH01179112A (ja) * 1988-01-08 1989-07-17 Ricoh Co Ltd 半導体レーザー装置
GB8813307D0 (en) * 1988-06-06 1988-07-13 Amersham Int Plc Biological sensors
US4942586A (en) * 1989-04-25 1990-07-17 Intelligent Surgical Lasers Inc. High power diode pumped laser
US5198369A (en) * 1990-04-25 1993-03-30 Canon Kabushiki Kaisha Sample measuring method using agglomeration reaction of microcarriers
JP2917413B2 (ja) * 1990-05-23 1999-07-12 ソニー株式会社 固体レーザー発振器
US5036520A (en) * 1990-10-15 1991-07-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Holmium laser pumped with a neodymium laser

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006194770A (ja) * 2005-01-14 2006-07-27 Institute Of Physical & Chemical Research 時間分解蛍光顕微鏡
JP2008249804A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Fujifilm Corp 共焦点蛍光顕微鏡

Also Published As

Publication number Publication date
US5446532A (en) 1995-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05340865A (ja) 測定装置
EP0774112B1 (en) Pseudo telecentric optical design for flow cytometric blood cell analyzer
US11054356B2 (en) Particle characterisation with a focus tuneable lens
US4915501A (en) Device for measuring the light scattering of biological cells in flow cytophotometers
US4690561A (en) Particle analyzing apparatus
JPH0544622B2 (ja)
JPS6394156A (ja) 流体中の細胞分析装置
US7787197B2 (en) Beam-adjusting optics
JPS61280548A (ja) 粒子解析装置
JPH03235037A (ja) 粒子解析装置
CN111133291B (zh) 用于落射荧光测量的光学流式细胞仪
JPH0418618B2 (ja)
JPS61294335A (ja) 粒子解析装置
JP2023510615A (ja) 流量測定用電気光学装置
JPS6370148A (ja) 微細粒度分布測定装置
JPS61294334A (ja) 粒子解析装置
JPS6244649A (ja) 粒子解析装置
JPS6214037A (ja) 粒子解析装置
JPS62269043A (ja) 粒子解析装置
JPH03197841A (ja) 検体検査装置
JPS62245942A (ja) 粒子解析装置
JPH0262181B2 (ja)
JPH01240839A (ja) 粒子解析装置
JPH0751229A (ja) 眼科測定装置の校正器
CN117805082A (zh) 使用标准参考材料进行的多通道拉曼系统的强度校准