JPS61276988A - 電鋳層剥離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、情報記録原盤複製用金型の製造等における被
電鋳基材からの電鋳層剥離方法に関する。

従来技術 従来、この種の電鋳層剥離方法としては、第一に、被電
鋳基材と電鋳層との熱膨張の差を利用し、高温状態から
急冷させることにより、電鋳層を１１１離する方法があ
る。しかし、この方法の場合、熱によるＷ張、収縮利用
であるため、被電Ｕ基材の材質によっては被電鋳基材に
破壊を生し、被電鋳基材を再利用できないことがある。

第二の方法として、被電鋳基材と電鋳層との間にカッタ
ー等の刃物を喰い込ませる剥離方法がある。この方法に
よる場合、被電鋳基材に対して電鋳層の密着力が強い場
合、刃物を喰い込ませるのが雉しく、被電鋳基材を傷付
は易いものである。第三の方法として、グラインダによ
り電鋳層端面を削る方法がある。この方法の場合、被電
鋳基材の材質によっては切削することができないものも
あり、かつ、切副尺りにより被電鋳基材を傷付けろこと
になる。

目的 本発明は、このような点に鑑みなされたもので、被電ｎ
基材を傷付けたり破壊したりすることなく電鋳層を被電
鋳基材から短時間で容易に剥離することができる電鋳層
剥離方法を提供することを目的とする。

構成 本発明は、−Ｉ−記目的を達成するため、電鋳層が形成
される被電鋳基材よりも線熱膨張係数が小さい材料又は
耐溶剤性の弾性材料若しくは熱変形しにくいセラミック
ス材料により形成されて前記被電鋳基材の外周部に配置
されるドーナツ状のリングをこの被電鋳基材に沿って−
１−下動自在に設けるとともに、前記電鋳層が形成され
る前記リングの−１、部側に導電性金属酸化物層を形成
し、前記リングを被電鋳基材の外周部に配置させてこの
被電鋳基材上及び前記導電性金属酸化物層」二に電鋳層
を形成し、前記リングを下方に移動させることによりリ
ングの導電性金属酸化物層から電鋳層を剥離した後、こ
のリングを上方に移動させることにより前記被電鋳基材
」二の電鋳層を剥離させることを特徴とするものである
。

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。ま
ず、第１図に示すようにレジスト剤による凹凸状の信号
記録層１及びこの信号記録層１上に導電性薄膜２が形成
された被電鋳基材としてのガラス原盤３を用意する。こ
のガラス原盤３は硼珪酸ガラスによるものである。この
ようなガラス原盤３の外周部に対して第２図に示すよう
に硼酸・鉛ガラス（■、Ｓ　−０，１−０４）製のドー
ナツ状のリング４を設置する。このリング４は耐溶剤性
弾性材料であるが、耐溶剤性弾性材料以外の材料による
場合にはガラス原盤３を第３図に示すように固定器５に
より固定する。ここで、このリング４の」ユ部側には導
電性金属酸化物層として酸化銅層６が形成されている。

第３図に示すようにリング４をセットした状態で、電鋳
槽中に浸漬させてガラス原盤３とリンク４とを電鋳槽温
度にすると、ガラス原盤３とリング４とが第４図に示す
ように密着状態となり、この状態から電鋳が開始される
。電鋳終了後、ガラス原盤３とリング４とを電鋳槽から
取り出し、常温になるのを待つ。この時、電鋳層７は第
５図に示すようにガラス原盤３の信号記録層１上及びリ
ング４の酸化銅層６上を覆うように生成され、常温に冷
却されると第６図に示すように収縮した状態となる。こ
のようにリング４のガラス原盤３側の内周部」二部は導
電性の酸化銅層６があるので、この部分にも電鋳層７が
形成されるが、この部分での密着力は非常に弱いため容
易に剥離する。そこで、まず、リング４の外周部に形成
した溝部８を利用してこのリング４をガラス原盤３に対
して下方に移動させ、第７図に示すように電鋳層７の端
部を酸化銅層６部分から剥離させる。そして、固定器５
を解除し、第８図に示すように今度はリング４をガラス
原盤３に対して」―方に移動させることにより、リング
４の上部が電鋳層７の端部に干渉して、電鋳層７全体を
ガラス原盤３から剥離する。このようなリング４の」二
不動に際して、ガラス原盤３とリング４とは常温下にあ
り、両者の膨張率の違いからガラス原盤３の外周とリン
グ４の内周との間に隙間が生じているので、移動し易い
状態にある。

このように本実施例によれば、ガラス原盤３からの電鋳
層７の剥離をリング４の上下動により短時間に行なうこ
とができる。この際、ガラス原盤３を傷付けたりするこ
とがなく、ガラス原盤３を再利用することができる。

なお、本実施例では被電鋳基材として硼珪酸ガラスによ
る場合で説明したが、窓板ガラスの場合にはリング４と
して硼酸・鉛ガラス又は硼酸・鉛・亜鉛ガラス（Ｔ、Ｓ
−７１０１，）によるものを用いることができる。又、
被電鋳基材がアルミニウム材料による場合には、リング
４として鉄鋼製のものを用いることができる。又、リン
グ４の導電性金属酸化物層（酸化銅層６）は、リング材
料を酸化させる方法、リング材料」二にスパッタリング
法等により表面処理する方法、リング材料に別の導電性
酸化物材料を付加する方法等により形成される。

効果 本発明は、上述したように導電性金属酸化物層を有する
リングを被電鋳基材の外周部に配置してこのリングを上
下動させるだけで、簡単で精度よく、かつ被電鋳基材を
傷付けたりすることなく、電鋳層を被電鋳基材から剥離
させることができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第８図は本発明の一実施例を工程順に示す
断面図である。 ３・・・ガラス原盤（被電鋳基材）、４・・リング、６
・・・酸化銅層（導電性金属酸化物層）、７・・・電鋳
層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電鋳層が形成される被電鋳基材よりも線熱膨張係数が小
   さい材料又は耐溶剤性の弾性材料若しくは熱変形しにく
   いセラミックス材料により形成されて前記被電鋳基材の
   外周部に配置されるドーナツ状のリングをこの被電鋳基
   材に沿つて上下動自在に設けるとともに、前記電鋳層が
   形成される前記リングの上部側に導電性金属酸化物層を
   形成し、前記リングを被電鋳基材の外周部に配置させて
   この被電鋳基材上及び前記導電性金属酸化物層上に電鋳
   層を形成し、前記リングを下方に移動させることにより
   リングの導電性金属酸化物層から電鋳層を剥離した後、
   このリングを上方に移動させることにより前記被電鋳基
   材上の電鋳層を剥離させることを特徴とする電鋳層剥離
   方法。