JPS61274873A - 平面・球面ロ−タリ−研削盤及びファイングライディング盤、ラップ盤、ポリッシュ盤におけるスピクドル傾斜調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 エレクトロニクスの進歩に伴い、コンピューター、オフ
ィスコンピューター、マイコン等は年々小型化されてお
り、それに伴って半導体の開発も著しく進み、トランジ
スタからＩＣへ、ＩＣからＬＳＩへ、ＬＳＩは超ＬＳＩ
へと、小型化、精密化から超小型化、超精密化されてお
り、それを加工して極超小型部品を造るために超精密機
械が要求されている。

本発明はこれらのシリコンを始めとする半導体材料のフ
ェライト、センダストを始めとする磁気材料、セラミッ
ク、超硬合金等を超高精度の平面度、球面度に加工でき
る平面１球面、ロータリー研削盤及びファインダライデ
ィング盤、ラップ盤、ポリッシュ盤に改良を加えたもの
で、スピンドルを前後に自由に傾斜させ超高精度の加工
精度を得るべく開発したものである。

次いで、図面によってその作用と効果を説明すれば、第
１図は本発明の実施例の右側面図であり、第１図ａは第
１図の要部の拡大断面図であり、第２図は正面図である
。

１はシリコン等のワークを磁気的或いはバキューム的方
法によって保持し、これに回転を与えるロータリーテー
ブルであり、２はワークを研削或いはラッピング、ポリ
ッシングする為の研削砥石或いはラップ定盤、ポリッシ
ュ定盤である。３は２に回転を与えるスピンドルヘッド
である。４及び５はスピンドルヘッドを前後に傾斜させ
た時或いはロータリーテーブルとスピンドルが完全に直
角になった時締め付けるクランクボルトである。

６はスピンドル５に回転を与える為のモーターである。

７はスピンドル軸傾斜用ジョイドパ−であり、８は本体
である。

本発明は以上の構成であって従来の平面、球面、ロータ
リー研削盤と違って、第１図ａ　（詳細図）本体壁部８
へ横溝を設けて、ジヨイントパー７を固着して、摺動面
は断面が半円形状に形成しているため、スピンドルヘッ
ド３を前後に傾斜させる事ができ、ロータリーテーブル
１とスピンドルヘッド３との角度を自由に調整すること
が可能であるため、傾斜させてクランクボルト４，５を
締め付は固定して球面加工ができ、又、ロータリーテー
ブル１とスピンドルヘッド３とが完全に直角にしてクラ
ンクボルト４．５を締めつけて固定することによって、
研削砥石の平面、或いは、ラップ定盤、ポリッシュ定盤
の平面と、ロータリーテーブル１の平面が、完全に平行
に維持されるために平面加工が可能であり、ワークの完
全な球面及び完全な平面が得られるものである。

本発明のものは電子工学等の進歩に伴い、ますます超高
精度の極超小型電子部品のを製造できる高度の工作機械
の必要性が増すもので、その開発は目下の急務である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の右側面図であり、第１図ａは
第１図の要部の拡大断面図であり、第２図は正面図であ
る。 １−ロータリーテーブル、２−砥石又は定盤、３−スピ
ンドルヘッド、４．５−クランプボルト。 ６−モーター、７−スピンドル軸傾斜用ジヨイントバー
、８一本体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 本体壁部へ横溝を設けて、ジョイントバーを固着し、該
   ジョイントバーの摺動面は断面が半円形状に形成して、
   クランクボルトで締め付ける事により、ロータリーテー
   ブルとスピンドル軸を直角に固定でき、且つ、傾斜させ
   てクランクボルトで固定する事により球面に加工できる
   ことを特徴とする平面、球面ロータリー研削盤及びファ
   インダライディング盤、ラップ盤、ポリッシュ盤におけ
   るスピンドル傾斜調整装置。