JPH0152148B2 - - Google Patents
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- JPH0152148B2 JPH0152148B2 JP1384781A JP1384781A JPH0152148B2 JP H0152148 B2 JPH0152148 B2 JP H0152148B2 JP 1384781 A JP1384781 A JP 1384781A JP 1384781 A JP1384781 A JP 1384781A JP H0152148 B2 JPH0152148 B2 JP H0152148B2
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- Japan
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- spindle
- side wall
- head
- main body
- joint
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- 238000003754 machining Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/0063—Connecting non-slidable parts of machine tools to each other
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
- B23Q1/545—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
各種の研削盤及びグライデイング盤、ラツプ
盤、ポリツシユ盤等の本体とスピンドルの傾斜角
度を調整する装置である。
盤、ポリツシユ盤等の本体とスピンドルの傾斜角
度を調整する装置である。
従来、研削盤等のこの種の装置においては、モ
ーターからの駆動源を得て回転及び昇降を繰り返
すスピンドル軸の下端へスピンドルヘツドを備
え、該スピンドルヘツド下方の本体の基台へ設け
たロータリーテーブルのチヤツクへシリコンウエ
ハ等の被加工物を磁気的手段又はバキユーム的手
段によつて保持させると共に自回転させて、上方
に位置するスピンドルヘツドを降下させると共に
回転させてスピンドルヘツドの下面の加工面で被
加工物の上面を加工しているが、加工面と被加工
物の上面とが真平行になると、加工する条件によ
つては加工時の抵抗が大きくなり被加工物の被加
工面にダメージを与えたり、加工中に加工による
微粒塵がスピンドルヘツドの加工面と被加工物と
の間に残り被加工物の加工面に微細な傷が入つた
りするため、若干の角度を保つて加工する必要が
あつた。
ーターからの駆動源を得て回転及び昇降を繰り返
すスピンドル軸の下端へスピンドルヘツドを備
え、該スピンドルヘツド下方の本体の基台へ設け
たロータリーテーブルのチヤツクへシリコンウエ
ハ等の被加工物を磁気的手段又はバキユーム的手
段によつて保持させると共に自回転させて、上方
に位置するスピンドルヘツドを降下させると共に
回転させてスピンドルヘツドの下面の加工面で被
加工物の上面を加工しているが、加工面と被加工
物の上面とが真平行になると、加工する条件によ
つては加工時の抵抗が大きくなり被加工物の被加
工面にダメージを与えたり、加工中に加工による
微粒塵がスピンドルヘツドの加工面と被加工物と
の間に残り被加工物の加工面に微細な傷が入つた
りするため、若干の角度を保つて加工する必要が
あつた。
その為に、研削盤等の本体と平行状に連設した
スピンドルとの間へスタツドボルト等を設けて弛
めたり締めたりあるいは楔状のものを噛して傾斜
角度を調整していたが、その傾斜角度が大き過ぎ
ると被加工物の平坦精度が低下してしまい、被加
工物の上面の被加工面とスピンドルヘツド下面の
加工面とを理想とする若干の非平行状態に設定し
て保持したり、又、加工条件によつて真平行状態
での作業も必要であり、傾斜を調整するのに手間
暇のかゝる作業と成つており問題点があつた。
スピンドルとの間へスタツドボルト等を設けて弛
めたり締めたりあるいは楔状のものを噛して傾斜
角度を調整していたが、その傾斜角度が大き過ぎ
ると被加工物の平坦精度が低下してしまい、被加
工物の上面の被加工面とスピンドルヘツド下面の
加工面とを理想とする若干の非平行状態に設定し
て保持したり、又、加工条件によつて真平行状態
での作業も必要であり、傾斜を調整するのに手間
暇のかゝる作業と成つており問題点があつた。
本発明の目的は前記問題点に鑑みて、シリコン
ウエハ等の被加工物を加工する場合に、任意の傾
斜角度をスピンドルに与えて、スピンドルヘツド
と被加工物との間へ適宜な非平行状態を保持させ
て、被加工物へのダメージ或いは傷が入るのを防
止して高精度の加工精度を得るべく開発したもの
である。
ウエハ等の被加工物を加工する場合に、任意の傾
斜角度をスピンドルに与えて、スピンドルヘツド
と被加工物との間へ適宜な非平行状態を保持させ
て、被加工物へのダメージ或いは傷が入るのを防
止して高精度の加工精度を得るべく開発したもの
である。
本発明の構成は、本体側壁とスピンドル側壁と
の間へ空隙部を有し、本体側壁の上方辺と下方辺
とへ螺孔を形成し、螺孔の左右及び上下間隔の中
央位置へジヨイントの頭部を突出させて基部を固
着し、スピンドル側壁へは凹陥部を形成し、夫々
の螺孔と合致する位置へ貫通孔を穿設すると共
に、ジヨイントの頭部と凹陥部とを合着させ、
夫々のクランプボルトは貫通孔を貫通させて夫々
の螺孔と螺着した構成である。
の間へ空隙部を有し、本体側壁の上方辺と下方辺
とへ螺孔を形成し、螺孔の左右及び上下間隔の中
央位置へジヨイントの頭部を突出させて基部を固
着し、スピンドル側壁へは凹陥部を形成し、夫々
の螺孔と合致する位置へ貫通孔を穿設すると共
に、ジヨイントの頭部と凹陥部とを合着させ、
夫々のクランプボルトは貫通孔を貫通させて夫々
の螺孔と螺着した構成である。
次いで、図面によつて実施例を説明する。
第１図は本発明の実施例の平面研削盤の側面図
であり、第２図は第１図の要部の拡大断面説明図
であり、第３図は第１図の正面図である。
であり、第２図は第１図の要部の拡大断面説明図
であり、第３図は第１図の正面図である。
本発明に係わる平面研削盤等は本体１の基台へ
被加工物であるシリコンウエハ等を磁気的或いは
バキユーム的手段によつてロータリーテーブルＲ
のチヤツク機構へ保持させて、該チヤツク機構を
回転させると共に、本体１の上方のモーターＭで
スピンドル２に内設されているスピンドル軸へ回
転力を与え、該スピンドル軸の下端へ備えたスピ
ンドルヘツド４へ回転力を伝え、被加工物の上方
よりスピンドル軸を降下させてスピンドルヘツド
４の下面に具えた研削砥石等の加工面で被加工物
の上面を研削等の加工をするものである。
被加工物であるシリコンウエハ等を磁気的或いは
バキユーム的手段によつてロータリーテーブルＲ
のチヤツク機構へ保持させて、該チヤツク機構を
回転させると共に、本体１の上方のモーターＭで
スピンドル２に内設されているスピンドル軸へ回
転力を与え、該スピンドル軸の下端へ備えたスピ
ンドルヘツド４へ回転力を伝え、被加工物の上方
よりスピンドル軸を降下させてスピンドルヘツド
４の下面に具えた研削砥石等の加工面で被加工物
の上面を研削等の加工をするものである。
本発明は前記研削盤等の本体１とスピンドル２
との傾斜角度を微調整する装置であり、つまり、
スピンドル２と直角方向へ設けられたスピンドル
ヘツド４の加工面とロータリーテーブルＲへ水平
に保持された被加工物の上面とを若干の非平行に
保持する装置であり、研削盤等の本体１の本体側
壁１ａとスピンドル２のスピンドル側壁２ａとの
間へ平行状態の空隙部３を有して連設した研削盤
等のスピンドル２の傾斜角度を調整する装置であ
つて、前記本体側壁１ａの上方辺と下方辺とへ
各々間隔を有して螺孔１ｂ，１ｃを形成し、該螺
孔１ｂ，１ｃの左右及び上下間隔の中央位置へジ
ヨイント７の略半球形状に形成した頭部７ａを突
出せて基部７ｂを固着し、前記スピンドル側壁２
ａへは前記ジヨイント７と合致する位置へ前記ジ
ヨイント７の頭部７ａと合着する形状の略半球形
状の凹陥部９を形成し、前記夫々の螺孔１ｂ，１
ｃと合致する位置のスピンドル側壁２ａへクラン
プボルト５を摺動可能に貫通させる貫通孔８を穿
設すると共に、ジヨイント７の頭部７ａと凹陥部
９とを合着させ、夫々のクランプボルト５を夫々
の貫通孔８へ貫通させて夫々の螺孔１ｂ，１ｃと
螺着し、前記夫々のクランプボルト５を夫々微回
動させて弛締することによつてスピンドルの傾斜
角度を微調整可能としたものである。
との傾斜角度を微調整する装置であり、つまり、
スピンドル２と直角方向へ設けられたスピンドル
ヘツド４の加工面とロータリーテーブルＲへ水平
に保持された被加工物の上面とを若干の非平行に
保持する装置であり、研削盤等の本体１の本体側
壁１ａとスピンドル２のスピンドル側壁２ａとの
間へ平行状態の空隙部３を有して連設した研削盤
等のスピンドル２の傾斜角度を調整する装置であ
つて、前記本体側壁１ａの上方辺と下方辺とへ
各々間隔を有して螺孔１ｂ，１ｃを形成し、該螺
孔１ｂ，１ｃの左右及び上下間隔の中央位置へジ
ヨイント７の略半球形状に形成した頭部７ａを突
出せて基部７ｂを固着し、前記スピンドル側壁２
ａへは前記ジヨイント７と合致する位置へ前記ジ
ヨイント７の頭部７ａと合着する形状の略半球形
状の凹陥部９を形成し、前記夫々の螺孔１ｂ，１
ｃと合致する位置のスピンドル側壁２ａへクラン
プボルト５を摺動可能に貫通させる貫通孔８を穿
設すると共に、ジヨイント７の頭部７ａと凹陥部
９とを合着させ、夫々のクランプボルト５を夫々
の貫通孔８へ貫通させて夫々の螺孔１ｂ，１ｃと
螺着し、前記夫々のクランプボルト５を夫々微回
動させて弛締することによつてスピンドルの傾斜
角度を微調整可能としたものである。
即ち、本発明は第２図の要部拡大断面説明図に
図示の如く、研削盤等の本体１の本体側壁１ａと
スピンドル２のスピンドル側壁２ａとの間へ平行
状態の僅かな空隙部３を有して連設した本体側壁
１ａの上方辺と下方辺へ上下左右に各々間隔を有
して上方辺へ２つと下方辺へ２つとの矩形状の四
角と成る位置へクランプボルト５を螺着する螺孔
１ｂ，１ｃを形成したものである。
図示の如く、研削盤等の本体１の本体側壁１ａと
スピンドル２のスピンドル側壁２ａとの間へ平行
状態の僅かな空隙部３を有して連設した本体側壁
１ａの上方辺と下方辺へ上下左右に各々間隔を有
して上方辺へ２つと下方辺へ２つとの矩形状の四
角と成る位置へクランプボルト５を螺着する螺孔
１ｂ，１ｃを形成したものである。
ジヨイント７は頭部７ａを略半球形状に形成
し、該略半球形状の頭部７ａの底面より短円柱状
の基部７ｂを延設したリベツト状のもので、該基
部７ｂを本体側壁１ａに形成した螺孔１ｂ，１ｃ
の左右及び上下間隔の中央位置へジヨイント用孔
を設け、前記頭部７ａを本体側壁１ａとスピンド
ル側壁２ａとの間の空隙部３の間隔巾よりも突出
させて基部７ｂを固着し、該ジヨイント７の頭部
７ａの略半球形状と合致する略半球形状に窪む凹
陥部９をスピンドル側壁２ａの合致する位置へ形
成し、該凹陥部９へ前記ジヨイント７の頭部７ａ
を微回動可能に合着させるものである。
し、該略半球形状の頭部７ａの底面より短円柱状
の基部７ｂを延設したリベツト状のもので、該基
部７ｂを本体側壁１ａに形成した螺孔１ｂ，１ｃ
の左右及び上下間隔の中央位置へジヨイント用孔
を設け、前記頭部７ａを本体側壁１ａとスピンド
ル側壁２ａとの間の空隙部３の間隔巾よりも突出
させて基部７ｂを固着し、該ジヨイント７の頭部
７ａの略半球形状と合致する略半球形状に窪む凹
陥部９をスピンドル側壁２ａの合致する位置へ形
成し、該凹陥部９へ前記ジヨイント７の頭部７ａ
を微回動可能に合着させるものである。
前記スピンドル側壁２ａへは本体側壁１ａに形
成した夫々の螺孔１ｂ，１ｃと合致する位置へク
ランプボルト５を若干の摺動及び回動が可能に貫
通させる貫通孔８を穿設したものである。
成した夫々の螺孔１ｂ，１ｃと合致する位置へク
ランプボルト５を若干の摺動及び回動が可能に貫
通させる貫通孔８を穿設したものである。
前記クランプボルト５はスピンドル側壁２ａへ
穿設した夫々の貫通孔８を貫通させて夫々の螺孔
１ａ，１ｃと夫々螺着させるものであり、スピン
ドル２の荷重は、主として、上方辺に位置するク
ランプボルト５で担持させるものである。
穿設した夫々の貫通孔８を貫通させて夫々の螺孔
１ａ，１ｃと夫々螺着させるものであり、スピン
ドル２の荷重は、主として、上方辺に位置するク
ランプボルト５で担持させるものである。
前記夫々のクランプボルト５の頭部６をスパナ
等の工具によつて夫々適宜回動させて弛めたり締
めたりすることによつてジヨイント７の頭部７ａ
と凹陥部９は支点の作用をし、弛締することによ
つてスピンドル２の傾斜角度を微調整可能とした
ものであり、上方辺へ設けた２本のクランプボル
ト５の頭部６を若干締めて、下方辺の傾斜調整用
のクランプボルト５を若干弛めると本体側壁１ａ
とスピンドル側壁２ａとの間の上方の空隙部３は
狭くなり、逆に下方の空隙部３は広くなるもので
あり、該空隙部３の間隔の範囲内で調整が可能に
成り、本体１に連設したスピンドル２を前後或い
は左右に傾斜させることができるもので、研削盤
等の本体１とスピンドル２との角度を任意に微調
整して設定することが可能であり、スピンドルヘ
ツド４の加工面と被加工物の加工される上面とは
理想とする若干の非平行状態を保持させることを
可能とし、或いは、真平行状態へも容易に戻して
保持させることも可能としたものである。
等の工具によつて夫々適宜回動させて弛めたり締
めたりすることによつてジヨイント７の頭部７ａ
と凹陥部９は支点の作用をし、弛締することによ
つてスピンドル２の傾斜角度を微調整可能とした
ものであり、上方辺へ設けた２本のクランプボル
ト５の頭部６を若干締めて、下方辺の傾斜調整用
のクランプボルト５を若干弛めると本体側壁１ａ
とスピンドル側壁２ａとの間の上方の空隙部３は
狭くなり、逆に下方の空隙部３は広くなるもので
あり、該空隙部３の間隔の範囲内で調整が可能に
成り、本体１に連設したスピンドル２を前後或い
は左右に傾斜させることができるもので、研削盤
等の本体１とスピンドル２との角度を任意に微調
整して設定することが可能であり、スピンドルヘ
ツド４の加工面と被加工物の加工される上面とは
理想とする若干の非平行状態を保持させることを
可能とし、或いは、真平行状態へも容易に戻して
保持させることも可能としたものである。
本発明の実施例は平面研削盤を例として詳述し
たが同様な構成のラツプ盤、ポリツシング盤又は
フアイングライデイング盤等への応用も可能であ
る。
たが同様な構成のラツプ盤、ポリツシング盤又は
フアイングライデイング盤等への応用も可能であ
る。
本発明の効果はスパナ等の工具で、各クランプ
ボルトの頭部を夫々回動させて弛めたり締めたり
することによつて、容易にスピンドルを本体に対
して傾斜させることができ、傾斜させることによ
つてスピンドルヘツドの下面の加工面と被加工物
の上面の被加工面が若干の非平行状態と成り、加
工時の抵抗による被加工物へのダメージ、又は、
微細な傷を防止することができるものである。
ボルトの頭部を夫々回動させて弛めたり締めたり
することによつて、容易にスピンドルを本体に対
して傾斜させることができ、傾斜させることによ
つてスピンドルヘツドの下面の加工面と被加工物
の上面の被加工面が若干の非平行状態と成り、加
工時の抵抗による被加工物へのダメージ、又は、
微細な傷を防止することができるものである。
第２図は本発明の実施例の平面研削盤側面図で
あり、第２図は第１図の要部の拡大断面図であ
り、第３図は第１図の正面図である。 Ｒ……ロータリーテーブル、Ｍ……モーター、
１……本体、１ａ……本体側壁、１ｂ……上方辺
の螺孔、１ｃ……下方辺の螺孔、２……スピンド
ル、２ａ……スピンドル側壁、３……空隙部、４
……スピンドルヘツド、５……クランプボルト、
６……ボルトの頭部、７……ジヨイント、７ａ…
…ジヨイントの頭部、７ｂ……ジヨイントの基
部、８……貫通孔、９……凹陥部。
あり、第２図は第１図の要部の拡大断面図であ
り、第３図は第１図の正面図である。 Ｒ……ロータリーテーブル、Ｍ……モーター、
１……本体、１ａ……本体側壁、１ｂ……上方辺
の螺孔、１ｃ……下方辺の螺孔、２……スピンド
ル、２ａ……スピンドル側壁、３……空隙部、４
……スピンドルヘツド、５……クランプボルト、
６……ボルトの頭部、７……ジヨイント、７ａ…
…ジヨイントの頭部、７ｂ……ジヨイントの基
部、８……貫通孔、９……凹陥部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 研削盤等本体の本体側壁とスピンドル側壁と
の間へ平行状態の空隙部を有して連設した研削盤
等のスピンドルの傾斜角度を調整する装置であつ
て、 前記本体側壁の上方辺と下方辺とへ各々間隔を
有して螺孔を形成し、該螺孔の左右及び上下間隔
の中央位置へジヨイントの略半球形状に形成した
頭部を突出させて基部を固着し、前記スピンドル
側壁へは前記ジヨイントと合致する位置へ該ジヨ
イントの頭部と合着する形状の略半球形状の凹陥
部を形成し、前記夫々の螺孔と合致する位置のス
ピンドル側壁へクランプボルトを摺動可能に貫通
させる貫通孔を穿設すると共に、ジヨイントの頭
部と凹陥部とを合着させ、夫々のクランプボルト
を夫々の貫通孔へ貫通させて夫々の螺孔と螺着
し、前記夫々のクランプボルトを夫々微回動させ
て弛締することによつてスピンドルの傾斜角度を
微調整可能としたことを特徴とする研削盤等のス
ピンドル傾斜調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1384781A JPS57132969A (en) | 1981-02-03 | 1981-02-03 | Spindle slant adjusting device in plane or spherical rotor grinder, fine grinding machine, lapping machine and polishing machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1384781A JPS57132969A (en) | 1981-02-03 | 1981-02-03 | Spindle slant adjusting device in plane or spherical rotor grinder, fine grinding machine, lapping machine and polishing machine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57132969A JPS57132969A (en) | 1982-08-17 |
| JPH0152148B2 true JPH0152148B2 (ja) | 1989-11-07 |
Family
ID=11844662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1384781A Granted JPS57132969A (en) | 1981-02-03 | 1981-02-03 | Spindle slant adjusting device in plane or spherical rotor grinder, fine grinding machine, lapping machine and polishing machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57132969A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL9001014A (nl) * | 1990-04-27 | 1991-11-18 | Koninkl Philips Electronics Nv | Gereedschapsmachine met verplaatsbare positioneerinrichting. |
| US7097544B1 (en) | 1995-10-27 | 2006-08-29 | Applied Materials Inc. | Chemical mechanical polishing system having multiple polishing stations and providing relative linear polishing motion |
-
1981
- 1981-02-03 JP JP1384781A patent/JPS57132969A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57132969A (en) | 1982-08-17 |
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