JPS61271882A - 炭酸ガスレ−ザ用電極 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ用電極Info
- Publication number
- JPS61271882A JPS61271882A JP11210885A JP11210885A JPS61271882A JP S61271882 A JPS61271882 A JP S61271882A JP 11210885 A JP11210885 A JP 11210885A JP 11210885 A JP11210885 A JP 11210885A JP S61271882 A JPS61271882 A JP S61271882A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- shaped
- discharge
- cathodes
- tip
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は炭酸ガスレーザ発振用の１１−関する。
第３図はガス流方向と放電方向が同一である従来の炭酸
ガスレーザー発振用の電極の構成図である。ガス上流側
に多数本配置されているビン形状陰極１には局所的に放
電が集中して、放電の空間的均一性がそこなわれること
を防ぐため、図示していない放電安定化用抵抗が、それ
ぞれの陰極（：取り付けである。放電が開始されると、
まず陰極先端部と陽極２間にグロー族４１３が形成され
る。
ガスレーザー発振用の電極の構成図である。ガス上流側
に多数本配置されているビン形状陰極１には局所的に放
電が集中して、放電の空間的均一性がそこなわれること
を防ぐため、図示していない放電安定化用抵抗が、それ
ぞれの陰極（：取り付けである。放電が開始されると、
まず陰極先端部と陽極２間にグロー族４１３が形成され
る。
放電電流を増加させていくと、陰橋上の負グロー領域は
、ガス流方向４と逆の方向（二広がっていくため、実効
的な放電長が増加し放電維持電圧は上昇する。とくにガ
ス圧の高い場合はこの影響が顕著となり、印加″磁圧を
高くする結果、高エネルギー電子の発生が多くなり、放
′１の集中や励起効率の低下がおこる。こうした放電の
集中や放電維持電圧の上昇を抑えるためζ；、陰極数を
増加させると、空間的に一様な放電が得やすく、放電抵
抗も減少するため好都合であるが、一方、電極構造が複
雑になり、又ガス流（二対する抵抗損失が増加して、ガ
ス流速が低下し、冷却効率の低下や放電集中の抑制が難
しくなるなどの問題が生じていた。
、ガス流方向４と逆の方向（二広がっていくため、実効
的な放電長が増加し放電維持電圧は上昇する。とくにガ
ス圧の高い場合はこの影響が顕著となり、印加″磁圧を
高くする結果、高エネルギー電子の発生が多くなり、放
′１の集中や励起効率の低下がおこる。こうした放電の
集中や放電維持電圧の上昇を抑えるためζ；、陰極数を
増加させると、空間的に一様な放電が得やすく、放電抵
抗も減少するため好都合であるが、一方、電極構造が複
雑になり、又ガス流（二対する抵抗損失が増加して、ガ
ス流速が低下し、冷却効率の低下や放電集中の抑制が難
しくなるなどの問題が生じていた。
本発明は、陰極数を低減するとともに大電流通電時の放
°亀維持電圧の上昇を防止可能な炭酸ガスレーザー用礪
極を提供することを目的とする。
°亀維持電圧の上昇を防止可能な炭酸ガスレーザー用礪
極を提供することを目的とする。
かかる目的を達成するため、ガス流方向と直交する方向
に配置される棒状陽極と、この棒状陽極と対向して配置
される複数のＬ形ピン形状陰極を備え成り、前記り形ビ
ン形状陰ｉは１橋先端部を有する軸を削紀棒状陽極と平
行に配置することを特徴とする。
に配置される棒状陽極と、この棒状陽極と対向して配置
される複数のＬ形ピン形状陰極を備え成り、前記り形ビ
ン形状陰ｉは１橋先端部を有する軸を削紀棒状陽極と平
行に配置することを特徴とする。
第１図を参照して本発明の一実施例を説明する。
第２図は第１□□□の要部拡大図である。第１図におい
て、ガス流４と直交する方向に平行配置された複数の棒
状陽極２６二対向して複数のＬ形ピン状隘極１の＠ａ先
端部を有する軸１ａを所定間隔を設けて各々平行に配置
する。又、第２図に示すようにＬ［ビン形状４４１の先
端部１ｂは鋭角状に加工仕上げする。さら（二、ガス流
は陰極１の直角部分１ｃで乱されるので、放１の空間的
均一性がそこなわれやすい部分である。このため、８１
０．。
て、ガス流４と直交する方向に平行配置された複数の棒
状陽極２６二対向して複数のＬ形ピン状隘極１の＠ａ先
端部を有する軸１ａを所定間隔を設けて各々平行に配置
する。又、第２図に示すようにＬ［ビン形状４４１の先
端部１ｂは鋭角状に加工仕上げする。さら（二、ガス流
は陰極１の直角部分１ｃで乱されるので、放１の空間的
均一性がそこなわれやすい部分である。このため、８１
０．。
υ、０．．ガンマ白などの耐熱性に優れた絶縁物５をＪ
ｌピン形状電極の他の軸１ｄおよび直角部分ＩＣに被覆
し、この部分で放電がおこることを防ぐよう１′−シて
いる。この構成により、放電開始時の％１界強直は陰極
先端部が特に増大し、その結果放電開始電圧はビン形状
陰極先端部を球面状に加工仕上げした場合に比較し【、
３０９１１以上も低下する。グロー放７！！においては
放Ｍ［流を増加させていくと、負グロー面積は増加する
ため、陰極ビン先端からほぼ直角に曲げた点の方向に、
放電領域が広がってぺる。
ｌピン形状電極の他の軸１ｄおよび直角部分ＩＣに被覆
し、この部分で放電がおこることを防ぐよう１′−シて
いる。この構成により、放電開始時の％１界強直は陰極
先端部が特に増大し、その結果放電開始電圧はビン形状
陰極先端部を球面状に加工仕上げした場合に比較し【、
３０９１１以上も低下する。グロー放７！！においては
放Ｍ［流を増加させていくと、負グロー面積は増加する
ため、陰極ビン先端からほぼ直角に曲げた点の方向に、
放電領域が広がってぺる。
本電極構成では、陰極−陽極間の放１に＆は変化しない
ので、放１！繍持電圧はほとんど変化しない。
ので、放１！繍持電圧はほとんど変化しない。
このように、ｄｌｌｌｌピン形状隅用いると、放電面積
を第３図のＬ形ビン形状陰極を配置した構成よりも大き
くとりやすいので、第１図４＝示すように、ビン本数を
大幅に低減することができる。Ｌ梨ピン形状陰極本数は
、レーザ出力に応じて変化させる必要があるが、放電の
安定性を考慮するとモリブデンを陰極材料に使用した場
合は陰極一本あたりの通電電流を５００ ｆｉＡ以下に
押える必要がある。陰極の太さ、長さは材料、ガス圧に
よって変化するので、最大レーザ出力を得る放゛磁電力
を注入した場合に、絶縁物で被覆していない部分を全面
杖亀が被うように決定することになる。
を第３図のＬ形ビン形状陰極を配置した構成よりも大き
くとりやすいので、第１図４＝示すように、ビン本数を
大幅に低減することができる。Ｌ梨ピン形状陰極本数は
、レーザ出力に応じて変化させる必要があるが、放電の
安定性を考慮するとモリブデンを陰極材料に使用した場
合は陰極一本あたりの通電電流を５００ ｆｉＡ以下に
押える必要がある。陰極の太さ、長さは材料、ガス圧に
よって変化するので、最大レーザ出力を得る放゛磁電力
を注入した場合に、絶縁物で被覆していない部分を全面
杖亀が被うように決定することになる。
発明者らの実験では、本発明；：よれば従来構成と比較
して、陰極数を１／３に低減することができた、 〔発明の効果〕 以上のように本発明（二よれば従来の゛峨極構成と比較
して少ない陽極数で空間的に均一で、しかも放゛砥“磁
流の変化（二ともなう放電維持鴫圧変動の少ない炭酸ガ
スレーザ用電極を提供することができる。
して、陰極数を１／３に低減することができた、 〔発明の効果〕 以上のように本発明（二よれば従来の゛峨極構成と比較
して少ない陽極数で空間的に均一で、しかも放゛砥“磁
流の変化（二ともなう放電維持鴫圧変動の少ない炭酸ガ
スレーザ用電極を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例の炭酸ガスレーザ用−極の構
成図、第２図は第１図の陰極部及びその近傍詳細図、第
３図は従来の放電方向とガス流方向が同方向の電極の構
成図である。 ｌ・・・Ｌ形ビン形状陰ｉ １ｓ、ｌｄ・・・軸 １ｂ・・・先端部 ｌｃ・・・直角部分 ２・・・棒状陽極 ３・・・放電 ４・・・ガス流方向 ５・・・絶縁物 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）第１図 第２図 第３図
成図、第２図は第１図の陰極部及びその近傍詳細図、第
３図は従来の放電方向とガス流方向が同方向の電極の構
成図である。 ｌ・・・Ｌ形ビン形状陰ｉ １ｓ、ｌｄ・・・軸 １ｂ・・・先端部 ｌｃ・・・直角部分 ２・・・棒状陽極 ３・・・放電 ４・・・ガス流方向 ５・・・絶縁物 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ガス流方向と直交する方向に配置される棒状陽極と
、この棒状陽極と対向して配置される複数のＬ形ピン形
状陰極を備え成り、前記Ｌ形ピン形状陰極は陰極先端部
を有する軸を前記棒状陽極と平行に配置することを特徴
とする炭酸ガスレーザ用電極。 ２、Ｌ形ピン形状陰極の直角部分及び前記陰極先端部を
有する軸以外の軸には耐熱性絶縁物を被覆する特許請求
の範囲第１項記載の炭酸ガスレーザ用電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11210885A JPS61271882A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11210885A JPS61271882A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61271882A true JPS61271882A (ja) | 1986-12-02 |
Family
ID=14578351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11210885A Pending JPS61271882A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61271882A (ja) |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP11210885A patent/JPS61271882A/ja active Pending
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