JPS61271882A - 炭酸ガスレ−ザ用電極 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ用電極Info
- Publication number
- JPS61271882A JPS61271882A JP11210885A JP11210885A JPS61271882A JP S61271882 A JPS61271882 A JP S61271882A JP 11210885 A JP11210885 A JP 11210885A JP 11210885 A JP11210885 A JP 11210885A JP S61271882 A JPS61271882 A JP S61271882A
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- JP
- Japan
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- cathode
- shaped
- discharge
- cathodes
- tip
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は炭酸ガスレーザ発振用の11−関する。
第3図はガス流方向と放電方向が同一である従来の炭酸
ガスレーザー発振用の電極の構成図である。ガス上流側
に多数本配置されているビン形状陰極1には局所的に放
電が集中して、放電の空間的均一性がそこなわれること
を防ぐため、図示していない放電安定化用抵抗が、それ
ぞれの陰極(:取り付けである。放電が開始されると、
まず陰極先端部と陽極2間にグロー族413が形成され
る。
ガスレーザー発振用の電極の構成図である。ガス上流側
に多数本配置されているビン形状陰極1には局所的に放
電が集中して、放電の空間的均一性がそこなわれること
を防ぐため、図示していない放電安定化用抵抗が、それ
ぞれの陰極(:取り付けである。放電が開始されると、
まず陰極先端部と陽極2間にグロー族413が形成され
る。
放電電流を増加させていくと、陰橋上の負グロー領域は
、ガス流方向4と逆の方向(二広がっていくため、実効
的な放電長が増加し放電維持電圧は上昇する。とくにガ
ス圧の高い場合はこの影響が顕著となり、印加″磁圧を
高くする結果、高エネルギー電子の発生が多くなり、放
′1の集中や励起効率の低下がおこる。こうした放電の
集中や放電維持電圧の上昇を抑えるためζ;、陰極数を
増加させると、空間的に一様な放電が得やすく、放電抵
抗も減少するため好都合であるが、一方、電極構造が複
雑になり、又ガス流(二対する抵抗損失が増加して、ガ
ス流速が低下し、冷却効率の低下や放電集中の抑制が難
しくなるなどの問題が生じていた。
、ガス流方向4と逆の方向(二広がっていくため、実効
的な放電長が増加し放電維持電圧は上昇する。とくにガ
ス圧の高い場合はこの影響が顕著となり、印加″磁圧を
高くする結果、高エネルギー電子の発生が多くなり、放
′1の集中や励起効率の低下がおこる。こうした放電の
集中や放電維持電圧の上昇を抑えるためζ;、陰極数を
増加させると、空間的に一様な放電が得やすく、放電抵
抗も減少するため好都合であるが、一方、電極構造が複
雑になり、又ガス流(二対する抵抗損失が増加して、ガ
ス流速が低下し、冷却効率の低下や放電集中の抑制が難
しくなるなどの問題が生じていた。
本発明は、陰極数を低減するとともに大電流通電時の放
°亀維持電圧の上昇を防止可能な炭酸ガスレーザー用礪
極を提供することを目的とする。
°亀維持電圧の上昇を防止可能な炭酸ガスレーザー用礪
極を提供することを目的とする。
かかる目的を達成するため、ガス流方向と直交する方向
に配置される棒状陽極と、この棒状陽極と対向して配置
される複数のL形ピン形状陰極を備え成り、前記り形ビ
ン形状陰iは1橋先端部を有する軸を削紀棒状陽極と平
行に配置することを特徴とする。
に配置される棒状陽極と、この棒状陽極と対向して配置
される複数のL形ピン形状陰極を備え成り、前記り形ビ
ン形状陰iは1橋先端部を有する軸を削紀棒状陽極と平
行に配置することを特徴とする。
第1図を参照して本発明の一実施例を説明する。
第2図は第1□□□の要部拡大図である。第1図におい
て、ガス流4と直交する方向に平行配置された複数の棒
状陽極26二対向して複数のL形ピン状隘極1の@a先
端部を有する軸1aを所定間隔を設けて各々平行に配置
する。又、第2図に示すようにL[ビン形状441の先
端部1bは鋭角状に加工仕上げする。さら(二、ガス流
は陰極1の直角部分1cで乱されるので、放1の空間的
均一性がそこなわれやすい部分である。このため、81
0.。
て、ガス流4と直交する方向に平行配置された複数の棒
状陽極26二対向して複数のL形ピン状隘極1の@a先
端部を有する軸1aを所定間隔を設けて各々平行に配置
する。又、第2図に示すようにL[ビン形状441の先
端部1bは鋭角状に加工仕上げする。さら(二、ガス流
は陰極1の直角部分1cで乱されるので、放1の空間的
均一性がそこなわれやすい部分である。このため、81
0.。
υ、0..ガンマ白などの耐熱性に優れた絶縁物5をJ
lピン形状電極の他の軸1dおよび直角部分ICに被覆
し、この部分で放電がおこることを防ぐよう1′−シて
いる。この構成により、放電開始時の%1界強直は陰極
先端部が特に増大し、その結果放電開始電圧はビン形状
陰極先端部を球面状に加工仕上げした場合に比較し【、
30911以上も低下する。グロー放7!!においては
放M[流を増加させていくと、負グロー面積は増加する
ため、陰極ビン先端からほぼ直角に曲げた点の方向に、
放電領域が広がってぺる。
lピン形状電極の他の軸1dおよび直角部分ICに被覆
し、この部分で放電がおこることを防ぐよう1′−シて
いる。この構成により、放電開始時の%1界強直は陰極
先端部が特に増大し、その結果放電開始電圧はビン形状
陰極先端部を球面状に加工仕上げした場合に比較し【、
30911以上も低下する。グロー放7!!においては
放M[流を増加させていくと、負グロー面積は増加する
ため、陰極ビン先端からほぼ直角に曲げた点の方向に、
放電領域が広がってぺる。
本電極構成では、陰極−陽極間の放1に&は変化しない
ので、放1!繍持電圧はほとんど変化しない。
ので、放1!繍持電圧はほとんど変化しない。
このように、dllllピン形状隅用いると、放電面積
を第3図のL形ビン形状陰極を配置した構成よりも大き
くとりやすいので、第1図4=示すように、ビン本数を
大幅に低減することができる。L梨ピン形状陰極本数は
、レーザ出力に応じて変化させる必要があるが、放電の
安定性を考慮するとモリブデンを陰極材料に使用した場
合は陰極一本あたりの通電電流を500 fiA以下に
押える必要がある。陰極の太さ、長さは材料、ガス圧に
よって変化するので、最大レーザ出力を得る放゛磁電力
を注入した場合に、絶縁物で被覆していない部分を全面
杖亀が被うように決定することになる。
を第3図のL形ビン形状陰極を配置した構成よりも大き
くとりやすいので、第1図4=示すように、ビン本数を
大幅に低減することができる。L梨ピン形状陰極本数は
、レーザ出力に応じて変化させる必要があるが、放電の
安定性を考慮するとモリブデンを陰極材料に使用した場
合は陰極一本あたりの通電電流を500 fiA以下に
押える必要がある。陰極の太さ、長さは材料、ガス圧に
よって変化するので、最大レーザ出力を得る放゛磁電力
を注入した場合に、絶縁物で被覆していない部分を全面
杖亀が被うように決定することになる。
発明者らの実験では、本発明;:よれば従来構成と比較
して、陰極数を1/3に低減することができた、 〔発明の効果〕 以上のように本発明(二よれば従来の゛峨極構成と比較
して少ない陽極数で空間的に均一で、しかも放゛砥“磁
流の変化(二ともなう放電維持鴫圧変動の少ない炭酸ガ
スレーザ用電極を提供することができる。
して、陰極数を1/3に低減することができた、 〔発明の効果〕 以上のように本発明(二よれば従来の゛峨極構成と比較
して少ない陽極数で空間的に均一で、しかも放゛砥“磁
流の変化(二ともなう放電維持鴫圧変動の少ない炭酸ガ
スレーザ用電極を提供することができる。
第1図は本発明の一実施例の炭酸ガスレーザ用−極の構
成図、第2図は第1図の陰極部及びその近傍詳細図、第
3図は従来の放電方向とガス流方向が同方向の電極の構
成図である。 l・・・L形ビン形状陰i 1s、ld・・・軸 1b・・・先端部 lc・・・直角部分 2・・・棒状陽極 3・・・放電 4・・・ガス流方向 5・・・絶縁物 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 (ほか1名)第1図 第2図 第3図
成図、第2図は第1図の陰極部及びその近傍詳細図、第
3図は従来の放電方向とガス流方向が同方向の電極の構
成図である。 l・・・L形ビン形状陰i 1s、ld・・・軸 1b・・・先端部 lc・・・直角部分 2・・・棒状陽極 3・・・放電 4・・・ガス流方向 5・・・絶縁物 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 (ほか1名)第1図 第2図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ガス流方向と直交する方向に配置される棒状陽極と
、この棒状陽極と対向して配置される複数のL形ピン形
状陰極を備え成り、前記L形ピン形状陰極は陰極先端部
を有する軸を前記棒状陽極と平行に配置することを特徴
とする炭酸ガスレーザ用電極。 2、L形ピン形状陰極の直角部分及び前記陰極先端部を
有する軸以外の軸には耐熱性絶縁物を被覆する特許請求
の範囲第1項記載の炭酸ガスレーザ用電極。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11210885A JPS61271882A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11210885A JPS61271882A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61271882A true JPS61271882A (ja) | 1986-12-02 |
Family
ID=14578351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11210885A Pending JPS61271882A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | 炭酸ガスレ−ザ用電極 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61271882A (ja) |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP11210885A patent/JPS61271882A/ja active Pending
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