RU2209483C2 - Электронно-ионный источник - Google Patents
Электронно-ионный источник Download PDFInfo
- Publication number
- RU2209483C2 RU2209483C2 RU2001114090/28A RU2001114090A RU2209483C2 RU 2209483 C2 RU2209483 C2 RU 2209483C2 RU 2001114090/28 A RU2001114090/28 A RU 2001114090/28A RU 2001114090 A RU2001114090 A RU 2001114090A RU 2209483 C2 RU2209483 C2 RU 2209483C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- electron
- elements
- source
- emission hole
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Изобретение относится к получению электронных и ионных пучков и может быть использовано в ускорительной технике. Техническим результатом изобретения является повышение ресурса работы источника при сохранении постоянства эмиссионных характеристик электронно-ионного источника и геометрических характеристик пучка. Электронно-ионный источник содержит эмиттерный катод с эмиссионным отверстием и расположенный против него второй катод, анод, систему вытягивания и систему электропитания. Отличительной особенностью нового источника является то, что он снабжен двумя керамическими элементами с отверстиями, при этом один из элементов установлен в устье полого катода, а другой - в эмиттерном катоде в области эмиссионного отверстия, оба элемента установлены соосно с остальными электродами. 2 ил.
Description
Изобретение относится к области получения электронных и ионных пучков и может быть использовано в ускорительной технике.
Известен электронно-ионный источник с продольным извлечением частиц из отражательного разряда с холодными катодами, содержащий эмиттерный катод 1 с эмиссионным отверстием и расположенный против него второй катод 2, анод 3, систему вытягивания 4 и систему электропитания (А.С. СССР 456322, кл. Н 01 J 3/04, Н 01 J 3/02, 1973) (фиг.1).
К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного источника, относится то, что в известном источнике происходит изменение апертуры эмиттерного катода и апертуры устья полого катода в результате его распыления ускоренными ионами, и, как следствие, нежелательное изменение эмиссионных характеристик электронного источника и геометрических характеристик пучка в процессе работы источника.
Задачей изобретения является повышение ресурса работы источника при сохранении постоянства эмиссионных характеристик электронно-ионного источника и геометрических характеристик пучка.
Технический результат при осуществлении заявляемого изобретения достигается за счет уменьшения скорости распыления устья полого катода и эмиттерного катода в области эмиссионного отверстия.
Указанный технический результат при осуществлении изобретения достигается таким образом: как и известный источник, заявляемый электронно-ионный источник содержит эмиттерный катод 1 с эмиссионным отверстием и расположенный против него второй катод 2, анод 3, систему вытягивания 4 и систему электропитания. Отличительной особенностью нового источника является то, что он снабжен двумя керамическими элементами с отверстиями, при этом один из элементов 7 установлен в устье полого катода 2, а другой 6 в эмиттерном катоде 1 в области эмиссионного отверстия, оба элемента установлены соосно остальным электродам.
На фиг.2 изображен заявляемый электронно-ионный источник.
Источник содержит холодный эмиттерный катод 1 с закрепленным в нем керамическим кольцом 6, полый катод 2 в устье которого закреплено керамическое кольцо 7, цилиндрический анод 3 и извлекающий электрод 4. Магнитное поле между катодами обеспечивается постоянным магнитом 5.
Источник работает следующим образом.
При подаче напряжения между катодами 1, 2 и анодом 3 зажигается отражательный разряд. С увеличением тока разряда, когда протяженность области катодного падения потенциала становится меньше радиуса апертуры полости в катоде 2, плазма проникает в полость, и зажигается разряд с полым катодом. При проникновении плазмы в полый катод и в область отверстия в эмиттерном катоде, керамические кольца 6 и 7 приобретают плавающий потенциал, который на 30-40 В ниже потенциала плазмы. В этих условиях энергия ионов, попадающих на кольцо, не превышает 30-40 эВ, поэтому интенсивность распыления керамических вставок существенно ниже, чем интенсивность распыления металлических поверхностей. В свою очередь коэффициент ионного распыления керамики существенно ниже, чем у металлов, что благоприятно сказывается на повышении долговечности эмиттерного катода и повышении стабильности его параметров во времени.
Claims (1)
- Электронно-ионный источник с продольным извлечением частиц из отражательного разряда с холодными катодами, содержащий эмиттерный катод с эмиссионным отверстием и расположенный против него второй катод, анод, систему вытягивания и систему электропитания, отличающийся тем, что он снабжен двумя керамическими элементами с отверстиями, при этом один из элементов установлен в устье полого катода, а другой - в эмиттерном катоде в области эмиссионного отверстия, оба элемента установлены соосно с остальными электродами.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2001114090/28A RU2209483C2 (ru) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | Электронно-ионный источник |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2001114090/28A RU2209483C2 (ru) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | Электронно-ионный источник |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2001114090A RU2001114090A (ru) | 2003-07-10 |
RU2209483C2 true RU2209483C2 (ru) | 2003-07-27 |
Family
ID=29209672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2001114090/28A RU2209483C2 (ru) | 2001-05-22 | 2001-05-22 | Электронно-ионный источник |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2209483C2 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2740146C1 (ru) * | 2019-10-10 | 2021-01-11 | Евгений Олегович Щербаков | Ионный источник (ионная пушка) |
-
2001
- 2001-05-22 RU RU2001114090/28A patent/RU2209483C2/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2740146C1 (ru) * | 2019-10-10 | 2021-01-11 | Евгений Олегович Щербаков | Ионный источник (ионная пушка) |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4100055A (en) | Target profile for sputtering apparatus | |
Oks et al. | Development of plasma cathode electron guns | |
EP2057300B1 (en) | Ion source with recess in electrode | |
US6987364B2 (en) | Floating mode ion source | |
US3315125A (en) | High-power ion and electron sources in cascade arrangement | |
CN112635287A (zh) | 一种新型离子源等离子体中和器 | |
RU2209483C2 (ru) | Электронно-ионный источник | |
RU2167466C1 (ru) | Плазменный источник ионов и способ его работы | |
JPH1192919A (ja) | 金属イオンプラズマ発生装置 | |
US4871918A (en) | Hollow-anode ion-electron source | |
JPS60130039A (ja) | イオン源 | |
RU2231162C2 (ru) | Источник с катодным конусом высокочастотных импульсов ионов водорода | |
JP2020173984A (ja) | イオン源及びイオン注入装置並びにマグネシウムイオン生成方法 | |
SU551948A2 (ru) | Электронно-ионный источник | |
CN113357110B (zh) | 降低微型离子电推力器中原初电子损耗的方法及结构 | |
RU2237942C1 (ru) | Сильноточная электронная пушка | |
JPH10275566A (ja) | イオン源 | |
CN214012896U (zh) | 一种新型离子源等离子体中和器 | |
RU2371803C1 (ru) | Плазменный источник ионов | |
RU2176834C2 (ru) | Плазменный эмиттер ионов | |
RU2035790C1 (ru) | Полый катод плазменного эмиттера ионов | |
JP2586836B2 (ja) | イオン源装置 | |
SU1633467A1 (ru) | Плазменный источник зар женных частиц | |
SU1294189A1 (ru) | Ионный источник | |
JP4263806B2 (ja) | イオン発生方法およびイオン源 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20050523 |