JPH02208984A - 補助電極を備えた軸流形ガスレーザ - Google Patents
補助電極を備えた軸流形ガスレーザInfo
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- JPH02208984A JPH02208984A JP2769089A JP2769089A JPH02208984A JP H02208984 A JPH02208984 A JP H02208984A JP 2769089 A JP2769089 A JP 2769089A JP 2769089 A JP2769089 A JP 2769089A JP H02208984 A JPH02208984 A JP H02208984A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
〈産業上の利用分野）
この発明は軸流形ガスレーザに係り、更に詳細には、補
助電極を備えたレーザ管に関する。
助電極を備えたレーザ管に関する。
（従来の技術・）
第４図は従来の軸流形ガスレーザの概略図である。図示
のように軸流形がスレーブ１はレーザ管３．出力ミラー
５．後部ミラー７、ガス流入口９、同じく流出口１１．
陽極１３．陰極１５．電ＩＥ等から構成されでいる。レ
ーザ管３内のレーザガスは、放電により高温になるので
、矢印のように管外に出て、図示しない冷却装置により
冷却され、循環使用される。放電部は管内のガス流に沿
って図示の斜線のように中央管壁へ片寄って生ずる。両
極間の放電によって、レーザガスは励起され、誘導放出
した光は出力ミラー５．後部ミラー７の問を往復して増
幅され、発娠してその一部は出力ミラー５からレーザ光
りとして取り出される。
のように軸流形がスレーブ１はレーザ管３．出力ミラー
５．後部ミラー７、ガス流入口９、同じく流出口１１．
陽極１３．陰極１５．電ＩＥ等から構成されでいる。レ
ーザ管３内のレーザガスは、放電により高温になるので
、矢印のように管外に出て、図示しない冷却装置により
冷却され、循環使用される。放電部は管内のガス流に沿
って図示の斜線のように中央管壁へ片寄って生ずる。両
極間の放電によって、レーザガスは励起され、誘導放出
した光は出力ミラー５．後部ミラー７の問を往復して増
幅され、発娠してその一部は出力ミラー５からレーザ光
りとして取り出される。
第５図に示すものは、前記第４図のレーリ“ガスの流入
口９及び流出口１１をレーザ管の円周上に等間隔に複数
個設け、陽極１３は流入口９に複数個（ｎ個）設番プ、
陰極１５はリング状にしたものである。複数の陽極１３
は放電が各電極共均−になるように、別々の抵抗Ｒを介
して電源Ｅに接続されている。この形成の軸流形ガスレ
ーザはレーザガスの流れが前者より均一になり、放電部
はこの流れに沿って図示の斜線のような形状になる。
口９及び流出口１１をレーザ管の円周上に等間隔に複数
個設け、陽極１３は流入口９に複数個（ｎ個）設番プ、
陰極１５はリング状にしたものである。複数の陽極１３
は放電が各電極共均−になるように、別々の抵抗Ｒを介
して電源Ｅに接続されている。この形成の軸流形ガスレ
ーザはレーザガスの流れが前者より均一になり、放電部
はこの流れに沿って図示の斜線のような形状になる。
（発明が解決しようとする課題）
前記のように、第４図で述べたものは放電部が中央管壁
へ片寄って生ずるので、レーザガスの利用効率が小さく
、そのため出力の割に装置が大きくなった。また、第５
図で述べたものは、放電部の体積が前者より大きくなり
、レーザ出力も増加１°るが、レー’ｆ管の中間部から
陰極にかけて放電部が収縮し、この収縮部では、レーザ
ガスの温度が上昇するため、放電７ｔｆ力のレーザ光へ
の変換効率が下った。
へ片寄って生ずるので、レーザガスの利用効率が小さく
、そのため出力の割に装置が大きくなった。また、第５
図で述べたものは、放電部の体積が前者より大きくなり
、レーザ出力も増加１°るが、レー’ｆ管の中間部から
陰極にかけて放電部が収縮し、この収縮部では、レーザ
ガスの温度が上昇するため、放電７ｔｆ力のレーザ光へ
の変換効率が下った。
この発明は、このような問題に着目して創案されたもの
で、耐記従来例に見られるようなレーザ管の中間部から
陰極へかけての放電断面の収縮を軽減し、レーザガスの
有効な利用と、放電電力のレーザ光への効率的な変換を
行うことのできるレーザ管を提供することを目的とする
ものである。
で、耐記従来例に見られるようなレーザ管の中間部から
陰極へかけての放電断面の収縮を軽減し、レーザガスの
有効な利用と、放電電力のレーザ光への効率的な変換を
行うことのできるレーザ管を提供することを目的とする
ものである。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
前記の目的を達成するために、この発明の補助電極を備
えた軸流形ガスレーザは、レーザ管の一端に円周に沿っ
て等間隔にピン状の電極を複数個配設し、他端にリング
状の電極を設け、レーザ管の中間部に円周に沿って等間
隔にピン状の補助電極を複数個配設し、この補助電極と
前記一端に配設したピン状の電極の間に、直列に接続し
た２個の抵抗を挿入し、この２個の抵抗の中間接続点と
、前記他端に設けたリング状の電極の間に、放電用の電
源を接続したものである。
えた軸流形ガスレーザは、レーザ管の一端に円周に沿っ
て等間隔にピン状の電極を複数個配設し、他端にリング
状の電極を設け、レーザ管の中間部に円周に沿って等間
隔にピン状の補助電極を複数個配設し、この補助電極と
前記一端に配設したピン状の電極の間に、直列に接続し
た２個の抵抗を挿入し、この２個の抵抗の中間接続点と
、前記他端に設けたリング状の電極の間に、放電用の電
源を接続したものである。
（作用）
前記のように構成されているので、リング状の電極を陰
極とした場合、レーザ管の中間部に配設したピン状の補
助電極の電位は、従来のように補助電極のない場合のこ
の位置の電位より上昇する。したがって、補助電極と、
リング状の陰極との間で放電が行われるので、従来のよ
うな放電部の収縮が軽減される。この場合、主放電は、
レーザ管の一端の複数個のピン状の電極と、リング状の
陰極との間で行われる。
極とした場合、レーザ管の中間部に配設したピン状の補
助電極の電位は、従来のように補助電極のない場合のこ
の位置の電位より上昇する。したがって、補助電極と、
リング状の陰極との間で放電が行われるので、従来のよ
うな放電部の収縮が軽減される。この場合、主放電は、
レーザ管の一端の複数個のピン状の電極と、リング状の
陰極との間で行われる。
（実施例）
次に、この発明の実施例について図面に基づいて説明す
る。第１図はこの発明を実施した軸流形ガスレーザの概
略図である。この軸流形ガスレーザ１は、前述の従来例
（第５図）と同様にレーザ管３．出力ミラー５．後部ミ
ラー７、流入口９゜流出口１１．？！数個（ｎ個）の陽
極１３．リング状の陰極１５等を、図示のように配設し
、更に、レーザ管３の中間部に、円周に沿ってピン状の
補助電極１７を複数個配設し、これらと前記複数の陽極
１３との間に直列抵抗Ｒ＋ 、Ｒ２を挿入し、直列抵抗
Ｒ＋、Ｒ２の接続点１９とリング状の陰極１５の間に放
電用電源Ｅを接続したものである。
る。第１図はこの発明を実施した軸流形ガスレーザの概
略図である。この軸流形ガスレーザ１は、前述の従来例
（第５図）と同様にレーザ管３．出力ミラー５．後部ミ
ラー７、流入口９゜流出口１１．？！数個（ｎ個）の陽
極１３．リング状の陰極１５等を、図示のように配設し
、更に、レーザ管３の中間部に、円周に沿ってピン状の
補助電極１７を複数個配設し、これらと前記複数の陽極
１３との間に直列抵抗Ｒ＋ 、Ｒ２を挿入し、直列抵抗
Ｒ＋、Ｒ２の接続点１９とリング状の陰極１５の間に放
電用電源Ｅを接続したものである。
抵抗Ｒ＋ 、Ｒ２を設けたのは、補助電極位置の電位を
、これを設けない場合のレーザ管の同じ位置の電位より
適当に高くするためである。
、これを設けない場合のレーザ管の同じ位置の電位より
適当に高くするためである。
このレーザ管３の電気的な等価回路は第２図のようにな
る。ここでＲ（Ｊ＋、Ｒす２はそれぞれ、陽極１３から
補助電＄ｉ１７．補助電極１７から陰極１５までのレー
ザガスの電気抵抗である。この回路図のｎＲ＋を前述の
第５図のｎＲと等しいとすれば、ｎＲｚが挿入されただ
け回路抵抗は低下し、電流は増加する。したがって、Ｒ
（＋２の両端の電圧は増加する。即ち、補助電極の電圧
はｎＲ２を挿入したため上昇することになる。
る。ここでＲ（Ｊ＋、Ｒす２はそれぞれ、陽極１３から
補助電＄ｉ１７．補助電極１７から陰極１５までのレー
ザガスの電気抵抗である。この回路図のｎＲ＋を前述の
第５図のｎＲと等しいとすれば、ｎＲｚが挿入されただ
け回路抵抗は低下し、電流は増加する。したがって、Ｒ
（＋２の両端の電圧は増加する。即ち、補助電極の電圧
はｎＲ２を挿入したため上昇することになる。
放電中に６けるレーザ管３の軸方向く第３図Ｘ軸）の電
圧分布は、レーザガスの電離等のため簡単な式では表わ
せないが、横軸に陽極１３．補助電極１７．陰１４１５
の各位置を、それぞれＯ２北０．１にとり、縦軸に電圧
Ｖをとれば、大凡、第３図のようになる。実線はこの発
明の補助電極を備えた場合、点線は従来例（第５図）の
場合である。即ち、補助電極を設けると両極の間で電圧
分布が上方へ移動し、補助電極の位置ではΔＶだけ増加
する。
圧分布は、レーザガスの電離等のため簡単な式では表わ
せないが、横軸に陽極１３．補助電極１７．陰１４１５
の各位置を、それぞれＯ２北０．１にとり、縦軸に電圧
Ｖをとれば、大凡、第３図のようになる。実線はこの発
明の補助電極を備えた場合、点線は従来例（第５図）の
場合である。即ち、補助電極を設けると両極の間で電圧
分布が上方へ移動し、補助電極の位置ではΔＶだけ増加
する。
［発明の効果］
以上の説明から理解されるように、この発明は、特許請
求の範囲に記載の構成を備えているので、従来のような
レーザ管の中間部から陰極へかけての放電部の収縮が軽
減され、レーザガスの利用効率が向上する。したがって
レーザ出力が向上する。
求の範囲に記載の構成を備えているので、従来のような
レーザ管の中間部から陰極へかけての放電部の収縮が軽
減され、レーザガスの利用効率が向上する。したがって
レーザ出力が向上する。
また、レーザガスの温度上昇が軽減されるため、レーザ
光への電力変換効率も向上する。このためレーザ出力が
向上すると共に、レーザガスの冷却装置の負荷が軽減す
るので、装置の小形化が可能になる。
光への電力変換効率も向上する。このためレーザ出力が
向上すると共に、レーザガスの冷却装置の負荷が軽減す
るので、装置の小形化が可能になる。
第１図、第２図、第３図はそれぞれ、この発明の実施例
の概略図、電気的等価回路、電圧分布図である。第４図
、第５図はそれぞれ従来の軸流ガスレーザの例である。 なお、図面の同一符号は同−物又は相当物を表わず。 図面の主要な部分を表わす符号の説明 １・・・軸流形ガスレーザ ３・・・レーザ管 ９・・・流入口 １１・・・流出口
１３・・・陰極 １５・・・陽極 １７・・・補助
電極Ｒ＋ 、Ｒ２・・・抵抗 代理人 弁理士 三 好 秀 和 第５図
の概略図、電気的等価回路、電圧分布図である。第４図
、第５図はそれぞれ従来の軸流ガスレーザの例である。 なお、図面の同一符号は同−物又は相当物を表わず。 図面の主要な部分を表わす符号の説明 １・・・軸流形ガスレーザ ３・・・レーザ管 ９・・・流入口 １１・・・流出口
１３・・・陰極 １５・・・陽極 １７・・・補助
電極Ｒ＋ 、Ｒ２・・・抵抗 代理人 弁理士 三 好 秀 和 第５図
Claims (1)
- レーザ管の一端に円周に沿って等間隔にピン状の電極を
複数個配設し、他端にリング状の電極を設け、レーザ管
の中間部に円周に沿つて等間隔にピン状の補助電極を複
数個配設し、この補助電極と前記一端に配設したピン状
の電極の間に、直列に接続した２個の抵抗を挿入し、こ
の２個の抵抗の中間接続点と、前記他端に設けたリング
状の電極の間に、放電用の電源を接続してなる補助電極
を備えた軸流形ガスレーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2769089A JP2810082B2 (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 補助電極を備えた軸流形ガスレーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2769089A JP2810082B2 (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 補助電極を備えた軸流形ガスレーザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02208984A true JPH02208984A (ja) | 1990-08-20 |
| JP2810082B2 JP2810082B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=12227966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2769089A Expired - Fee Related JP2810082B2 (ja) | 1989-02-08 | 1989-02-08 | 補助電極を備えた軸流形ガスレーザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2810082B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001093380A1 (fr) * | 2000-05-30 | 2001-12-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif d'oscillation laser |
| EP1326311A1 (en) * | 2000-05-30 | 2003-07-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Auxiliary electrode for gas laser oscillator |
| CN103378534A (zh) * | 2012-04-18 | 2013-10-30 | 靖江市神久机械制造有限公司 | 一种二氧化碳激光器放电装置 |
-
1989
- 1989-02-08 JP JP2769089A patent/JP2810082B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001093380A1 (fr) * | 2000-05-30 | 2001-12-06 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Dispositif d'oscillation laser |
| EP1248332A1 (en) * | 2000-05-30 | 2002-10-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser oscillating device |
| EP1248332A4 (en) * | 2000-05-30 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | LASER OSCILLATION DEVICE |
| EP1326311A1 (en) * | 2000-05-30 | 2003-07-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Auxiliary electrode for gas laser oscillator |
| US6895030B1 (en) | 2000-05-30 | 2005-05-17 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser oscillating device |
| US6944200B2 (en) | 2000-05-30 | 2005-09-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser oscillator |
| CN103378534A (zh) * | 2012-04-18 | 2013-10-30 | 靖江市神久机械制造有限公司 | 一种二氧化碳激光器放电装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2810082B2 (ja) | 1998-10-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |