JPS61240690A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS61240690A JPS61240690A JP8123585A JP8123585A JPS61240690A JP S61240690 A JPS61240690 A JP S61240690A JP 8123585 A JP8123585 A JP 8123585A JP 8123585 A JP8123585 A JP 8123585A JP S61240690 A JPS61240690 A JP S61240690A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitor
- main discharge
- gas laser
- discharge electrode
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はガスレーザ発振装置に関する。
レーザ発振方向に対して垂直方向に対して垂直方向に放
電を発生させる横方向励起ガスレーザで。
電を発生させる横方向励起ガスレーザで。
大気圧以上の比較的高い圧力で動作する装置では。
放電を安定化するだめの予備電離が必要である。
この予備電離にはいろいろな種類があり、主電極と平行
にピン電極を配置した紫外光予備電離方式もその一つで
ある。この方式による従来例について第４図にて説明す
る。すなわち１円筒形の気密構造になる容器（１）を有
し、この容器（１）には例えばＣＯ，、Ｈ２，Ｈｅ２の
３種のガスを所定の割合で混合したガスレーザ媒質がほ
ぼ大気圧に保持されて封入されている。また、容器（１
）内には次の各要素が互いに関係ずけられて配置されて
いる。すなわち。
にピン電極を配置した紫外光予備電離方式もその一つで
ある。この方式による従来例について第４図にて説明す
る。すなわち１円筒形の気密構造になる容器（１）を有
し、この容器（１）には例えばＣＯ，、Ｈ２，Ｈｅ２の
３種のガスを所定の割合で混合したガスレーザ媒質がほ
ぼ大気圧に保持されて封入されている。また、容器（１
）内には次の各要素が互いに関係ずけられて配置されて
いる。すなわち。
金属製の一対の保持板（２ａ）、 （２ｂ）が間隔をお
き。
き。
かつ平行になって容器（１）の内壁に取り付けられてい
る。一方の保持板（２ａ）は他方の保持板（２ｂ）に対
向側において同じく金属製の取り付は板（３）と組合っ
て絶縁物（４）を挟装している。取り付は板（３）は絶
縁物（４）によシ容器（１）と絶縁されている。取υ付
は板（３）には主放電電極の一方をなすかまぼこ状陰極
（５）が設けられ、この陰極に対向して他方をなす同じ
くかまぼこ状の陽極（６）が保持板（２ｂ）に取り付け
られている。保持板（２ｂ）と取り付は板（３）に予備
放電のためのピン電極（７ａ）、 （７ｂ）がそれぞれ
対になって容器（］）の軸方向に沿って多数配置されて
いる。陰極（５）側になる一方のピン電極（７ａ）には
予備放電時の不必要なエネルギ消費を防止する第１のキ
ャパシタ（８）がそれぞれ接続されている。また。
る。一方の保持板（２ａ）は他方の保持板（２ｂ）に対
向側において同じく金属製の取り付は板（３）と組合っ
て絶縁物（４）を挟装している。取り付は板（３）は絶
縁物（４）によシ容器（１）と絶縁されている。取υ付
は板（３）には主放電電極の一方をなすかまぼこ状陰極
（５）が設けられ、この陰極に対向して他方をなす同じ
くかまぼこ状の陽極（６）が保持板（２ｂ）に取り付け
られている。保持板（２ｂ）と取り付は板（３）に予備
放電のためのピン電極（７ａ）、 （７ｂ）がそれぞれ
対になって容器（］）の軸方向に沿って多数配置されて
いる。陰極（５）側になる一方のピン電極（７ａ）には
予備放電時の不必要なエネルギ消費を防止する第１のキ
ャパシタ（８）がそれぞれ接続されている。また。
陰極（５）にはアースされた高圧のパルス電源（９）よ
シ高圧が印加されている。また、容器（１）および陽極
（６）もそれぞれアースされている。
シ高圧が印加されている。また、容器（１）および陽極
（６）もそれぞれアースされている。
上記の構成において、第１のキャパシタ（８）は主放電
と予備ＩＩＩ 電とのタイミングをとり、さらに主放電
の電流ピークを大きくするために用いられているが、と
の容器は主放電用コンデンサ（図示せず）と同程度に大
きくすることが望まれている。
と予備ＩＩＩ 電とのタイミングをとり、さらに主放電
の電流ピークを大きくするために用いられているが、と
の容器は主放電用コンデンサ（図示せず）と同程度に大
きくすることが望まれている。
しかし、キャパシタの容器を増すことは寸法的にも大き
くなり、容器（１）が大形になってしまう。逆にキャパ
シタ（８）を小型にして多数配置するにしても上記構成
では限度があり５また。主放電域に流れるガスレーザ媒
質の流れが阻害されてしまう問題が生じる。
くなり、容器（１）が大形になってしまう。逆にキャパ
シタ（８）を小型にして多数配置するにしても上記構成
では限度があり５また。主放電域に流れるガスレーザ媒
質の流れが阻害されてしまう問題が生じる。
本発明は予備放電を必要最小限におさえ、かつ主放電部
には最大限にエネルギを供給できるガスレーザ発掘装置
を提供することを目的とする。
には最大限にエネルギを供給できるガスレーザ発掘装置
を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、高電圧側電極を絶縁物を用
いるとと々くキャパシタで保持する構成にしたものであ
る。
いるとと々くキャパシタで保持する構成にしたものであ
る。
以下、本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。
なお、第４図と共通する部分には同一符号を付し詳細な
説明は省略する。すなわち、第４図に示した構成と異な
るところは、保持板（２ａ）と取り付は板（３）との間
に絶縁物でなく第２のキャパシタ（１０をその両端を上
記それぞれの板に接続して介在させた点と、保持板（２
ａ）、 （２ｂ）間を銅製の一対のリード板（ｌｌａ）
、 （ｌｌｂ）で接続し、これらで風洞を形成した点に
ある。ここで、上記実施例を等価回路的に示すと第２図
のようになる。ただし、この回路図ではキャパシタ（８
）、（１０）は多数配置したときの等価容量を表わして
いる。この回路について説明すると、高圧パルス電源（
９）は高圧電源（９ａ）と充電抵抗Ｑつおよび主放電キ
ャパシタ（１３）とで構成され。
説明は省略する。すなわち、第４図に示した構成と異な
るところは、保持板（２ａ）と取り付は板（３）との間
に絶縁物でなく第２のキャパシタ（１０をその両端を上
記それぞれの板に接続して介在させた点と、保持板（２
ａ）、 （２ｂ）間を銅製の一対のリード板（ｌｌａ）
、 （ｌｌｂ）で接続し、これらで風洞を形成した点に
ある。ここで、上記実施例を等価回路的に示すと第２図
のようになる。ただし、この回路図ではキャパシタ（８
）、（１０）は多数配置したときの等価容量を表わして
いる。この回路について説明すると、高圧パルス電源（
９）は高圧電源（９ａ）と充電抵抗Ｑつおよび主放電キ
ャパシタ（１３）とで構成され。
主放電キャパシタの充電電荷が陰極（５）、陽極（６）
に流れるように回路を構成している。ここで、陽極（６
）側の線路には主放電キャパシタ（１３）側からキャッ
プスイッチ（ＩＣインダクタンス０５）および（１６）
が接続されている。インダクタンス（［■と（１６）と
の間において、第１のキャパシタ（８）を介したピン電
極（７ａ）、（７ｂ）が上記回路に接続されている。ま
た、陰極（５ｊ、陽極（６）には上記回路に接続した第
２のキャパシタ（１０）がインダクタンス（１（９を介
して並列に接続されている。以上の構成になる回路の作
用について次に説明する。高圧電源（９ａ）によって主
放電キャパシタ０［有］が十分に充電され、ギャップス
イッチ０４）が適当な時間に点火したものと仮定する。
に流れるように回路を構成している。ここで、陽極（６
）側の線路には主放電キャパシタ（１３）側からキャッ
プスイッチ（ＩＣインダクタンス０５）および（１６）
が接続されている。インダクタンス（［■と（１６）と
の間において、第１のキャパシタ（８）を介したピン電
極（７ａ）、（７ｂ）が上記回路に接続されている。ま
た、陰極（５ｊ、陽極（６）には上記回路に接続した第
２のキャパシタ（１０）がインダクタンス（１（９を介
して並列に接続されている。以上の構成になる回路の作
用について次に説明する。高圧電源（９ａ）によって主
放電キャパシタ０［有］が十分に充電され、ギャップス
イッチ０４）が適当な時間に点火したものと仮定する。
主放電キャパシタ（１段の電荷はインダクタンス（５Ｊ
、 ＋１（ｉｔ、 ＩＪηヲ通シて第１および第２のキ
ャパシタ（８）、 （Ｉｒｌｌにそれぞれ移じょうする
。この場合、移しよう率を主放電キャパシタの充を電荷
量と、第１．第２のキャパシタ（８）ｉｌＱｌへ移じょ
うした電荷量の比として表わすと。
、 ＋１（ｉｔ、 ＩＪηヲ通シて第１および第２のキ
ャパシタ（８）、 （Ｉｒｌｌにそれぞれ移じょうする
。この場合、移しよう率を主放電キャパシタの充を電荷
量と、第１．第２のキャパシタ（８）ｉｌＱｌへ移じょ
うした電荷量の比として表わすと。
移しよう率は第１．第２のキャパシタ（８）、（１０）
の並列容量と主放電キャパシタが等しいとき最大となる
ことは周知であるから、容器（１）内における容量を第
１．第２のキャパシタ（８）、（Ｉｎのように分割する
ことで、比較的蘭学な調整で移しよう率を最大にするこ
とが可能となる。この場合、第２のキャパシタ００）の
方を可及的に少ない容量にして第１のキャパシタ（８）
を大きくすれば予備放電に必要以上のエネルギを浪費す
ることなく、最大の移しよう率を達成することができる
。
の並列容量と主放電キャパシタが等しいとき最大となる
ことは周知であるから、容器（１）内における容量を第
１．第２のキャパシタ（８）、（Ｉｎのように分割する
ことで、比較的蘭学な調整で移しよう率を最大にするこ
とが可能となる。この場合、第２のキャパシタ００）の
方を可及的に少ない容量にして第１のキャパシタ（８）
を大きくすれば予備放電に必要以上のエネルギを浪費す
ることなく、最大の移しよう率を達成することができる
。
一方、線路のインダクタンス（１５１，１１６１，（Ｉ
ｎの値をそれぞれ（’＋）、 （−’り、 Ｃ’ｓ）と
するとこれらの値は上記回路構成から１１）１□＞Ｊ、
であるから、主放電開始後、陰極（５）、陽極（６）間
を流れる電流は第４図に示すように’１＋ ’２＋ ’
Ｓの合成であるから、放電電流は線路のインダクタンス
の大小にかかわらず、有効に利用され、安定な放電が維
持される。これを、エキシマレーザでは従来の倍近い出
力エネルギを得ることができた。
ｎの値をそれぞれ（’＋）、 （−’り、 Ｃ’ｓ）と
するとこれらの値は上記回路構成から１１）１□＞Ｊ、
であるから、主放電開始後、陰極（５）、陽極（６）間
を流れる電流は第４図に示すように’１＋ ’２＋ ’
Ｓの合成であるから、放電電流は線路のインダクタンス
の大小にかかわらず、有効に利用され、安定な放電が維
持される。これを、エキシマレーザでは従来の倍近い出
力エネルギを得ることができた。
以上詳述したように、第２のキャパシタを付加し、これ
を高電圧側電極である陰極を保持する構造としたため、
容器内の等価容量の増減が非常に容易と々す、同じ等価
容量で比較した場合５極めて小型な構造にすることがで
きた。
を高電圧側電極である陰極を保持する構造としたため、
容器内の等価容量の増減が非常に容易と々す、同じ等価
容量で比較した場合５極めて小型な構造にすることがで
きた。
第１図は本発明の一実施例を示す横断面図、第２図は同
実施例の回路図、第３図は電流波形図。 第４図は従来例を示す横断面図である。 （１）・・・容 器 （５）・・・陰 極
（６）・・・陽 極 （７ａ）、 （７ｂ）・・・
ピン電極（８）・・・第１のキャパシタ （９）・・
・パルス電源０す・・・第２のキャパシタ 第１図 第２図
実施例の回路図、第３図は電流波形図。 第４図は従来例を示す横断面図である。 （１）・・・容 器 （５）・・・陰 極
（６）・・・陽 極 （７ａ）、 （７ｂ）・・・
ピン電極（８）・・・第１のキャパシタ （９）・・
・パルス電源０す・・・第２のキャパシタ 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）ガスレーザ媒質と、このガスレーザ媒質を封入し
た容器と、この容器内に所定の間隔をおいて対向配置さ
れる陰極および陽極からなる主放電電極と、主放電域お
よびその近傍を予備電離する予備放電電極と、この予備
放電電極に接続される第１のキャパシタと、上記主放電
電極に並列に接続されかつこの主放電電極の高電圧側電
極の背面側を支持する位置に設けられ第２のキャパシタ
と、上記主放電電極にパルス状電圧を印加するパルス電
源とを備えたことを特徴とするガスレーザ発振装置。 - （２）上記容器は円筒状金属パイプでできていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8123585A JPS61240690A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8123585A JPS61240690A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61240690A true JPS61240690A (ja) | 1986-10-25 |
| JPH0467797B2 JPH0467797B2 (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=13740779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8123585A Granted JPS61240690A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61240690A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6313387A (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-20 | Nec Corp | パルスガスレ−ザ装置 |
| JPS63288078A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Keisuke Sasaki | エキシマ−レ−ザ−の発振装置 |
| JPS63299288A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Shibuya Kogyo Co Ltd | パルスガスレ−ザ装置 |
| WO1992014288A1 (fr) * | 1991-02-08 | 1992-08-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser a emission par impulsions |
-
1985
- 1985-04-18 JP JP8123585A patent/JPS61240690A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6313387A (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-20 | Nec Corp | パルスガスレ−ザ装置 |
| JPS63288078A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Keisuke Sasaki | エキシマ−レ−ザ−の発振装置 |
| JPS63299288A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Shibuya Kogyo Co Ltd | パルスガスレ−ザ装置 |
| JPH0561789B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1993-09-07 | Shibuya Kogyo Co Ltd | |
| WO1992014288A1 (fr) * | 1991-02-08 | 1992-08-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser a emission par impulsions |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0467797B2 (ja) | 1992-10-29 |
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