JPS622579A - 放電型ガスレ−ザ装置 - Google Patents
放電型ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS622579A JPS622579A JP14052185A JP14052185A JPS622579A JP S622579 A JPS622579 A JP S622579A JP 14052185 A JP14052185 A JP 14052185A JP 14052185 A JP14052185 A JP 14052185A JP S622579 A JPS622579 A JP S622579A
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- JP
- Japan
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- discharge
- anode
- distance
- electrode
- cathode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はＣＯ８などのガス放電を用いた放電減ガスレ
ーザ装置に関する。
ーザ装置に関する。
第４図は従来の直流横方向放電型気体レーザー装置の概
略断面図である。図において、カソードは棒形状をした
複数の電極セグメントＩＫ分割されており、各セグメン
トは絶縁体４により固定されている。２はアノード電極
である。３は放電安定用のパラスト抵抗である。小部で
高出力レーザー発振を行なうためには、放電電力密度が
高く、安定で放電領域全体にわたって空間的に一様なグ
ロー放電を発生させなければならない。従来、分割カソ
ード表面の形状として、棒状あるいは板状のものが用い
られてきた。この様な形状ではレーザーカスの圧力が高
くなると（数十トール以上）カソード表面の負グロー領
域が不安定になりやすく、放電の不安定性にもつながる
結果となる。また、ｌ（ｅ −ＣＯ２−Ｎｌの混合ガス
に対しては放電開始電圧と放電維持電圧（グロー電圧）
の間に、かなりの開きがあり、電源５の電圧が必要以上
に高くなり、電源の大型化や価格の上昇等につながる結
果となる。なお、符号６は放電ガスの流れ方向を示して
いる。
略断面図である。図において、カソードは棒形状をした
複数の電極セグメントＩＫ分割されており、各セグメン
トは絶縁体４により固定されている。２はアノード電極
である。３は放電安定用のパラスト抵抗である。小部で
高出力レーザー発振を行なうためには、放電電力密度が
高く、安定で放電領域全体にわたって空間的に一様なグ
ロー放電を発生させなければならない。従来、分割カソ
ード表面の形状として、棒状あるいは板状のものが用い
られてきた。この様な形状ではレーザーカスの圧力が高
くなると（数十トール以上）カソード表面の負グロー領
域が不安定になりやすく、放電の不安定性にもつながる
結果となる。また、ｌ（ｅ −ＣＯ２−Ｎｌの混合ガス
に対しては放電開始電圧と放電維持電圧（グロー電圧）
の間に、かなりの開きがあり、電源５の電圧が必要以上
に高くなり、電源の大型化や価格の上昇等につながる結
果となる。なお、符号６は放電ガスの流れ方向を示して
いる。
この発明は、前述した従来の装置の欠点を改良したもの
で、高圧力下でのカソード表面の負グロ−の不安定を抑
制し、同時にカソード表面の放電面積を多く取れる様処
することにより一様で高電力密度の放電を行なわせ、更
に放電開始電圧を低下させることにより、小型で低価格
、高出力の放電型気体レーザー装置を提供することを目
的としている。
で、高圧力下でのカソード表面の負グロ−の不安定を抑
制し、同時にカソード表面の放電面積を多く取れる様処
することにより一様で高電力密度の放電を行なわせ、更
に放電開始電圧を低下させることにより、小型で低価格
、高出力の放電型気体レーザー装置を提供することを目
的としている。
本発明は、例えばカソード分割電極のガス上流側の面と
アノードとの距離が、カソード分割電極のガス下流側の
面とアノードの距離よりも短かくなるような分割電極形
状で構成されたことを特徴とした放電型ガスレーザ装置
である。
アノードとの距離が、カソード分割電極のガス下流側の
面とアノードの距離よりも短かくなるような分割電極形
状で構成されたことを特徴とした放電型ガスレーザ装置
である。
本発明によれば、カソード表面の負グローの不安定を抑
制することができ空間的に一様で高電力密度の放電を行
なわせ、更に放電開始電圧を低下させることにより、小
皺で低価格の高出力レーザ装置を実現することができる
。
制することができ空間的に一様で高電力密度の放電を行
なわせ、更に放電開始電圧を低下させることにより、小
皺で低価格の高出力レーザ装置を実現することができる
。
以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
第１図は、本発明の放電型ガスレーザ装置の電極部分を
示している。この電極部分で従来技術で用いた部分と同
一部分については、同一符号を用いて説明する。この装
置の分割電極７は、例えばカソードとして動作させるよ
うに構成されており、第２図に示すように、アノード２
と対向して複数個、各々離間されている。この分割電極
７は、板状で、バラスト抵抗３と接続されている軸部８
に電気的かつ機械的に固定され、そのアノード側の端面
とアノード２の面との距離が下流に行くにしたがって、
長くなるような形状となるように配置されている。この
電極形状は、例えば第３図（ａ）〜（ｅ）のような形状
であってもよい。また、実施例は板状であったが、ブロ
ック状あるいは棒状の電極であってもよく、その断面が
第３図（ａ）〜（ｅｌ）のような側面形状であれば良い
。いずれＫしても分割電極７のアノード側の端面とアノ
ードとの距離が、ガス上流側の距離１ｕ より下流ｌ
の距離１ｄの方が長ければよい。
示している。この電極部分で従来技術で用いた部分と同
一部分については、同一符号を用いて説明する。この装
置の分割電極７は、例えばカソードとして動作させるよ
うに構成されており、第２図に示すように、アノード２
と対向して複数個、各々離間されている。この分割電極
７は、板状で、バラスト抵抗３と接続されている軸部８
に電気的かつ機械的に固定され、そのアノード側の端面
とアノード２の面との距離が下流に行くにしたがって、
長くなるような形状となるように配置されている。この
電極形状は、例えば第３図（ａ）〜（ｅ）のような形状
であってもよい。また、実施例は板状であったが、ブロ
ック状あるいは棒状の電極であってもよく、その断面が
第３図（ａ）〜（ｅｌ）のような側面形状であれば良い
。いずれＫしても分割電極７のアノード側の端面とアノ
ードとの距離が、ガス上流側の距離１ｕ より下流ｌ
の距離１ｄの方が長ければよい。
本発明の装置のような形状、あるいは配置をするのは、
次のような理由による。
次のような理由による。
一般に、流れのある数十Ｔｏｒｒ 以上の高ガス中では
、カソード表面の負グロー領域が不安定になりやすい。
、カソード表面の負グロー領域が不安定になりやすい。
ガスレーザ放電は、ガス流れ方向く沿って、一様で（ミ
ラーの大きさにしたがった）ある幅を持った放電領域が
必要である。そのために分割電極７は、ガス流れ方向に
沿っである長さの電極が必要である。しかし、実際の放
電の様子を観察すると、負グロー領域はガスの流方向に
さらされて不安定にな抄やすく、下流側の方へ負グロー
領域が集中しやすく、そのために放電領域が一様でなく
、しかも放電々力の高密度化は達成され得ない。したが
って、上流側で放電し畢すくなるように分割電極のアノ
ード側の端面とアノードとの距離（／Ｕ）をノｄよりも
小さくすれば、放電起動時は上流側で放電が発生し、徐
々に放電々力を増加すると下流側へ負グローがのびてゆ
き、しかも負グローは安定して分割電極全面に存在する
ことが確認された。その結果、放電領域が広がり安定で
一様な放電が実現できた。さらにこのような形状によシ
、励起空間体積を同一にして、従来の技術と比較すると
、放電開始電圧は従来のそれよりも低くでき、電源の最
大電圧を低下することが可能となり、装置の小屋化、低
価格化を達成することができる。
ラーの大きさにしたがった）ある幅を持った放電領域が
必要である。そのために分割電極７は、ガス流れ方向に
沿っである長さの電極が必要である。しかし、実際の放
電の様子を観察すると、負グロー領域はガスの流方向に
さらされて不安定にな抄やすく、下流側の方へ負グロー
領域が集中しやすく、そのために放電領域が一様でなく
、しかも放電々力の高密度化は達成され得ない。したが
って、上流側で放電し畢すくなるように分割電極のアノ
ード側の端面とアノードとの距離（／Ｕ）をノｄよりも
小さくすれば、放電起動時は上流側で放電が発生し、徐
々に放電々力を増加すると下流側へ負グローがのびてゆ
き、しかも負グローは安定して分割電極全面に存在する
ことが確認された。その結果、放電領域が広がり安定で
一様な放電が実現できた。さらにこのような形状によシ
、励起空間体積を同一にして、従来の技術と比較すると
、放電開始電圧は従来のそれよりも低くでき、電源の最
大電圧を低下することが可能となり、装置の小屋化、低
価格化を達成することができる。
なお、この発明の実施例では、カソード電極を分割電極
とし、各カソード電極の板体のアノード側の端面とアノ
ードとの上流側の距離が下流側のそれよりも小さくなる
形状になっている。その他県３図のごとく基本的にはｌ
ｕ ＜ ｌｄであればどんな形状でも本発明の効果は変
らない。
とし、各カソード電極の板体のアノード側の端面とアノ
ードとの上流側の距離が下流側のそれよりも小さくなる
形状になっている。その他県３図のごとく基本的にはｌ
ｕ ＜ ｌｄであればどんな形状でも本発明の効果は変
らない。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例の分割カソード電極の一つを示
す側面から見た構成概略断面図、第２図は第１図の正面
から見た概略断面図、第３図は本発明の実施例の変形例
を示す要部斜視図、第４図は従来のレーザ装置放電部の
概略構成図である。 １・・・分割カソード電極 ２・・・アノード電極３・
・・バラスト抵抗 ５・・・放電々極６・・・ガス
流れ方向 ７・・・本発明の電極９・・・ミラー 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ばか１名）第
１ 図 第 ２ 図 第 ３ 図 第 斗 図
す側面から見た構成概略断面図、第２図は第１図の正面
から見た概略断面図、第３図は本発明の実施例の変形例
を示す要部斜視図、第４図は従来のレーザ装置放電部の
概略構成図である。 １・・・分割カソード電極 ２・・・アノード電極３・
・・バラスト抵抗 ５・・・放電々極６・・・ガス
流れ方向 ７・・・本発明の電極９・・・ミラー 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ばか１名）第
１ 図 第 ２ 図 第 ３ 図 第 斗 図
Claims (1)
- 流通するガスレーザ媒質中にアノードおよびカソードの
両電極を対向設置させ、前記両電極の少なくとも一方の
電極が複数個に分割された分割電極より構成される放電
型ガスレーザ装置において、前記分割電極と他方の電極
とのガス上流側の距離が、前記分割電極と他方の電極と
のガス下流側の距離よりも短かいことを特徴とする放電
型ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14052185A JPS622579A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電型ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14052185A JPS622579A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電型ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622579A true JPS622579A (ja) | 1987-01-08 |
Family
ID=15270592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14052185A Pending JPS622579A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 放電型ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS622579A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5756440A (en) * | 1980-09-22 | 1982-04-05 | Sumitomo Chem Co Ltd | Preparation of 2-hydroxynaphthalene-3-carboxylic acid |
| US4807242A (en) * | 1987-07-21 | 1989-02-21 | Kim Simon M | Gas laser discharge tube |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14052185A patent/JPS622579A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5756440A (en) * | 1980-09-22 | 1982-04-05 | Sumitomo Chem Co Ltd | Preparation of 2-hydroxynaphthalene-3-carboxylic acid |
| US4807242A (en) * | 1987-07-21 | 1989-02-21 | Kim Simon M | Gas laser discharge tube |
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