RU1228750C - Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом - Google Patents

Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом Download PDF

Info

Publication number
RU1228750C
RU1228750C SU3777644A RU1228750C RU 1228750 C RU1228750 C RU 1228750C SU 3777644 A SU3777644 A SU 3777644A RU 1228750 C RU1228750 C RU 1228750C
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
discharge
gas
cathode
anode
holes
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
В.И. Блохин
Original Assignee
Блохин Владимир Иванович
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Блохин Владимир Иванович filed Critical Блохин Владимир Иванович
Priority to SU3777644 priority Critical patent/RU1228750C/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU1228750C publication Critical patent/RU1228750C/ru

Links

Images

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Description

Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано в быстропроточных газовых лазерах с поперечным разрядом.
Целью изобретения является увеличение мощности лазера путем повышения энерговклада в разряд.
На фиг. 1 и 2 представлена схема газоразрядной камеры со штыревым катодом; на фиг.3 - то же, с плоским секционированным катодом.
К каждой секции катода 1 последовательно присоединена омическая балластная нагрузка 2, служащая для стабилизации тлеющего разряда. На рабочей поверхности анода 3 выполнены несквозные отверстия 4 для создания стационарного вихревого движения газа, каждое из которых расположено напротив секции катода, а для плоской геометрии катода напротив каждой катодной секции выполнено несколько отверстий (2-5). Анод имеет рабочую поверхность с диэлектрическим высокотемпературным пористым покрытием. Примером может служит анод из алюминиевого сплава с оксидированной рабочей поверхностью. На фиг.1 пунктиром отмечены столбы плазмы диффузного разряда 5 и показано смещение переднего поперечного ряда отверстий на аноде относительно центральной линии катодных секций.
Газоразрядная камера работает следующим образом. После подачи рабочей газовой смеси в межэлектродный промежуток в полостях отверстий 4 на рабочей поверхности анода возникает стационарное вихревое движение газа. Пересечение плоскости анода и цилиндрических поверхностей отверстий образует острые кромки, на которых диэлектрический слой непрочен и легко разрушается под действием разряда. При включении разряда электрический пробой происходит между катодными секциями и кромками отверстий анода с образованием и развитием на них анодной области тлеющего разряда. Этим достигается равномерность распределения плотности тока тлеющего разряда в поперечном направлении движению газа, что позволяет избежать локального роста плотности тока в положительном столбе разряда и повысить общий удельный энерговклад.
На аноде создается более высокое значение плотности тока, которое приводит к снижению среднего значения прианодного падения потенциала, доли энергии, идущей на нагрев газа у поверхности анода, и вероятности образования нежелательных примесей в плазмохимических реакциях в электроотрицательных газах (H2O, СO2, O2), что позволяет превысить общий удельный энерговклад в тлеющий разряд.
При обтекании потоком газа анода с несквозными отверстиями, расположенными в виде поперечных направлению течения газа рядов, рядов, в них организуется развитое вихревое течение газа, которое не влияет значительно не внешнее движение газа, но оказывает стабилизирующее воздействие на прианодную область диффузного разряда, предотвращая локальный перегрев газа за счет его быстрого вращательного движения в полости отверстий.
Передний ряд отверстий на аноде смещен в направлении потока газа на расстоянии, равном половине диаметра отверстия, что позволяет избежать пережатия положительного столба разряда и обеспечить минимальный разрядный промежуток между катодными секциями и передними кромками отверстий анода. Это позволяет поддерживать повышенный удельный энерговклад в диффузном разряде между первым рядом секций и анодом поскольку с понижением межэлектродного промежутка устойчивость разряда возрастает.
Испытания газоразрядной камеры показали увеличение удельного энерговклада в разряд в 1,2-1,5 раза при прокачке через камеру рабочей газовой смеси, содержащей электроотрицательные примеси (H2O, СО2, О2) при повышенных давлениях, равных 100-150 торр. Это позволяет увеличить мощность лазера.

Claims (1)

  1. ГАЗОРАЗРЯДНАЯ КАМЕРА БЫСТРОПРОТОЧНОГО ГАЗОВОГО ЛАЗЕРА С ПОПЕРЕЧНЫМ РАЗРЯДОМ, содержащая секционированный катод и анод с пористым диэлектрическим покрытием рабочей поверхности, отличающаяся тем, что, с целью увеличения мощности лазера путем повышения удельного энерговклада в разряд, секции катода установлены рядами, ориентированными поперек потока, рабочая поверхность анода выполнена в виде плоскости с ориентированными поперек потока рядами несквозных отверстий, центральные линии которых расположены напротив центральных линий рядов секций катода, за исключением первого по потоку ряда отверстий, центральная линия которых смещена вниз по потоку на половину диаметра этих отверстий относительно центральной линии первого по потоку ряда секций катода.
SU3777644 1984-08-06 1984-08-06 Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом RU1228750C (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3777644 RU1228750C (ru) 1984-08-06 1984-08-06 Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU3777644 RU1228750C (ru) 1984-08-06 1984-08-06 Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU1228750C true RU1228750C (ru) 1994-08-15

Family

ID=30440150

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU3777644 RU1228750C (ru) 1984-08-06 1984-08-06 Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU1228750C (ru)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1330860A4 (en) * 2000-11-01 2005-11-23 Cymer Inc POROUS INSULATION LAYER ANODE FOR DISCHARGE LASERS
US7706424B2 (en) 2005-09-29 2010-04-27 Cymer, Inc. Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР N 847862, кл. H 01S 3/03, 1981. *
Авторское свидетельство СССР N 993758, кл. H 01S 3/097, 1982. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1330860A4 (en) * 2000-11-01 2005-11-23 Cymer Inc POROUS INSULATION LAYER ANODE FOR DISCHARGE LASERS
US7706424B2 (en) 2005-09-29 2010-04-27 Cymer, Inc. Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4841538A (en) CO2 gas laser device
GB1452156A (en) Gas lasers
US3666982A (en) Distributive cathode for flowing gas electric discharge plasma
EP0015297B1 (en) Gas laser
US4251781A (en) Electric discharge-excited flowing gas laser with discharge confinement shield
US4145669A (en) Cathode electrode configuration for gas laser system
EP0605010A1 (en) Vortex arc generator and method of controlling the length of the arc
RU1228750C (ru) Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом
US4449220A (en) Apparatus and method for deposition of electrical power in an electric discharge laser
US4016448A (en) High power electric discharge method and apparatus for laser chemical synthesis and other applications
CA1168340A (en) Laser discharge electrode configuration
US3940710A (en) Arc controlled discharge system
US4260958A (en) Apparatus and method for deposition of electrical power in an electric discharge laser
US4343040A (en) Transverse excitation type laser oscillator
GB1283601A (en) Improvements in or relating to gas discharge lasers
Harry et al. Multiple electrode system for high power CO2 laser excitation
RU993758C (ru) Электродная система проточного газового лазера
JPS622579A (ja) 放電型ガスレ−ザ装置
RU1115644C (ru) Газоразрядная камера проточного газового лазера
US4414670A (en) E-Beam maintained plasma discharge elecrodes
RU2022430C1 (ru) Импульсно-периодический проточный газоразрядный co2-лазер
RU2162263C2 (ru) Устройство для формирования объемного самостоятельного разряда
RU2035811C1 (ru) Проточный co2 -лазер
JPS63217684A (ja) パルスガスレ−ザ装置
Kaminska et al. Nature of argon and nitrogen electric arc fluctuations in plasma torch