RU1228750C - Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом - Google Patents
Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом Download PDFInfo
- Publication number
- RU1228750C RU1228750C SU3777644A RU1228750C RU 1228750 C RU1228750 C RU 1228750C SU 3777644 A SU3777644 A SU 3777644A RU 1228750 C RU1228750 C RU 1228750C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- discharge
- gas
- cathode
- anode
- holes
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
Изобретение относится к квантовой электронике и может быть использовано в быстропроточных газовых лазерах с поперечным разрядом.
Целью изобретения является увеличение мощности лазера путем повышения энерговклада в разряд.
На фиг. 1 и 2 представлена схема газоразрядной камеры со штыревым катодом; на фиг.3 - то же, с плоским секционированным катодом.
К каждой секции катода 1 последовательно присоединена омическая балластная нагрузка 2, служащая для стабилизации тлеющего разряда. На рабочей поверхности анода 3 выполнены несквозные отверстия 4 для создания стационарного вихревого движения газа, каждое из которых расположено напротив секции катода, а для плоской геометрии катода напротив каждой катодной секции выполнено несколько отверстий (2-5). Анод имеет рабочую поверхность с диэлектрическим высокотемпературным пористым покрытием. Примером может служит анод из алюминиевого сплава с оксидированной рабочей поверхностью. На фиг.1 пунктиром отмечены столбы плазмы диффузного разряда 5 и показано смещение переднего поперечного ряда отверстий на аноде относительно центральной линии катодных секций.
Газоразрядная камера работает следующим образом. После подачи рабочей газовой смеси в межэлектродный промежуток в полостях отверстий 4 на рабочей поверхности анода возникает стационарное вихревое движение газа. Пересечение плоскости анода и цилиндрических поверхностей отверстий образует острые кромки, на которых диэлектрический слой непрочен и легко разрушается под действием разряда. При включении разряда электрический пробой происходит между катодными секциями и кромками отверстий анода с образованием и развитием на них анодной области тлеющего разряда. Этим достигается равномерность распределения плотности тока тлеющего разряда в поперечном направлении движению газа, что позволяет избежать локального роста плотности тока в положительном столбе разряда и повысить общий удельный энерговклад.
На аноде создается более высокое значение плотности тока, которое приводит к снижению среднего значения прианодного падения потенциала, доли энергии, идущей на нагрев газа у поверхности анода, и вероятности образования нежелательных примесей в плазмохимических реакциях в электроотрицательных газах (H2O, СO2, O2), что позволяет превысить общий удельный энерговклад в тлеющий разряд.
При обтекании потоком газа анода с несквозными отверстиями, расположенными в виде поперечных направлению течения газа рядов, рядов, в них организуется развитое вихревое течение газа, которое не влияет значительно не внешнее движение газа, но оказывает стабилизирующее воздействие на прианодную область диффузного разряда, предотвращая локальный перегрев газа за счет его быстрого вращательного движения в полости отверстий.
Передний ряд отверстий на аноде смещен в направлении потока газа на расстоянии, равном половине диаметра отверстия, что позволяет избежать пережатия положительного столба разряда и обеспечить минимальный разрядный промежуток между катодными секциями и передними кромками отверстий анода. Это позволяет поддерживать повышенный удельный энерговклад в диффузном разряде между первым рядом секций и анодом поскольку с понижением межэлектродного промежутка устойчивость разряда возрастает.
Испытания газоразрядной камеры показали увеличение удельного энерговклада в разряд в 1,2-1,5 раза при прокачке через камеру рабочей газовой смеси, содержащей электроотрицательные примеси (H2O, СО2, О2) при повышенных давлениях, равных 100-150 торр. Это позволяет увеличить мощность лазера.
Claims (1)
- ГАЗОРАЗРЯДНАЯ КАМЕРА БЫСТРОПРОТОЧНОГО ГАЗОВОГО ЛАЗЕРА С ПОПЕРЕЧНЫМ РАЗРЯДОМ, содержащая секционированный катод и анод с пористым диэлектрическим покрытием рабочей поверхности, отличающаяся тем, что, с целью увеличения мощности лазера путем повышения удельного энерговклада в разряд, секции катода установлены рядами, ориентированными поперек потока, рабочая поверхность анода выполнена в виде плоскости с ориентированными поперек потока рядами несквозных отверстий, центральные линии которых расположены напротив центральных линий рядов секций катода, за исключением первого по потоку ряда отверстий, центральная линия которых смещена вниз по потоку на половину диаметра этих отверстий относительно центральной линии первого по потоку ряда секций катода.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3777644 RU1228750C (ru) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3777644 RU1228750C (ru) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU1228750C true RU1228750C (ru) | 1994-08-15 |
Family
ID=30440150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU3777644 RU1228750C (ru) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU1228750C (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1330860A4 (en) * | 2000-11-01 | 2005-11-23 | Cymer Inc | POROUS INSULATION LAYER ANODE FOR DISCHARGE LASERS |
US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
-
1984
- 1984-08-06 RU SU3777644 patent/RU1228750C/ru active
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР N 847862, кл. H 01S 3/03, 1981. * |
Авторское свидетельство СССР N 993758, кл. H 01S 3/097, 1982. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1330860A4 (en) * | 2000-11-01 | 2005-11-23 | Cymer Inc | POROUS INSULATION LAYER ANODE FOR DISCHARGE LASERS |
US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4841538A (en) | CO2 gas laser device | |
GB1452156A (en) | Gas lasers | |
US3666982A (en) | Distributive cathode for flowing gas electric discharge plasma | |
EP0015297B1 (en) | Gas laser | |
US4251781A (en) | Electric discharge-excited flowing gas laser with discharge confinement shield | |
US4145669A (en) | Cathode electrode configuration for gas laser system | |
EP0605010A1 (en) | Vortex arc generator and method of controlling the length of the arc | |
RU1228750C (ru) | Газоразрядная камера быстропроточного газового лазера с поперечным разрядом | |
US4449220A (en) | Apparatus and method for deposition of electrical power in an electric discharge laser | |
US4016448A (en) | High power electric discharge method and apparatus for laser chemical synthesis and other applications | |
CA1168340A (en) | Laser discharge electrode configuration | |
US3940710A (en) | Arc controlled discharge system | |
US4260958A (en) | Apparatus and method for deposition of electrical power in an electric discharge laser | |
US4343040A (en) | Transverse excitation type laser oscillator | |
GB1283601A (en) | Improvements in or relating to gas discharge lasers | |
Harry et al. | Multiple electrode system for high power CO2 laser excitation | |
RU993758C (ru) | Электродная система проточного газового лазера | |
JPS622579A (ja) | 放電型ガスレ−ザ装置 | |
RU1115644C (ru) | Газоразрядная камера проточного газового лазера | |
US4414670A (en) | E-Beam maintained plasma discharge elecrodes | |
RU2022430C1 (ru) | Импульсно-периодический проточный газоразрядный co2-лазер | |
RU2162263C2 (ru) | Устройство для формирования объемного самостоятельного разряда | |
RU2035811C1 (ru) | Проточный co2 -лазер | |
JPS63217684A (ja) | パルスガスレ−ザ装置 | |
Kaminska et al. | Nature of argon and nitrogen electric arc fluctuations in plasma torch |