JPS59175180A - 横方向励起形ガスレ−ザ装置 - Google Patents
横方向励起形ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS59175180A JPS59175180A JP5080883A JP5080883A JPS59175180A JP S59175180 A JPS59175180 A JP S59175180A JP 5080883 A JP5080883 A JP 5080883A JP 5080883 A JP5080883 A JP 5080883A JP S59175180 A JPS59175180 A JP S59175180A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- ring
- glow discharge
- laser device
- cathode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は横方向励起形ガスレーザ装置に係り、特に大き
なグロー放電電流で均一なグロー放電を得るのに好適な
陰極構造に関する。
なグロー放電電流で均一なグロー放電を得るのに好適な
陰極構造に関する。
従来の横方向励起形ガスレーザ装置では、例えば特公昭
５５−４０１９６にみられるように、複数の棒状陰極を
臀たので、棒先端部にグロー放電が集中してアーク放電
へ移行し易いという欠点があった。
５５−４０１９６にみられるように、複数の棒状陰極を
臀たので、棒先端部にグロー放電が集中してアーク放電
へ移行し易いという欠点があった。
本発明の目的は、大きなグロー放電注入パワーを達成で
きる陰極を備えることによシ、小形で高出力を発生する
ガスレーザ装置を提供することにある。
きる陰極を備えることによシ、小形で高出力を発生する
ガスレーザ装置を提供することにある。
本発明は、棒状陰極先端部にグロー放電が集中するとと
を解消する手段として、ガス流中にリング状放電部を有
する複数の陰極を配置することによって、上記目的を達
成するものである。
を解消する手段として、ガス流中にリング状放電部を有
する複数の陰極を配置することによって、上記目的を達
成するものである。
以下、本発明の一実施例を第１．２．及び３図によシ説
明する。第１図は横方向励起形炭酸ガスレーザ装置の発
振部の構成を示す斜視図、第２゜３図はそれぞれ、発振
部での電極構成を示す側面図、及び平面図である。
明する。第１図は横方向励起形炭酸ガスレーザ装置の発
振部の構成を示す斜視図、第２゜３図はそれぞれ、発振
部での電極構成を示す側面図、及び平面図である。
これらの図において、ガラス板などの絶縁板ｌａ、ｌｂ
、ｌｃ、 １ｄ、及び１ｅと平板状陽極２によってガス
流路を形成する。絶縁板１ｂには複数の陰極３ａ、３ｂ
、・・・、３ｉを取シ付け、安定抵抗４ａ、４ｂ、・・
・、４１を接続する。図示しない送風機によって、炭酸
ガス、窒素ガス、及びヘリウムガスから成る混合ガスの
ガス流５を発生させる。さらに、図示しない電源によっ
て、陰極３と陽極２の間に直流高電圧を印加するとグロ
ー放電６を生じ、混合ガスが励起される。出力鏡７と全
反射鏡８によってレーザ共振器を構成して、レーザビー
ム９を発生させる。ここで、陰＆３ａ１３ｂ、・・・、
３量はそれぞれガス流５中に突出した丸棒状電極の先端
部３ａ０，３ｂ０１・・・、３１０を曲げてリング部を
形成したものである。すなわち、陰極３ａ、３ｂ、・・
・、３１はそれぞれ直線部３ａｔ、３ｂｌ、−、３ｔ１
とリンク部３ａ２゜３ｂ２．・・・、３１２から成υ、
グロー放電６はこれらリング部と陽極２の間に発生する
。ここで、リング部３ａ２．３ｂ２．−．３ ｉ２は第
３図に示すようにガス流５に対して平行に配置される。
、ｌｃ、 １ｄ、及び１ｅと平板状陽極２によってガス
流路を形成する。絶縁板１ｂには複数の陰極３ａ、３ｂ
、・・・、３ｉを取シ付け、安定抵抗４ａ、４ｂ、・・
・、４１を接続する。図示しない送風機によって、炭酸
ガス、窒素ガス、及びヘリウムガスから成る混合ガスの
ガス流５を発生させる。さらに、図示しない電源によっ
て、陰極３と陽極２の間に直流高電圧を印加するとグロ
ー放電６を生じ、混合ガスが励起される。出力鏡７と全
反射鏡８によってレーザ共振器を構成して、レーザビー
ム９を発生させる。ここで、陰＆３ａ１３ｂ、・・・、
３量はそれぞれガス流５中に突出した丸棒状電極の先端
部３ａ０，３ｂ０１・・・、３１０を曲げてリング部を
形成したものである。すなわち、陰極３ａ、３ｂ、・・
・、３１はそれぞれ直線部３ａｔ、３ｂｌ、−、３ｔ１
とリンク部３ａ２゜３ｂ２．・・・、３１２から成υ、
グロー放電６はこれらリング部と陽極２の間に発生する
。ここで、リング部３ａ２．３ｂ２．−．３ ｉ２は第
３図に示すようにガス流５に対して平行に配置される。
本発明の一実施例によれば、棒状陰極３ａの放電部をリ
ング状に形成しているので、陰極先端部３ａＯにグロー
放電が集中しないという効果がある。この結果、リング
状放電部３ａ２に一様にグロー放電が発生して放電電流
が増大する。
ング状に形成しているので、陰極先端部３ａＯにグロー
放電が集中しないという効果がある。この結果、リング
状放電部３ａ２に一様にグロー放電が発生して放電電流
が増大する。
さらに、グロー放電によって局所的に温度上昇が大きく
なる先端部３ａＯを、温度上昇のよシ小さな直線部３ａ
ｌに接触させているので、リング状放電部３ａ２の冷却
が高められるという効果がある。この結果、温度上昇に
よる混合ガスの分解に伴うレーザ出力の低下を抑制する
ことができる。
なる先端部３ａＯを、温度上昇のよシ小さな直線部３ａ
ｌに接触させているので、リング状放電部３ａ２の冷却
が高められるという効果がある。この結果、温度上昇に
よる混合ガスの分解に伴うレーザ出力の低下を抑制する
ことができる。
一方、傾斜した絶縁板１ａに沿うガス流５ａは、第３図
に示すように、隣接するリング部の間を通過して流れ６
Ｂ ／ となった後、グロー放電６を陽極２側へ吹き
つけるように流れる。このとき、流れ５ａ’は各リンク
部ａ ａ ２． ａ ｂ ２．−、３ｔ２によって整流
作用を受けて一様な流れとなるので、グロー放電６が空
間的に一様になるという効果がある。
に示すように、隣接するリング部の間を通過して流れ６
Ｂ ／ となった後、グロー放電６を陽極２側へ吹き
つけるように流れる。このとき、流れ５ａ’は各リンク
部ａ ａ ２． ａ ｂ ２．−、３ｔ２によって整流
作用を受けて一様な流れとなるので、グロー放電６が空
間的に一様になるという効果がある。
また、流れ５ ａ ／によってグロー放電６中の励起さ
れた炭酸ガス分子をレーザビーム９に送り込む割合を増
加させることができるので、レーザ出力を高めることが
できるという効果がある。
れた炭酸ガス分子をレーザビーム９に送り込む割合を増
加させることができるので、レーザ出力を高めることが
できるという効果がある。
本発明の一実施例によれば、好適な陰極寸法は、混合ガ
スの圧力３５Ｔｏｒｒ、ガス流速８ Ｑ ｍ ／ ｓの
とき、棒状陰極の直径ＤＩ ＝６ｍ、リング部の直径り
鵞＝２０叫である。
スの圧力３５Ｔｏｒｒ、ガス流速８ Ｑ ｍ ／ ｓの
とき、棒状陰極の直径ＤＩ ＝６ｍ、リング部の直径り
鵞＝２０叫である。
第４図は本発明の他実施例を示す平面図で、第３図と異
なるのは、陰極リング部３ａ２，３ｂ２゜・・・、３１
２がガス流５に対して傾斜して配置されている点である
。この実施例では、リング部に吹きつけるガス流が増加
し、かつ隣接するリング間でグロー放電が進展し易いの
で、さらにグロー放電の均一性が高められるという効果
がある。
なるのは、陰極リング部３ａ２，３ｂ２゜・・・、３１
２がガス流５に対して傾斜して配置されている点である
。この実施例では、リング部に吹きつけるガス流が増加
し、かつ隣接するリング間でグロー放電が進展し易いの
で、さらにグロー放電の均一性が高められるという効果
がある。
第５図は本発明の他実施例を示す陰極の側断面図である
。この実施例では、陰極３は金属パイプによって直線部
３１とリング部３２が形成されているので、パイプ内部
に冷却油１０を循環させて陰極３を冷却できる。従って
、大きなグロー放電注入パワーによる陰極の温度上昇を
制限できるという効果がある。伺、上述の実施例では、
リング部をガス流の下流側に形成したが、上流側に形成
してもよい。
。この実施例では、陰極３は金属パイプによって直線部
３１とリング部３２が形成されているので、パイプ内部
に冷却油１０を循環させて陰極３を冷却できる。従って
、大きなグロー放電注入パワーによる陰極の温度上昇を
制限できるという効果がある。伺、上述の実施例では、
リング部をガス流の下流側に形成したが、上流側に形成
してもよい。
本発明によれば、丸棒状電極の放電部をリング状にした
陰極構造を用いて大きなグロー放電注入パワーを達成で
きるので、小形で高出力を発生するガスレーザ装置を提
供することができる。
陰極構造を用いて大きなグロー放電注入パワーを達成で
きるので、小形で高出力を発生するガスレーザ装置を提
供することができる。
第１図は本発明の一実施例である横方向励起形炭酸ガス
レーザ装置の発振部の構成を示す斜視図、第２図、第３
図はそれぞれ第１図の電極構成を示す側面図と平面図、
第４図は本発明の他実施例である電極構成を示す平面図
、第５図はさらに他実施例の陰極を示す側断面図である
。 ３ ＋ ３ ａ＋ ３ ｂ＋ ”’ ＋ ３’ ”’陰
極、３２，３８２゜３ｂ２．・・・、３１２・・・リン
グ部、５・・・ガス流、６第 １ 口 箭 ２ 口 特開昭５９−１７５１８０（３） 鵠３０ 躬 ４［］ 箭５区
レーザ装置の発振部の構成を示す斜視図、第２図、第３
図はそれぞれ第１図の電極構成を示す側面図と平面図、
第４図は本発明の他実施例である電極構成を示す平面図
、第５図はさらに他実施例の陰極を示す側断面図である
。 ３ ＋ ３ ａ＋ ３ ｂ＋ ”’ ＋ ３’ ”’陰
極、３２，３８２゜３ｂ２．・・・、３１２・・・リン
グ部、５・・・ガス流、６第 １ 口 箭 ２ 口 特開昭５９−１７５１８０（３） 鵠３０ 躬 ４［］ 箭５区
Claims (1)
- １、 レーザビームの光軸とほぼ直交してグロー放電を
発生させてレーザガス流を励起するガスレーザ装置にお
いて、上記グロー放電を発生する陰極放電部をリング状
に形成することを特徴とする横方向励起形ガスレーザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5080883A JPS59175180A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 横方向励起形ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5080883A JPS59175180A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 横方向励起形ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59175180A true JPS59175180A (ja) | 1984-10-03 |
Family
ID=12869065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5080883A Pending JPS59175180A (ja) | 1983-03-24 | 1983-03-24 | 横方向励起形ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59175180A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4841538A (en) * | 1986-03-05 | 1989-06-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | CO2 gas laser device |
-
1983
- 1983-03-24 JP JP5080883A patent/JPS59175180A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4841538A (en) * | 1986-03-05 | 1989-06-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | CO2 gas laser device |
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