JPS61253626A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、斜方蒸着法によって非磁性支持体上に強磁性
金属薄膜を磁性層として形成してなる、いわゆる強磁性
金属１ｉｌｌ型の磁気記録媒体に関するものである。

〔発明の概要〕

本発明は、非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を磁性層と
して形成した磁気記録媒体において、上記磁性層である
強磁性金属薄膜を一般式％式％ で示される組成を有する斜方蒸着膜とし、保磁力。

磁束密度をともに大きなものとして高記録密度化を図ろ
うとするものである。

〔従来の技術〕

従来より磁気記録媒体としては、非磁性支持体上にｒ−
Ｆｅ、Ｏｓ、Ｆｅ、Ｏ，、Ｃｏを含有するＴＦｅｔＯｓ
、ＧＯを含有するｒ　　Ｆｆ３ｓＯａ、Ｔ−Ｆｅ、Ｏ，
とＦｅｘＯａとのベルトライド化合物。

ＣＯを含有するベルトライド化合物、ＣｒＯ，等の酸化
物強磁性粉末あるいは）’ｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を主成分と
する合金磁性粉末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸
ビニル系共重合体、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹
脂等の有機バインダー中に分散せしめた磁性塗料を塗布
・乾燥させることにより得られる塗布型の磁気記録媒体
が広く使用されている。

これに対して、高密度磁気記録への要求の高まりととも
に、鉄、コバルト、ニッケル等の金属やＣｏ　−Ｎ　ｉ
等の合金等の強磁性金属材料を真空蒸着法、スパッタリ
ング法、イオンブレーティング法等の真空薄膜形成技術
によってポリエステルフィルムやポリイミドフィルム等
の非磁性支持体上に直接被着した、いわゆる強磁性金属
薄膜型の磁気記録媒体が提案され、注目を集めている。

この強磁性金属薄膜型磁気記録媒体は、抗磁力Ｈｅや残
留磁束密度Ｂｒが大きいばかりでなり、磁性層の厚みを
極めて薄くすることが可能であるため記録減磁や再生時
の厚み損失が著しく小さいこと、磁性層中に非磁性材で
ある有機バインダーを混入する必要がないため磁性材料
の充填密度を高めることができること等、磁気特性の点
で数々の利点を有している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、この種の磁気記録媒体において、強磁性金属
材料としては、結晶磁気異方性により高抗磁力が得られ
角形性に優れたＧｏが最適であると考えられ、これにＣ
ｒを添加してより一層の保磁力の増大や耐蝕性の改善を
はがったＣｏ−Ｃｒ合金の斜方蒸着膜を磁性層とする磁
気記録媒体の開発が進められている。

しかしながら、上述のようにＣｏにＣｒを添加した合金
材料ｔは、Ｃｒの添加によって磁束密度が減少してしま
い、良好な電磁変換特性を確保することが難しい。

そこで本発明は、上述の従来のものの有する欠点を解消
するために提案されたものであって、保磁力と磁束密度
が共に高く、高密度記録に対処することが可能で、かつ
良好な電磁変換特性を有する磁気記録媒体を提供するこ
とを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者は、保磁力と磁束密度が共に高い磁気記録媒体
を開発せんものと鋭意研究の結果、Ｃ。

−Ｃｒ合金への微量のＦｅの添加が効果的であることを
見出し本発明を完成するに至ったものであって、非磁性
支持体上に一般式 ％式％ で示される組成を有する斜方蒸着膜を形成したことを特
徴とするものである。

〔作用〕

このように、ａｍｔ（ｃｏに対して３原子％以下）の鉄
Ｆｅの添加によって、Ｃｏ−Ｃｒ合金を主成分とする斜
方蒸着膜の保磁力及び磁束密度が大きくなる。

〔実施例〕

以下、本発明を実験結果に基づいて説明する。

本発明が適用される磁気記録媒体は、非磁性支持体上に
磁性層として強磁性金属ｆｉｌｌ！を設けたものである
が、ここで非磁性支持体の素材としては、ポリエチレン
テレフタレート等のポリエステル類、ポリエチレン、ポ
リプロピレン等のポリオレフィン類、セルローストリア
セテートセルロースダイアセテート、セルロースアセテ
ートブチレート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル
、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリカーボネ
ート、ポリイミド、ポリアミドイミド等のプラスチック
、アルミニウム合金、チタン合金等の軽金属、アルミナ
ガラス等のセラミックス等が挙げられる。

この非磁性支持体の形態としては、フィルム、シートデ
ィスク、カード、ドラム等のいずれでもよい。

そして、通常の真空薄着装置を用い、真空室内に基板ホ
ルダーを設置し、これに上述の非磁性支持体を取り付け
、蒸発源からの蒸気流に対して上記非磁性支持体が斜め
になるように基板ホルダーを傾けて蒸着した。

この蒸着は、１０−’〜１０−’Ｔｏｒｒの真空下で強
磁性金属材料を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱
等により蒸発させ、非磁性支持体上に蒸発金属（強磁性
金属材料）を沈着することにより行われ、本発明におい
ては、より高い保磁力を得るため非磁性支持体に対して
上記強磁性金属材料を斜めに蒸着する斜方蒸着法を採用
した。これにより斜方蒸着膜が磁性層として形成される
。なお、この斜方蒸着法には、より高い保磁力を得るた
めに酸素雰囲気中で蒸着を行うものも含まれる。

以下の実験においては、蒸着速度５人／ｓｅｃ、蒸着前
の真空度２　Ｘ　１０−ｂＴｏｒｒ、膜厚１０００人と
し、非磁性支持体に対する入射角は７０℃とした。

このような蒸着条件により、先ず、Ｃｏ−Ｃｒ斜方蒸着
膜における保磁力のＣ「含有量依存性を調べた。結果を
第１図に示す。

この第１図より、Ｃｒの含を量が５原子％のときに保磁
力は最大値を示し、１０原子％以下であればＣｏ単体の
場合よりも高い保磁力を示すことがわかった。

そこで、Ｃｒを５原子％とし、 （Ｃｏｔ−ｘＦｅ＋＋　）ｏ、ｖｓｃｒｏ、ｏｓなる組
成の斜方蒸着膜を形成し、Ｆｅの含有量をｘ＝ｏ、ｏ０
５毎に変え、保磁力の変化の様子を調べた。結果を第２
図に示す。

この第２図より、微量の鉄Ｆｅの添加は保磁力を却って
高め、特にＯ＜Ｘ≦０．０３の範囲でＣＯｏ、ｑ５Ｃｒ
６．。、のそれよりも大きくなることがわかった。ただ
し、過剰の鉄Ｆｅの添加は保磁力の低下をきたす。

さらにＣＯｏ、ｑｓＣＴｏ、。、の飽和磁束密度を１と
し、（ＣＯ１−ＸＦ　（３ｘ　）ｏ、＊ｓｃ　ｒ　ｏ、
ｏｓなる組成の斜方蒸着膜の飽和磁束密度を相対値とし
て求めたところ、第３図に示すように、鉄Ｆｅの添加量
の増加とともにこの値が大きくなることがわかった。

・　以上の結果より （ＣＧ＋−ｘＦ６Ｋ）＋−ｙＣ’ｙ （但し、Ｑ＜Ｘ≦ｏ、ｏｓ、ｏ＜ｙ≦０．１０）とすれ
ば保磁力及び磁束密度の両者を改善し得ることが確認さ
れた。

ところで、本発明の磁気記録媒体においては、上述の斜
方蒸着膜の表面に、走行性や耐久性を改善するための潤
滑剤層や、耐蝕性を改善するための防錆剤層等を形成し
てもよい、これら潤滑剤層や防錆剤層の材料としては、
通常この種の磁気記録媒体に用いられるものであれば如
何なるものであってもよい。

〔発明の効果〕

以上の説明からも明らかなように、本発明の磁気記録媒
体においては、微量の鉄Ｆｅ（Ｃｏに対して３原子％以
下）を加えたＣｏ−Ｃｒ合金の斜方蒸着膜（Ｃｒの含有
量は１０原子％以下）を磁性層としているので、保磁力
と磁束密度の両者を同時に高めることが可能となり、し
たがって高記録密度化に対応することが可能で電磁変換
特性に優れたものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はＣｏ−Ｃｒ斜方蒸着膜における保磁力のＣｒ含
有量依存性を示す特性図であり、第２図はＣｒを５原子
％としくＣＯｌ−１１Ｆ　ｅｘ　）＋、ｑｓＣｒｅ、。 、なる組成としたときのＦｅの含有量と保磁力の関係を
示す特性図、第３図は同様にＣｒを５原子％としくＣ０
Ｉ−１１Ｆ　ｅｘ　）ｏ、＊５ｃｒａ、ｏｓなる組成と
したときのＦｅの含有量と飽和磁束密度の相対値（ＣＯ
ｏ、ｑｓＣｒｏ、。、の飽和磁束密度を１とする。）の
関係を示す特性図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 非磁性支持体上に一般式 （Ｃｏ＿１＿−＿ｘＦｅ＿ｘ）＿１＿−＿ｙＣｒ＿ｙ（
   但し、０＜ｘ≦０．０３、０＜ｙ≦０．１０）で示され
   る組成を有する斜方蒸着膜を形成したことを特徴とする
   磁気記録媒体。