JPS6123951A - 回路の自動外観検査の検出方法 - Google Patents
回路の自動外観検査の検出方法Info
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- JPS6123951A JPS6123951A JP14479484A JP14479484A JPS6123951A JP S6123951 A JPS6123951 A JP S6123951A JP 14479484 A JP14479484 A JP 14479484A JP 14479484 A JP14479484 A JP 14479484A JP S6123951 A JPS6123951 A JP S6123951A
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- Japan
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- inspection
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/682—Mask-wafer alignment
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プリント配線板又はそのワークフィルムのパ
ターンの自動外観検査において欠陥箇所を検出する方法
に関するものであり、特に全検査領域を単位領域に分割
してその分割領域ごとに欠陥を検出することを特徴とす
る。
ターンの自動外観検査において欠陥箇所を検出する方法
に関するものであり、特に全検査領域を単位領域に分割
してその分割領域ごとに欠陥を検出することを特徴とす
る。
従来のプリント配線板やそのワークフィルムの自動外観
検査は、その検出結果の出力として、直接被検物上にイ
ンク筆でマーキングを行なったり、Ｘ−Ｙプロッタ等に
より被検物と一対一に対応する大きさの領域を持つ紙や
フィルムへの出力、又は、検査終了後に再度欠陥箇所を
ブラウン管等へ表示させるなどの方法がとられてきた。
検査は、その検出結果の出力として、直接被検物上にイ
ンク筆でマーキングを行なったり、Ｘ−Ｙプロッタ等に
より被検物と一対一に対応する大きさの領域を持つ紙や
フィルムへの出力、又は、検査終了後に再度欠陥箇所を
ブラウン管等へ表示させるなどの方法がとられてきた。
しかしながら、これらの方法では、被検物が汚れるとか
、実際の位置と必ずしもうまく一致しない、装置の運用
効率が悪いという欠点があった。
、実際の位置と必ずしもうまく一致しない、装置の運用
効率が悪いという欠点があった。
本発明は上記従来技術の欠点を除去、改善するに当り、
実際に作業を行なう場合、外観検査で発見された欠陥は
修正されるのが普通であり、検査後に欠陥のあるプリン
ト配線板等を見返す場合、欠陥箇所の指定は、その欠陥
のある適当な大きさの領域を示せば十分であることに着
目し、検査領域を、ある単位領域（例えば２５Ｘ１０ｆ
ｌ ）に区分し、この単位領域ごとにパターンの良否を
判定することを目的とするものである。
実際に作業を行なう場合、外観検査で発見された欠陥は
修正されるのが普通であり、検査後に欠陥のあるプリン
ト配線板等を見返す場合、欠陥箇所の指定は、その欠陥
のある適当な大きさの領域を示せば十分であることに着
目し、検査領域を、ある単位領域（例えば２５Ｘ１０ｆ
ｌ ）に区分し、この単位領域ごとにパターンの良否を
判定することを目的とするものである。
本発明は、プリント配線板又はそのワークフィルムのパ
ターンの自動外観検査（以下、プリント配線板等の自動
検査という）におけるパターンの欠陥の有無を検出する
方法を前記特許請求の範囲記載の通り提案することによ
って、前記本発明の目的を達成しようとするものであり
、以下プリント配線板を例にして説明する。
ターンの自動外観検査（以下、プリント配線板等の自動
検査という）におけるパターンの欠陥の有無を検出する
方法を前記特許請求の範囲記載の通り提案することによ
って、前記本発明の目的を達成しようとするものであり
、以下プリント配線板を例にして説明する。
〔問題点を解決するための手段およびその作用〕すなわ
ち、本発明はプリント配線板等の自動外観検査における
パターンの良否判定の結果の扱い方及びその運用に関す
るもので、パターンの欠陥の有無の検査を行なうにあた
って、検査領域を予め一定の大きさの単位領域に分割し
良否の判定はその単位領域ごとに行ない、結果はその単
位領域ごとに出力し、検査終了後検査領に等しい大きさ
が単位領域に等しい大きさで区分される網目の入った透
明なフィルムを被検物（例えばプリント配線板）に重ね
ることにより、欠陥箇所の発見を容易に行なえるように
したものである。なおここでいう欠陥とは一種類ではな
く、それぞれが独立して扱われ、これらの情報が単位領
域ごとに扱えるようになっている。また上記方法を用い
ることにより、被検物上の文字や特殊なパターン等、欠
陥と誤判断しやすい部分のマスクをかけた横幕を行なう
ことができこの方法によれば、検査装置の誤検出を少く
し、検査効率を高めることができる。
ち、本発明はプリント配線板等の自動外観検査における
パターンの良否判定の結果の扱い方及びその運用に関す
るもので、パターンの欠陥の有無の検査を行なうにあた
って、検査領域を予め一定の大きさの単位領域に分割し
良否の判定はその単位領域ごとに行ない、結果はその単
位領域ごとに出力し、検査終了後検査領に等しい大きさ
が単位領域に等しい大きさで区分される網目の入った透
明なフィルムを被検物（例えばプリント配線板）に重ね
ることにより、欠陥箇所の発見を容易に行なえるように
したものである。なおここでいう欠陥とは一種類ではな
く、それぞれが独立して扱われ、これらの情報が単位領
域ごとに扱えるようになっている。また上記方法を用い
ることにより、被検物上の文字や特殊なパターン等、欠
陥と誤判断しやすい部分のマスクをかけた横幕を行なう
ことができこの方法によれば、検査装置の誤検出を少く
し、検査効率を高めることができる。
以下、本発明を図面に基づいて具体的に説明する。
第１図は検査領域及び単位領域を簡単に示した図であり
、ここではＸ方向は６、Ｙ方向は７に区分されている。
、ここではＸ方向は６、Ｙ方向は７に区分されている。
Ａという単位領域を指定するにはＸ＝３、Ｙ＝３、Ｂと
いう単位領域を指定するには、Ｘ−＝４、Ｙ＝６と指定
すればよい。このようにこの単位領域は整数値によるＸ
−Ｙ座標表示により表現される。第２図は被検プリント
配線板の一部とそれに対応する単位領域を示した図であ
り、プリント配線板上のＡＢＣ”という文字パターンは
、装置のＩｆ基準に適合しないｔこめにこのまま検査す
れば欠陥として出力されてしまうものとする。このとき
、（Ｘ＝Ｒ＋２、Ｙ二Ｊ）、（Ｘ＝Ｒ＋３、Ｙ＝Ｊ ）
の単位領域をマスクすれば欠陥として出力されることは
ない。なおここでいうマスクとは電気的マスクのことで
ある。
いう単位領域を指定するには、Ｘ−＝４、Ｙ＝６と指定
すればよい。このようにこの単位領域は整数値によるＸ
−Ｙ座標表示により表現される。第２図は被検プリント
配線板の一部とそれに対応する単位領域を示した図であ
り、プリント配線板上のＡＢＣ”という文字パターンは
、装置のＩｆ基準に適合しないｔこめにこのまま検査す
れば欠陥として出力されてしまうものとする。このとき
、（Ｘ＝Ｒ＋２、Ｙ二Ｊ）、（Ｘ＝Ｒ＋３、Ｙ＝Ｊ ）
の単位領域をマスクすれば欠陥として出力されることは
ない。なおここでいうマスクとは電気的マスクのことで
ある。
第３図は、検査装置の構成の一例であり、欠陥検出部に
おいて、プリント配線板上に欠陥があるかないかの判定
を行なっており、ここでは、単位領域ごとではなく、画
像の一画素ごとに良否の判定を行なっている。次に単位
領域化回路において、単位領域分の検査が終了するごと
にその領域ごとの欠陥の有無を保持する動作を行ない、
マスク回路により、検査不要の領域の結果をマスクした
後、検査結果として表示装置に出力される。ここでし）
う表示装置とはＣＲＴやプリンタのことである。
おいて、プリント配線板上に欠陥があるかないかの判定
を行なっており、ここでは、単位領域ごとではなく、画
像の一画素ごとに良否の判定を行なっている。次に単位
領域化回路において、単位領域分の検査が終了するごと
にその領域ごとの欠陥の有無を保持する動作を行ない、
マスク回路により、検査不要の領域の結果をマスクした
後、検査結果として表示装置に出力される。ここでし）
う表示装置とはＣＲＴやプリンタのことである。
以上のように本発明の検査方法によれば、検査開始前に
その検査領域のうちで検査をしなくてよい単位領域（マ
スク領域）を設けることが容易になり、また検査領域内
の単位領域の総数番ま全画素数に比較して極めて少ない
ｔこめ、処理装置のメモリの節約になり、同時にマスク
領域の被検プリント配線板の種類ごとのファイル管理も
容易をと行なえる。まｔコ更に欠陥箇所の表示は、Ｘ−
Ｙ座標の整数値で行なうことが可能でありこのこと番こ
より、プリンタに出力してもわかりやすい形になってい
る。欠陥のあつデこプリント配線板の見返しは、単位領
域で区切つｔこ透明フィルムをプリント配線板に重ね、
指定された単位領域を見ることで実際の欠陥′箇所を容
易に発見できる。
その検査領域のうちで検査をしなくてよい単位領域（マ
スク領域）を設けることが容易になり、また検査領域内
の単位領域の総数番ま全画素数に比較して極めて少ない
ｔこめ、処理装置のメモリの節約になり、同時にマスク
領域の被検プリント配線板の種類ごとのファイル管理も
容易をと行なえる。まｔコ更に欠陥箇所の表示は、Ｘ−
Ｙ座標の整数値で行なうことが可能でありこのこと番こ
より、プリンタに出力してもわかりやすい形になってい
る。欠陥のあつデこプリント配線板の見返しは、単位領
域で区切つｔこ透明フィルムをプリント配線板に重ね、
指定された単位領域を見ることで実際の欠陥′箇所を容
易に発見できる。
第１図は検査領域と単位領域との説明図、第２図は被検
査体であるプリント配線板の一部とそれに対応する単位
領域の説明図、第３図は本発明の検査方法の手順の一例
を示すフローシート図である。
査体であるプリント配線板の一部とそれに対応する単位
領域の説明図、第３図は本発明の検査方法の手順の一例
を示すフローシート図である。
Claims (1)
- １、プリント配線板又はそのワークフィルムの回路の自
動外観検査において、被検査体の検査領域を予め一定の
大きさの単位領域に分割しておき、この単位領域ごとの
被検査体の回路の良否結果を順次出力し、被検査体の全
検査領域に於いて回路の良否検査が終了した後に、全検
査領域の大きさに等しく、且つ単位領域に等しい大きさ
で区別される格子状の罫線入りの透明フィルムを被検査
体の上に重ね置き、回路の欠陥箇所を発見することを特
徴とする回路の自動外観検査の検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14479484A JPS6123951A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 回路の自動外観検査の検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14479484A JPS6123951A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 回路の自動外観検査の検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6123951A true JPS6123951A (ja) | 1986-02-01 |
Family
ID=15370605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14479484A Pending JPS6123951A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 回路の自動外観検査の検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6123951A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5759892B2 (ja) * | 2009-04-14 | 2015-08-05 | 関西ペイント株式会社 | ベースコート塗料組成物 |
| JP2020148527A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 検査装置および検査方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5572813A (en) * | 1978-11-28 | 1980-06-02 | Fujitsu Ltd | Indication system for mask pattern correction point |
| JPS58179343A (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-20 | Nec Corp | 図形検査方法 |
-
1984
- 1984-07-11 JP JP14479484A patent/JPS6123951A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5572813A (en) * | 1978-11-28 | 1980-06-02 | Fujitsu Ltd | Indication system for mask pattern correction point |
| JPS58179343A (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-20 | Nec Corp | 図形検査方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5759892B2 (ja) * | 2009-04-14 | 2015-08-05 | 関西ペイント株式会社 | ベースコート塗料組成物 |
| JP2020148527A (ja) * | 2019-03-12 | 2020-09-17 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 検査装置および検査方法 |
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