JP2008298463A - 印刷マスクの印刷検査装置、及び印刷マスクの印刷検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】印刷マスクによる印刷状態を容易に精度良く検査することが可能な印刷マスクの印刷検査装置を提供する。
【解決手段】印刷マスクの印刷検査装置は、電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査する。具体的には、印刷マスクの印刷検査装置は、複数の貫通孔が形成された印刷マスクと基板の画像とを比較することによって、基板に対する印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う。つまり、印刷マスクを実際の生産ラインで使用する前に、印刷状態をシミュレートする。これにより、印刷マスクによる印刷状態の検査を、簡単な操作で漏れなく行うことが可能となる。よって、事前に印刷マスクなどの不良を適切に検出することができ、不良品が生産されてしまうことを効果的に防止することが可能となる。
【選択図】図13
【解決手段】印刷マスクの印刷検査装置は、電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査する。具体的には、印刷マスクの印刷検査装置は、複数の貫通孔が形成された印刷マスクと基板の画像とを比較することによって、基板に対する印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う。つまり、印刷マスクを実際の生産ラインで使用する前に、印刷状態をシミュレートする。これにより、印刷マスクによる印刷状態の検査を、簡単な操作で漏れなく行うことが可能となる。よって、事前に印刷マスクなどの不良を適切に検出することができ、不良品が生産されてしまうことを効果的に防止することが可能となる。
【選択図】図13
Description
本発明は、電子部品を基板に実装するための印刷マスクによる印刷状態を検査する印刷マスクの印刷検査装置、及び印刷マスクの印刷検査方法に関する。
従来から、電子部品を基板に実装する際に印刷マスクが用いられている。具体的には、印刷マスクに形成された貫通孔よりプリント基板上にはんだを供給し、このはんだに電極を接触させた状態で電子部品をプリント基板に載置することが行われている。更に、このような印刷マスクを用いた印刷状態の良否を検査する技術が提案されている。例えば、特許文献1には、印刷マスクの位置ズレを検出して自動的に印刷マスクの位置を適正な位置に補正して、安定した位置精度ではんだ印刷を行う技術が記載されている。その他にも、本発明に関連のある技術が、特許文献2及び3に記載されている。
しかしながら、上記した特許文献1乃至3に記載された技術では、印刷マスクを実際の生産ラインで使用する前に、手間を要することなく効率的に、印刷マスクを用いた印刷の状態を検査することが困難であった。
本発明が解決しようとする課題は上記のようなものが例として挙げられる。本発明は、印刷マスクによる印刷状態を容易に精度良く検査することが可能な印刷マスクの印刷検査装置及び印刷マスクの印刷検査方法を提供することを課題とする。
請求項1に記載の発明では、電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査する印刷マスクの印刷検査装置は、複数の貫通孔が形成された前記印刷マスクの画像を取得する印刷マスク画像取得手段と、前記印刷マスクによって印刷される基板の画像を取得する基板画像取得手段と、前記印刷マスク画像取得手段によって取得された印刷マスク画像と、前記基板画像取得手段によって取得された基板画像とを比較することによって、前記基板に対する前記印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う印刷検査手段と、少なくとも前記印刷検査手段による検査結果を表示する表示制御手段と、を備えることを特徴とする。
請求項14に記載の発明では、電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査する印刷マスクの印刷検査方法は、複数の貫通孔が形成された前記印刷マスクの画像を取得する印刷マスク画像取得工程と、前記印刷マスクによって印刷される基板の画像を取得する基板画像取得工程と、前記印刷マスク画像取得工程によって取得された印刷マスク画像と、前記基板画像取得工程によって取得された基板画像とを比較することによって、前記基板に対する前記印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う印刷検査工程と、少なくとも前記印刷検査工程による検査結果を表示する表示制御工程と、を備えることを特徴とする。
本発明の1つの実施形態では、電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査する印刷マスクの印刷検査装置は、複数の貫通孔が形成された前記印刷マスクの画像を取得する印刷マスク画像取得手段と、前記印刷マスクによって印刷される基板の画像を取得する基板画像取得手段と、前記印刷マスク画像取得手段によって取得された印刷マスク画像と、前記基板画像取得手段によって取得された基板画像とを比較することによって、前記基板に対する前記印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う印刷検査手段と、少なくとも前記印刷検査手段による検査結果を表示する表示制御手段と、を備える。
上記の印刷マスクの印刷検査装置は、電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査するために好適に利用される。具体的には、印刷マスク画像取得手段は、複数の貫通孔が形成された印刷マスクの画像を取得し、基板画像取得手段は、印刷マスクによって印刷される基板の画像を取得する。そして、印刷検査手段は、これらの印刷マスク画像と基板画像とを比較することによって、基板に対する印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う。つまり、印刷検査手段は、印刷マスクを実際の生産ラインで使用する前に、印刷マスクによる印刷状態をシミュレートする。更に、表示制御手段は、印刷検査手段による検査結果などを表示する。上記の印刷マスクの印刷検査装置によれば、印刷マスクによる印刷状態の検査を簡単な操作で精度良く行うことが可能となる。よって、事前に印刷マスクなどの不良を適切に検出することができるため、不良品が生産されてしまうことを効果的に防止することが可能となる。
上記の印刷マスクの印刷検査装置の一態様では、前記印刷検査手段は、前記印刷マスク画像と前記基板画像とを合成することによって、前記印刷マスクによる印刷状態をシミュレートする。これにより、基板のランド上にはんだが印刷される状態を、容易に検査することが可能となる。
上記の印刷マスクの印刷検査装置の他の一態様では、前記表示制御手段は、前記印刷検査手段によって合成された画像を表示すると共に、前記合成された画像において前記印刷マスク画像における貫通孔の部分を半透明で表示することで、はんだ画像の背景にあるランドを透過して視認するようにする。これにより、はんだが印刷される部分の下に隠れた基板におけるランドを、はんだを透かして見ることができる。
上記の印刷マスクの印刷検査装置において好適には、前記印刷検査手段は、前記基板画像においてランドが存在しない箇所に前記印刷マスク画像における貫通孔が存在する箇所、及び前記基板画像の前記ランドから前記印刷マスク画像における貫通孔部分がはみ出している箇所を、不良箇所として検出し、前記表示制御手段は、前記不良箇所を画像上で目立たせて表示させた画像、及び前記不良箇所に対応する情報をリストにした画像の少なくともいずれかを表示する。これにより、印刷マスクにおける不良箇所を適切に検出することができると共に、不良箇所を即座に確認することができる。
上記の印刷マスクの印刷検査装置の他の一態様では、前記印刷検査手段は、前記印刷マスク画像、前記基板画像、及び前記基板に実装する電子部品の画像を合成し、前記表示制御手段は、前記印刷検査手段によって合成された画像を表示すると共に、前記合成された画像において前記電子部品の画像を半透明で表示する。これにより、電子部品を実装直後の基板の状態を容易に確認することができる。また、電子部品の電極などを透かして、その下のはんだ部分や基板のランドなどを目視検査することができる。
上記の印刷マスクの印刷検査装置において好適には、前記印刷検査手段は、前記電子部品の画像における電極に対応する箇所に前記印刷マスク画像における貫通孔が存在しない箇所を、不良箇所として検出し、前記表示制御手段は、前記不良箇所を画像上で目立たせて表示させた画像、及び前記不良箇所に対応する情報をリストにした画像の少なくともいずれかを表示する。これにより、印刷マスクにおける不良箇所を適切に検出することができると共に、不良箇所を即座に確認することができる。
上記の印刷マスクの印刷検査装置の他の一態様では、前記印刷マスク画像における貫通孔を測定することによって、前記印刷マスクの貫通孔により印刷されるはんだ量を計算するはんだ量計算手段を更に備える。また、好適には、前記印刷検査手段は、前記はんだ量計算手段によって計算されたはんだ量が前記基板に電子部品を実装するために印刷されるべきはんだ量の範囲内にない箇所を、不良箇所として検出し、前記表示制御手段は、前記不良箇所を画像上で目立たせて表示させた画像、及び前記不良箇所に対応する情報をリストにした画像の少なくともいずれかを表示する。これによっても、印刷マスクにおける不良箇所を適切に検出することができると共に、不良箇所を即座に確認することができる。
上記の印刷マスクの印刷検査装置の他の一態様では、前記印刷マスク画像取得手段及び前記基板画像取得手段は、それぞれ、スキャナにより前記印刷マスク及び前記基板を撮影することによって、前記印刷マスク画像及び前記基板画像を取得する。
好ましくは、複数の線分又は複数のマークが規則正しく配列されたパターンが描かれたスケールを、前記スキャナによって取り込んだスケール画像を取得するスケール画像取得手段を更に備え、前記印刷検査手段は、前記スケール画像取得手段によって取得された前記スケール画像内の前記複数の線分又は前記複数のマークに基づいて、前記印刷マスク画像及び前記基板画像を復元する処理を行い、前記復元された印刷マスク画像及び基板画像に基づいて前記検査を行う。この場合、スケール画像に基づいて、撮影によって得られた印刷マスク画像及び基板画像に生じている歪みやずれ等を補正することによって、これらの画像を復元する処理を行う。このようにして復元された画像を用いることにより、更に高精度の検査を行うことが可能となる。
更に好ましくは、前記スキャナをベースプレート上に載置した状態で、当該スキャナにより撮影を行う。これにより、撮影の繰り返し精度を向上させることができ、撮影画像の復元補正精度などを高めることが可能となる。
上記の印刷マスクの印刷検査装置の他の一態様では、前記印刷マスク画像取得手段は、前記印刷マスク画像として前記印刷マスクのガーバデータに対応する画像を生成取得し、前記基板画像取得手段は、前記基板画像として前記基板のガーバデータに対応する画像を生成取得する。この場合には、印刷マスク及び基板のガーバデータを用いて、印刷マスクによる印刷状態をシミュレートして検査を行うことができる。
好ましくは、前記基板画像からランド部分を抽出して、抽出された前記ランド部分に基づいて、前記印刷マスクのガーバデータを新規に生成又は修正したデータを出力するガーバデータ出力手段を更に備え、前記ガーバデータ出力手段は、前記基板画像と前記基板に実装する電子部品の画像とを合成した画像上で、前記電子部品の電極に接しているランドと前記電子部品の電極に接していないランドとを分別表示すると共に、前記印刷マスクのガーバデータにおいて貫通孔が不要な箇所を除去して、必要な貫通孔のみが含まれるデータを前記印刷マスクのガーバデータとして出力する。
本発明の他の観点では、電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査する印刷マスクの印刷検査方法は、複数の貫通孔が形成された前記印刷マスクの画像を取得する印刷マスク画像取得工程と、前記印刷マスクによって印刷される基板の画像を取得する基板画像取得工程と、前記印刷マスク画像取得工程によって取得された印刷マスク画像と、前記基板画像取得工程によって取得された基板画像とを比較することによって、前記基板に対する前記印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う印刷検査工程と、少なくとも前記印刷検査工程による検査結果を表示する表示制御工程と、を備える。上記の印刷マスクの印刷検査方法によっても、印刷マスクを実際の生産ラインで使用する前に、印刷マスクによる印刷状態の検査を簡単な操作で漏れなく行うことが可能となる。
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。
[システム構成]
まず、図1を用いて、本発明の実施例に係る印刷マスクの印刷検査装置が適用されたシステムの構成について説明する。図1は、印刷マスクの印刷検査システム100の概略構成を示す図である。
まず、図1を用いて、本発明の実施例に係る印刷マスクの印刷検査装置が適用されたシステムの構成について説明する。図1は、印刷マスクの印刷検査システム100の概略構成を示す図である。
印刷マスクの印刷検査システム100は、パーソナルコンピュータ(PC)1と、スキャナ2とを有する。印刷マスクの印刷検査システム100は、主に、印刷マスク(不図示)による印刷状態をシミュレートして検査する。スキャナ2は、読み取り面2x上に載置された対象物の画像を撮影し、撮影によって得られた画像データS2をPC1に供給する。例えば、スキャナ2としては、公知のフラットベッドスキャナや、シートフィードスキャナや、フィルムスキャナなどを用いることができる。また、7200DPI(3.5μm/pix)程度の解像度を有するスキャナ2を用いることができる。本実施例では、スキャナ2は、主に、印刷マスク及び基板(ベア基板)に対する撮影を行う。
PC1は、演算処理部1a及び画像表示部1bを有する。演算処理部1aは、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)及びRAM(Random Access Memory)などを有しており、スキャナ2から供給される画像データS2に対して画像処理を行う。詳しくは、演算処理部1aは、撮影によって得られた画像に生じている歪みやずれ等を補正する画像処理を行う。言い換えると、演算処理部1aは、画像を復元した復元画像を生成するための画像処理を行う。そして、演算処理部1aは、画像処理によって得られた復元画像に基づいて、印刷マスクによる印刷状態をシミュレートして検査を行う。更に、演算処理部1aは、検査結果などを画像表示部1bに表示させるための処理を行う。
このように、演算処理部1aは、本発明に係る印刷マスクの印刷検査装置として機能する。具体的には、演算処理部1aは、詳細は後述するが、印刷マスク画像取得手段、基板画像取得手段、印刷検査手段、表示制御手段、スケール画像取得手段、及びはんだ量計算手段として動作する。一方、画像表示部1bは、スキャナ2で撮影された画像や、演算処理部1aで画像処理された復元画像や、印刷状態をシミュレートした検査結果などを表示する。
[印刷マスクの印刷検査方法]
以下では、演算処理部1aが行う、本実施例に係る印刷マスクの印刷検査方法について説明する。
以下では、演算処理部1aが行う、本実施例に係る印刷マスクの印刷検査方法について説明する。
本実施例では、演算処理部1aは、スキャナ2によって、印刷マスクの画像(以下、「印刷マスク画像」とも呼ぶ。)及び基板の画像(以下、「基板画像」と呼ぶ。)を取得する。詳しくは、演算処理部1aは、複数の線分又は複数のマークが規則正しく配列されたパターンが描かれたスケールを、スキャナ2によって取り込んだ画像(以下、「スケール画像」と呼ぶ。)を取得し、取得されたスケール画像に基づいて、上記した印刷マスク画像及び基板画像を復元する処理を行う。以下では、印刷マスク画像の復元画像を「印刷マスク復元画像」と呼び、基板画像の復元画像を「基板復元画像」と呼ぶ。そして、演算処理部1aは、得られた印刷マスク復元画像及び基板復元画像に基づいて、基板に対する印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う。具体的には、演算処理部1aは、印刷マスク復元画像と基板復元画像とを合成することによって、印刷マスクによる印刷状態をシミュレートする。以上の印刷マスクの印刷検査方法によれば、印刷マスクを実際の生産ラインで使用する前に、印刷マスクによる印刷状態を容易に精度良く検査することが可能となる。
次に、図2乃至図9を参照して、本実施例に係る印刷マスクの印刷検査方法について具体的に説明する。
図2は、印刷マスク画像を復元するために用いるスケール画像を取り込む方法を説明するための図である。なお、スケール画像は、スキャナ2の特性などに起因する印刷マスク画像及び基板画像に生じる歪みやずれなどを補正するために用いられる。また、スケール画像の取得は、基本的には、後述する印刷マスクや基板に対する撮影などを行う前に実行される。
図2(a)は、本実施例で用いるスケール3を示している。スケール3は、ガラス板などで構成され、格子3aが描かれている。具体的には、スケール3には、複数の縦方向の線分と横方向の線分とが、それぞれ直交するように等間隔に配列されたパターンが描かれている。この場合、例えば、格子3aの間隔は7(mm)程度に設定され、許容誤差は「±4(μm)」若しくは「±8(μm)」に設定されている。なお、スケール3はガラスゲージとして機能する。
図2(b)は、スケール3をスキャナ2にセットする様子を示す図である。この場合、スキャナ2の読み取り面2x上にスケール3が載置される。図2(c)は、スキャナ2によって取得されたスケール画像13の一例を示す図である。これより、スケール画像13中の格子の画像13aに、歪みが生じていることがわかる。これは、スキャナ2の特性などに起因するものである。本実施例では、演算処理部1aは、このようなスケール画像13に生じる歪みやずれからスキャナ2の精度分布を数値化すると共に、数値化された精度分布を記憶する。そして、演算処理部1aは、数値化したスキャナ2の精度分布に基づいて印刷マスク画像及び基板画像を復元する。
なお、上記では、格子3aが描かれたスケール3を用いる例を示したが、これに限定はされない。他の例では、このようなスケール3を用いる代わりに、複数のマーク(ドット)が規則正しく配列されたパターンが描かれたスケールを用いることができる。
図3は、印刷マスクの一例を示す図である。図3(a)は、印刷マスク7を有するマスク装置6の概略構成を示す図である。マスク装置6は、600×550〜1100×800(mm)程度のサイズを有しており、主に、印刷マスク7と、印刷マスク7を支持して固定する枠部9とを有する。マスク装置6は、基本的には、基板(不図示)に実装する電子部品(不図示)を駆動するために必要となる所定パターンに従って、基板にはんだを供給するために用いられる。
また、図3(b)は、印刷マスク7を上方から観察した図である。印刷マスク7は、例えば硬質ニッケルなどの金属からなる平板に形成されている。更に、印刷マスク7には、複数の貫通孔8aが形成されている(図3(b)参照)。貫通孔8aは、印刷マスク7を用いて基板上のはんだを供給すべき箇所に応じて、印刷マスク7に形成されている。以下では、本実施例においてスキャナ2の撮影対象となる、印刷マスク7において貫通孔8aが形成された領域(図3(a)では色を塗って示した部分に対応し、図3(b)では破線で示した部分に対応する)を貫通孔部分8と呼ぶ。
ここで、マスク装置6を用いて電子部品を基板に実装する手順について、簡単に説明する。まず、基板に印刷マスク7を相対向させた状態で、マスク装置6を位置決めする。この後、スキージ(不図示)で印刷マスク7を基板に近づける方向に押圧するとともに、スキージを印刷マスク7上をこの印刷マスク7に沿って移動させる。これにより、印刷マスク7に形成された貫通孔8aからはんだ(所謂、クリームはんだ)が押し出されることによって、基板の表面における所定箇所にはんだが供給される。この後、電子部品が載置された状態の基板をリフロー炉に入れて、はんだを再溶融させることにより、基板に電子部品が一括的に実装される。
図4は、スキャナ2に対してマスク装置6をセットする方法を具体的に説明するための図である。
図4(a)は、スキャナ2の背面カバー2yを取り外す様子を示した図である。本実施例では、背面カバー2yを取り外した状態で、印刷マスク画像を取得する。こうするのは、マスク装置6がスキャナ2に比して大きなサイズを有する傾向にあるからである。図4(b)は、マスク装置6をスキャナ2にセットする様子を示した図である。具体的には、背面カバー2yが取り外されたスキャナ2の読み取り面2x上に、貫通孔8aが形成された貫通孔部分8が載置されるように、マスク装置6をスキャナ2にセットする。次に、図4(c)は、スキャナ2の読み取り面2xの反対側となる貫通孔部分8上に黒い紙10を被せる様子を示した図である。本実施例では、このように貫通孔部分8上に黒い紙10を覆い被せた状態で、印刷マスク7に対する撮影を行う。こうするのは、印刷マスク画像として白黒で表された画像を取得する場合において、貫通孔8aの部分が鮮明に写った印刷マスク画像を取得するためである。なお、印刷マスク画像をカラー画像で取得する場合には、このような黒い紙10を用いる必要はない。
図5は、印刷マスク画像を取り込む方法、及び印刷マスク画像に対する復元方法を説明するための図である。
図5(a)は、印刷マスク7を印刷マスク画像として取り込む前の画像20を示している。言い換えると、画像20は、印刷マスク画像を取り込むために用いるプレビュー画像に対応する。計測を行う者(以下、単に「計測者」とも呼ぶ。)は、画像20を参照して、スキャナ2の撮影範囲を指定する。例えば、計測者は、貫通孔部分8に相当する画像21が全て含まれるように撮影範囲を指定する。この場合、計測者は、画像表示部1bに表示された画像に基づいて、PC1のマウス(不図示)などを操作することによって撮影範囲を指定することができる。このように撮影範囲の指定が終了した後に、スキャナ2によって撮影を実行する。なお、上記では、計測者が手動で撮影範囲を指定する例を示したが、この代わりに、演算処理部1aが印刷マスク7を画像認識することによって自動で撮影範囲を設定することも可能である。
図5(b)は、スキャナ2によって撮影された印刷マスク画像30を示している。この印刷マスク画像30は、計測者に指定された撮影範囲に基づいて撮影された画像に対応する。撮影によって得られた印刷マスク画像30は、ビットマップデータ等として演算処理部1aが記憶する。印刷マスク画像30を見ると、歪みが生じていることがわかる。具体的には、貫通孔8aに対応する画像18aが、想定される位置よりも大きくずれていることがわかる。これは、スキャナ2の特性などに起因するものである。
図5(c)は、印刷マスク画像30を復元することによって得られた印刷マスク復元画像40を示している。演算処理部1aは、前述したスケール画像の取得時に数値化したスキャナ2の精度分布に基づいて(図2参照)、印刷マスク画像30を復元するための画像処理を行う。具体的には、演算処理部1aは、スケール画像中の格子の位置などに基づいて、印刷マスク画像30を復元する処理を行う。例えば、演算処理部1aは、以下の手順によって復元を行う。まず、演算処理部1aは、復元によって得られるべき印刷マスク復元画像40のピクセル位置に対応する印刷マスク画像30上の位置を、スケール画像における格子の位置に基づいて計算する。次に、演算処理部1aは、得られた印刷マスク画像30上の位置に割り当てるべきデータを、この位置の周囲のデータを用いて補間することによって求める。以上の処理を印刷マスク復元画像40を構成する全てのピクセルに対して行うことによって、印刷マスク画像30に対応する印刷マスク復元画像40が得られる。これにより、スキャナ2の特性に起因する歪みやずれなどの影響を排除した印刷マスク復元画像40を得ることができる。
本実施例では、演算処理部1aは、このようして得られた印刷マスク復元画像40に基づいて、印刷マスク7に形成された貫通孔8aに対する計測を行う。具体的には、演算処理部1aは、印刷マスク復元画像40を画像処理することによって、複数の貫通孔8aにおける座標、形状、サイズ、方向、及び面積などを計測する。
図6は、基板画像を取り込む方法、及び基板画像に対する復元方法を説明するための図である。
図6(a)は、基板15をスキャナ2にセットする様子を示す図である。この場合、スキャナ2の読み取り面2x上に基板15が載置される。なお、基板15は、所謂、ベア基板に相当する。図6(b)は、スキャナ2によって撮影された基板画像50を示している。図6(b)では、説明の便宜上、基板画像50を簡略化して示している(ランドや配線などを示していない)。この基板画像50は、計測者に指定された撮影範囲に基づいて撮影された画像に対応する。撮影によって得られた基板画像50は、ビットマップデータ等として演算処理部1aが記憶する。基板画像50を見ると、歪みが生じていることがわかる。これは、スキャナ2の特性などに起因するものである。
図6(c)は、基板画像50を復元することによって得られた基板復元画像51を示している。演算処理部1aは、前述したスケール画像の取得時に数値化したスキャナ2の精度分布に基づいて(図2参照)、基板画像50を復元するための画像処理を行う。具体的には、演算処理部1aは、前述したように、スケール画像中の格子の位置などに基づいて、基板画像50を復元する処理を行う。これにより、スキャナ2の特性に起因する歪みやずれなどの影響を排除した基板復元画像51を得ることができる。本実施例では、演算処理部1aは、このようして得られた基板復元画像51より、基板15に形成されたランドなどを画像認識したりする。
図7は、印刷マスク復元画像と基板復元画像とを画像合成した例を示す図である。なお、印刷マスク復元画像及び基板復元画像は、撮影によって得られた印刷マスク画像及び基板画像をスケール画像に基づいて復元することによって得られる。
図7(a)は、印刷マスク復元画像の一例を示し、図7(b)は、基板復元画像の一例を示す。そして、図7(c)は、図7(a)に示す印刷マスク復元画像と図7(b)に示す基板復元画像との合成画像を示す。図7(c)に示すように、合成画像は、印刷マスク復元画像及び基板復元画像を重ね合わせることによって作成される。具体的には、演算処理部1aが、合成画像を作成し、これを画像表示部1bに表示させる。より詳しくは、演算処理部1aは、合成画像において、印刷マスク復元画像における貫通孔の部分を半透明で表示させる。この場合、印刷マスク復元画像における貫通孔の部分ははんだが供給される部分に相当するため、基板15にはんだ印刷された状態を画像で容易に確認することが可能となる。また、はんだ画像(貫通孔の部分)の背景にあるランドを透過して視認することが可能となる。本実施例では、演算処理部1aは、図7に示すように画像合成することによって、印刷マスク7による印刷状態をシミュレートする。これにより、印刷マスク7を実際の生産ラインで使用する前に、印刷マスク7による印刷状態の検査を容易に行うことが可能となる。
なお、上記したような画像の合成は、基板復元画像におけるフィデューシャルマーク又はランドと、これに対応する印刷マスク復元画像の貫通孔とを2点以上指定して、両者を自動的に平均位置合わせすることによって行われる。これにより、高精度な画像合成を容易に行うことが可能となる。
図8は、画像の合成を詳細に説明するための図である。図8(a)は、基板復元画像の一部分を拡大して表した画像60を示す。図8(a)中の符号60a、60bで示す部分は、基板15に形成されたランドに対応する。図8(b)は、図8(a)に示す基板15の部分に対応する印刷マスク復元画像を拡大して表した画像61を示す。図8(b)で色を塗って示した部分61aは、印刷マスク復元画像における貫通孔の部分に対応する。この部分61aは、印刷マスク7により印刷されるはんだ部分に相当する。また、図8(c)は、図8(a)に示す基板復元画像60と図8(b)に示す印刷マスク復元画像61との合成画像62を示す。この合成画像62は、基板復元画像60と印刷マスク復元画像61とを重ね合わせることによって作成される。更に、合成画像62においては、印刷マスク復元画像61における貫通孔の部分61aが半透明で表示される。これにより、はんだ印刷される部分(符号61aで示す部分)の下に隠れた基板復元画像60におけるランド60a、60bを、はんだを透かして見ることが可能となる、つまり、はんだ画像(符号61aで示す部分)の背景にあるランド60a、60bを透過して視認することが可能となる。
図9は、上記したような画像に基づいて行われた計測結果を表示した画像の一例を示す。図9において、符号A2で示す画像は、印刷マスク復元画像と基板復元画像との合成画像を示している。また、符号A1で示す画像は、基板復元画像の全体を示している。具体的には、符号A1で示す画像は、基板15の画像を図面化したマップを示している。例えば、ユーザが符号A1で示す画像において領域を選択した場合に、当該領域を拡大した画像が符号A2で示す画像に表示される。更に、符号A3で示す画像は、印刷マスク7における複数の貫通孔8aのそれぞれにおける計測データを、表で示した画像に相当する。例えば、この表には、複数の貫通孔8aにおける座標、形状、サイズ、方向、及び面積などの計測データが、データの種類別に分類して表示される。図9に示すような画像を用いることにより、基板15のランド上にどのようにはんだが印刷されるかを、画像を自由に移動、拡大、縮小して目視検査を行うことが可能となる。
以上説明したように、本実施例では、印刷マスク7及び基板15を高精度に撮影して、これらの画像を合成して印刷状態をシミュレートする。これにより、印刷マスク7を実際の生産ラインで使用する前に、印刷状態を簡単な操作で高精度に検査することが可能となる。具体的には、微小なサイズの貫通孔8aやランドに対して、顕微鏡などを用いずに高精度の検査を行うことができる。また、本実施例によれば、基板15を印刷マスク7に手で当てて、印刷マスク7の貫通孔8aから基板15のランドを覗くような検査を行う必要がなくなるため、印刷状態の検査を容易に行うことができる。更に、印刷マスク7を印刷機にセットして、実際に基板15にはんだペーストを印刷したものを検査する必要がないため、本実施例によれば、検査のために生産ラインを止めたりすることなく、事前に印刷状態を適切に検査することができる。よって、不良品が生産されてしまうことを効果的に防止することが可能となる。
(検査例)
次に、図10乃至図12を参照して、印刷状態の検査方法の具体例について説明する。
次に、図10乃至図12を参照して、印刷状態の検査方法の具体例について説明する。
まず、第1の検査方法について説明する。第1の検査方法では、演算処理部1aは、基板復元画像においてランドが存在しない箇所に印刷マスク復元画像における貫通孔が存在する箇所、及び基板復元画像のランドから印刷マスク復元画像における貫通孔部分がはみ出している箇所を不良箇所として検出する。そして、演算処理部1aは、検出された不良箇所を画像上で目立たせて表示させる。
図10は、第1の検査方法による結果の一例を示す図である。図10は、印刷マスク復元画像と基板復元画像との合成画像の一部分を拡大して表した画像65を示している。この例では、画像65中の符号65aで示す箇所において、基板復元画像においてランドが存在しない箇所に印刷マスク復元画像における貫通孔が存在する。つまり、符号65aで示す印刷マスク7における箇所は、不良箇所であると言える。演算処理部1aは、合成画像65を画像処理することによって、このような不良箇所を検出する。そして、演算処理部1aは、検出された不良箇所を合成画像65上で目立たせて表示させる。例えば、演算処理部1aは、不良箇所を画面上で赤などを用いて表示する。更に、演算処理部1aは、このような不良箇所における座標などの情報をリストとして表示させることができる。
次に、第2の検査方法について説明する。第2の検査方法では、演算処理部1aは、基板15に実装する電子部品の画像も用いて合成画像を作成する。具体的には、演算処理部1aは、印刷マスク復元画像、基板復元画像、及び電子部品の画像を合成して表示する。つまり、演算処理部1aは、前述した印刷マスク復元画像及び基板復元画像の合成画像に対して、更に電子部品の画像を合成する。加えて、演算処理部1aは、基板15に実装する電子部品の画像を、合成画像において半透明で表示させる。なお、電子部品の画像は、例えば電子部品をマウンタで実装するための実装データ(座標データや部品データ)として記憶されているものが用いられる。この後、演算処理部1aは、電子部品の画像における電極に対応する箇所に印刷マスク復元画像における貫通孔が存在しない箇所を、不良箇所として検出する。そして、演算処理部1aは、検出された不良箇所を画像上で目立たせて表示させる。
図11は、第2の検査方法による結果の一例を示す図である。図11は、印刷マスク復元画像、基板復元画像、及び電子部品の画像の合成画像の一部分を拡大して表した合成画像70を示している。図11において、符号70aで示す部分などが電子部品の画像に対応する。具体的には、符号70a1、70a2で示す部分は、電子部品の電極(リード)に対応する。このような合成画像70は、演算処理部1aにより、印刷マスク復元画像、基板復元画像、及び電子部品の画像を重ね合わせることによって作成される。この合成画像70によれば、電子部品を実装直後の基板を画像により確認することが可能となる。更に、合成画像70においては、電子部品の画像が半透明で表示される。これにより、電子部品の電極を透かして、下のはんだ部分(貫通孔の部分)や基板のランドを目視検査することができる。なお、合成画像70においては、前述した合成画像62などと同様に(図62参照)、印刷マスク復元画像における貫通孔の部分が半透明で表示される。
また、演算処理部1aは、このような合成画像70を画像処理することによって、電子部品の画像における電極に対応する箇所に印刷マスク復元画像における貫通孔が存在しない不良箇所の検出を行う。図11に示す例では、電極70a1に対応する箇所に符号70bで示すように貫通孔が存在するのに対して、電極70a2に対応する箇所に符号70cで示すように貫通孔が存在しない。つまり、符号70cで示す印刷マスク7における箇所は、不良箇所であると言える。演算処理部1aは、合成画像70を画像処理することによって、このような不良箇所を検出し、検出された不良箇所を合成画像70上で目立たせて表示させる。例えば、演算処理部1aは、符号70dで示すように、不良箇所を画面上で赤などを用いて目立たせて表示させる。更に、演算処理部1aは、このような不良箇所に対応する部品名、座標、及びリファレンス名などの情報をリストとして表示させることができる。
次に、第3の検査方法について説明する。第3の検査方法では、演算処理部1aは、印刷マスク7に形成された複数の貫通孔8aのそれぞれにより印刷されるはんだ量(体積に相当する)を計算する。具体的には、演算処理部1aは、印刷マスク復元画像における貫通孔の部分に対する測定を行うことによってはんだ量を計算する。より詳しくは、演算処理部1aは、印刷マスク復元画像から測定される貫通孔の形状サイズ、設定したマスク板厚、はんだ成分、はんだメッシュ、及びフラックス含有量などから、はんだ量を計算する。次に、演算処理部1aは、上記のようにして計算されたはんだ量が、基板15に電子部品を適切に実装するために必要となるはんだ量の範囲(例えば、予め記憶されたデータが用いられる)内にない箇所を、不良箇所として検出する。そして、演算処理部1aは、検出された不良箇所を画像上で目立たせて表示させると共に、この不良箇所に対応する電子部品名、座標、及びリファレンス名などの情報をリストとして表示させる。
図12は、第3の検査方法による結果の一例を示す図である。具体的には、不良箇所に対応する情報のリストを示している。詳しくは、左から順に、第3の検査方法により検出された不良箇所に対応する部品種、リファレンス名(Ref)、リード番号、必要はんだ量、実際はんだ量(計算されたはんだ量に対応する)、及び判定をリストにして示している。ここでは、判定として、計算されたはんだ量が必要はんだ量よりも多いか少ないかを示している。
[印刷マスクの印刷検査処理]
次に、図13を参照して、本実施例における印刷マスクの印刷検査処理について説明する。図13は、印刷マスクの印刷検査処理を示すフローチャートである。この処理は、PC1の演算処理部1aが主となって実行する。なお、図13のフローチャートにおいて、かっこ書で示す処理は、計測者が行う処理を示している。
次に、図13を参照して、本実施例における印刷マスクの印刷検査処理について説明する。図13は、印刷マスクの印刷検査処理を示すフローチャートである。この処理は、PC1の演算処理部1aが主となって実行する。なお、図13のフローチャートにおいて、かっこ書で示す処理は、計測者が行う処理を示している。
まず、ステップS101では、計測者がスケール3をスキャナ2にセットする。この場合、計測者は、スキャナ2の読み取り面2x上の所定の位置に、スケール3をセットする。そして、処理はステップS102に進む。
ステップS102では、スキャナ2がスケール3の撮影を実行する。そして、スキャナ2は、撮影によって得られたスケール画像を信号S2として演算処理部1aに供給する。この場合、演算処理部1aは、取得されたスケール画像に生じている歪みなどからスキャナ2の精度分布を数値化すると共に、数値化された精度分布を記憶する。そして、処理はステップS103に進む。
ステップS103では、計測者が、スキャナ2からスケール3を取り出した後、スキャナ2の背面カバー2yを取り外す。そして、処理はステップS104に進む。なお、背面カバー2yを取り外さなくても、印刷マスク7をスキャナ2の読み取り面2xに適切に載置することが可能である場合には、背面カバー2yを取り外さなくても良い。
ステップS104では、計測者が、マスク装置6をスキャナ2にセットする。具体的には、背面カバー2yが取り外されたスキャナ2の読み取り面2x上に、貫通孔8aが形成された貫通孔部分8が載置されるように、マスク装置6をスキャナ2にセットする。そして、処理はステップS105に進む。
ステップS105では、計測者が、スキャナ2の読み取り面2xの反対側となる貫通孔部分8上に黒い紙10を被せる。こうするのは、白黒で表された画像を取得する場合に、貫通孔8aが鮮明に写った印刷マスク画像を取得するためである。なお、カラー画像を取得する場合には、このような黒い紙10を貫通孔部分8上に被せる必要はない。以上の処理が終了すると、処理はステップS106に進む。
ステップS106では、計測者が、画像表示部1bに表示された画像(プレビュー画像)を参照して、スキャナ2による撮影範囲を指定する。具体的には、計測者は、撮影すべき貫通孔部分8がスキャナ2によって取り込まれるように、撮影範囲を指定する。そして、処理はステップS107に進む。
ステップS107では、ステップS106で計測者に指定された撮影範囲に基づいて、印刷マスク7の撮影を実行する。この場合、演算処理部1aは、撮影によって得られた画像(印刷マスク画像)をビットマップデータとして記憶する。そして、処理はステップS108に進む。
ステップS108では、演算処理部1aが、ステップS107で取得した印刷マスク画像を、ステップS102で取得されたスケール画像に基づいて復元する画像処理を実行する。この場合、演算処理部1aは、数値化されたスキャナ2の精度分布に基づいて、印刷マスク復元画像を生成する。具体的には、演算処理部1aは、スケール画像中の格子の位置などに基づいて、印刷マスク画像を復元する処理を行う。以上の処理が終了すると、処理はステップS109に進む。
ステップS109では、計測者が基板15をスキャナ2にセットする。この場合、計測者は、スキャナ2の読み取り面2x上の所定の位置に、基板15をセットする。そして、処理はステップS110に進む。
ステップS110では、スキャナ2によって基板15の撮影を実行する。この場合、演算処理部1aは、撮影によって得られた画像(基板画像)をビットマップデータとして記憶する。そして、処理はステップS111に進む。
ステップS111では、演算処理部1aが、ステップS110で取得した基板画像を、ステップS102で取得されたスケール画像に基づいて復元する画像処理を実行する。この場合、演算処理部1aは、数値化されたスキャナ2の精度分布に基づいて、基板復元画像を生成する。そして、処理はステップS112に進む。
ステップS112では、演算処理部1aが、ステップS108で得られた印刷マスク復元画像と、ステップS111で得られた基板復元画像とを画像合成することによって、印刷マスク7による印刷状態をシミュレートする。以上の処理が終了すると、処理は当該フローを抜ける。
このように、本実施例に係る印刷マスクの印刷検査処理では、印刷マスク7及び基板15を高精度に撮影して、これらの画像を合成することによって、印刷状態をシミュレートして検査する。これにより、印刷マスク7を実際の生産ラインで使用する前に、簡単な操作で漏れなく不良を検出することが可能となる。
以上に説明したように、本実施例においては、電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査するPC内の演算処理部は、複数の貫通孔が形成された印刷マスクの画像を取得すると共に、印刷マスクによって印刷される基板の画像を取得して、取得された印刷マスク画像と基板画像とを比較することによって、基板に対する印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行い、少なくとも検査結果を表示する。これにより、印刷マスクを実際の生産ラインで使用する前に、印刷マスクによる印刷状態の検査を簡単な操作で精度良く行うことが可能となる。
[変形例]
上記では、スキャナ2で撮影することによって得られた印刷マスク画像及び基板画像に基づいて、印刷マスク7による印刷状態を検査する実施例を示したが、これに限定はされない。他の例では、印刷マスク画像及び基板画像の代わりに、印刷マスク7のガーバデータ及び基板15のガーバデータに基づいて印刷状態を検査することができる。具体的には、印刷マスク7のガーバデータに対応する画像と基板15のガーバデータに対応する画像とを合成して、前述したような方法を同様に用いることにより、印刷マスク7による印刷状態を検査することができる。なお、この場合にはスキャナ2による撮影を行わないため、これらのガーバデータに対応する画像を復元する処理を行う必要はない。また、このようなガーバデータを用いた検査は、例えば印刷マスク7や基板15が未完成である場合などに行うことが好ましい。
上記では、スキャナ2で撮影することによって得られた印刷マスク画像及び基板画像に基づいて、印刷マスク7による印刷状態を検査する実施例を示したが、これに限定はされない。他の例では、印刷マスク画像及び基板画像の代わりに、印刷マスク7のガーバデータ及び基板15のガーバデータに基づいて印刷状態を検査することができる。具体的には、印刷マスク7のガーバデータに対応する画像と基板15のガーバデータに対応する画像とを合成して、前述したような方法を同様に用いることにより、印刷マスク7による印刷状態を検査することができる。なお、この場合にはスキャナ2による撮影を行わないため、これらのガーバデータに対応する画像を復元する処理を行う必要はない。また、このようなガーバデータを用いた検査は、例えば印刷マスク7や基板15が未完成である場合などに行うことが好ましい。
図14は、ガーバデータに対応する画像の一例を示している。具体的には、図14(a)は、基板15のガーバデータから合成した画像の一例を示し、図14(b)は、印刷マスク7のガーバデータから合成した画像の一例を示している。
また、上記のように印刷マスク7のガーバデータ及び基板15のガーバデータに基づいて印刷状態を検査する場合において、演算処理部1aは、基板15のガーバデータからランド部分を抽出して、抽出されたランド部分に基づいて、印刷マスク7のガーバデータを新規に生成したデータ又は修正したデータを出力することができる。具体的には、演算処理部1aは、基板画像と基板15に実装する電子部品の画像とを合成した画像上で、電子部品の電極に接しているランドと電子部品の電極に接していないランドとを分別表示することができる。更に、演算処理部1aは、印刷マスク7のガーバデータにおいて不要な貫通孔(例えば、基板画像におけるランドや電子部品の電極が存在しない箇所に存在する貫通孔など)を編集で除去して、必要な貫通孔のみが含まれるデータを印刷マスク7のガーバデータとして出力することができる。この場合には、演算処理部1aは、ガーバデータ出力手段として機能する。
なお、前述したスキャナ2による撮影は、スキャナ2をベースプレート上に載置した状態で行うことが好ましい。具体的には、スケール3、印刷マスク7、及び基板15に対する撮影を、スキャナ2をベースプレート上に載置した状態で行うことが好ましい。これにより、スキャナ2による撮影の繰り返し精度を向上させることができ、撮影画像に対する復元補正精度を高めることが可能となる。
図15は、ベースプレート80の一例を示す図である。図15(a)は、スキャナ2をベースプレート80上に載置する様子を示した図である。ベースプレート80は、スキャナ2よりも若干大きなサイズを有する。具体的には、ベースプレート80の上面は、ベースプレート80上にスキャナ2を載置した際に、ベースプレート80からスキャナ2の底面がはみ出ない程度のサイズを有している。図15(b)は、ベースプレート80の構成を示した図である。具体的には、図15(b)の上側にはベースプレート80の上面図を示し、図15(b)の下側にはベースプレート80の側面図を示している。ベースプレート80は、スキャナ2を載置しても変形しないような素材及び厚みで構成される。例えば、ベースプレート80は、20(mm)厚程度のアルミ板によって構成される。更に、ベースプレート80の下部には、3つの無反動ゴム足80aが設けられている。そのため、ベースプレート80は、机などに載置された際に、無反動ゴム足80aにより3点支持される。これにより、ガタツキを効果的に抑制することができる。したがって、このようなベースプレート80上にスキャナ2を載置した状態で撮影を行うことにより、撮影の繰り返し精度を向上させることができ、撮影画像に対する復元補正精度を高めることが可能となる。
1 パーソナルコンピュータ(PC)
1a 演算処理部
1b 画像表示部
2 スキャナ
2x 読み取り面
2y 背面カバー
3 スケール
6 マスク装置
7 印刷マスク
8 貫通孔部分
8a 貫通孔
15 基板
80 ベースプレート
100 印刷マスクの印刷検査システム
1a 演算処理部
1b 画像表示部
2 スキャナ
2x 読み取り面
2y 背面カバー
3 スケール
6 マスク装置
7 印刷マスク
8 貫通孔部分
8a 貫通孔
15 基板
80 ベースプレート
100 印刷マスクの印刷検査システム
Claims (14)
- 電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査する印刷マスクの印刷検査装置であって、
複数の貫通孔が形成された前記印刷マスクの画像を取得する印刷マスク画像取得手段と、
前記印刷マスクによって印刷される基板の画像を取得する基板画像取得手段と、
前記印刷マスク画像取得手段によって取得された印刷マスク画像と、前記基板画像取得手段によって取得された基板画像とを比較することによって、前記基板に対する前記印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う印刷検査手段と、
少なくとも前記印刷検査手段による検査結果を表示する表示制御手段と、を備えることを特徴とする印刷マスクの印刷検査装置。 - 前記印刷検査手段は、前記印刷マスク画像と前記基板画像とを合成することによって、前記印刷マスクによる印刷状態をシミュレートすることを特徴とする請求項1に記載の印刷マスクの印刷検査装置。
- 前記表示制御手段は、前記印刷検査手段によって合成された画像を表示すると共に、前記合成された画像において前記印刷マスク画像における貫通孔の部分を半透明で表示することで、はんだ画像の背景にあるランドを透過して視認するようにしたことを特徴とする請求項2に記載の印刷マスクの印刷検査装置。
- 前記印刷検査手段は、前記基板画像においてランドが存在しない箇所に前記印刷マスク画像における貫通孔が存在する箇所、及び前記基板画像の前記ランドから前記印刷マスク画像における貫通孔部分がはみ出している箇所を、不良箇所として検出し、
前記表示制御手段は、前記不良箇所を画像上で目立たせて表示させた画像、及び前記不良箇所に対応する情報をリストにした画像の少なくともいずれかを表示することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の印刷マスクの印刷検査装置。 - 前記印刷検査手段は、前記印刷マスク画像、前記基板画像、及び前記基板に実装する電子部品の画像を合成し、
前記表示制御手段は、前記印刷検査手段によって合成された画像を表示すると共に、前記合成された画像において前記電子部品の画像を半透明で表示することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の印刷マスクの印刷検査装置。 - 前記印刷検査手段は、前記電子部品の画像における電極に対応する箇所に前記印刷マスク画像における貫通孔が存在しない箇所を、不良箇所として検出し、
前記表示制御手段は、前記不良箇所を画像上で目立たせて表示させた画像、及び前記不良箇所に対応する情報をリストにした画像の少なくともいずれかを表示することを特徴とする請求項5に記載の印刷マスクの印刷検査装置。 - 前記印刷マスク画像における貫通孔を測定することによって、前記印刷マスクの貫通孔により印刷されるはんだ量を計算するはんだ量計算手段を更に備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の印刷マスクの印刷検査装置。
- 前記印刷検査手段は、前記はんだ量計算手段によって計算されたはんだ量が前記基板に電子部品を実装するために印刷されるべきはんだ量の範囲内にない箇所を、不良箇所として検出し、
前記表示制御手段は、前記不良箇所を画像上で目立たせて表示させた画像、及び前記不良箇所に対応する情報をリストにした画像の少なくともいずれかを表示することを特徴とする請求項7に記載の印刷マスクの印刷検査装置。 - 前記印刷マスク画像取得手段及び前記基板画像取得手段は、それぞれ、スキャナにより前記印刷マスク及び前記基板を撮影することによって、前記印刷マスク画像及び前記基板画像を取得することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の印刷マスクの印刷検査装置。
- 複数の線分又は複数のマークが規則正しく配列されたパターンが描かれたスケールを、前記スキャナによって取り込んだスケール画像を取得するスケール画像取得手段を更に備え、
前記印刷検査手段は、前記スケール画像取得手段によって取得された前記スケール画像内の前記複数の線分又は前記複数のマークに基づいて、前記印刷マスク画像及び前記基板画像を復元する処理を行い、前記復元された印刷マスク画像及び基板画像に基づいて前記検査を行うことを特徴とする請求項9に記載の印刷マスクの印刷検査装置。 - 前記スキャナをベースプレート上に載置した状態で、当該スキャナにより撮影を行うことを特徴とする請求項9又は10に記載の印刷マスクの印刷検査装置。
- 前記印刷マスク画像取得手段は、前記印刷マスク画像として前記印刷マスクのガーバデータに対応する画像を生成取得し、
前記基板画像取得手段は、前記基板画像として前記基板のガーバデータに対応する画像を生成取得することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の印刷マスクの印刷検査装置。 - 前記基板画像からランド部分を抽出して、抽出された前記ランド部分に基づいて、前記印刷マスクのガーバデータを新規に生成したデータ又は修正したデータを出力するガーバデータ出力手段を更に備え、
前記ガーバデータ出力手段は、前記基板画像と前記基板に実装する電子部品の画像とを合成した画像上で、前記電子部品の電極に接しているランドと前記電子部品の電極に接していないランドとを分別表示すると共に、前記印刷マスクのガーバデータにおいて不要な貫通孔を除去して、必要な貫通孔のみが含まれるデータを前記印刷マスクのガーバデータとして出力することを特徴とする請求項12に記載の印刷マスクの印刷検査装置。 - 電子部品を基板に実装する際に用いる印刷マスクによる印刷状態を検査する印刷マスクの印刷検査方法であって、
複数の貫通孔が形成された前記印刷マスクの画像を取得する印刷マスク画像取得工程と、
前記印刷マスクによって印刷される基板の画像を取得する基板画像取得工程と、
前記印刷マスク画像取得工程によって取得された印刷マスク画像と、前記基板画像取得工程によって取得された基板画像とを比較することによって、前記基板に対する前記印刷マスクを用いた印刷状態をシミュレートして検査を行う印刷検査工程と、
少なくとも前記印刷検査工程による検査結果を表示する表示制御工程と、を備えることを特徴とする印刷マスクの印刷検査方法。
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