JP7458488B2 - 印刷品質管理システムおよび印刷品質管理方法 - Google Patents

Description

本明細書は、印刷品質管理システムおよび印刷品質管理方法に関する技術を開示する。

特許文献１に記載の印刷検査装置では、マスクプレートを撮像した撮像結果を認識処理することにより、マスクプレートに設けられた各パターン孔の位置と形状を示すマスク開口データを求める処理を行う。マスク開口データは、印刷検査のための検査用データとして用いられる。

特開２００４－０５８２９８号公報

印刷検査機によって印刷状態の不良が判断されたときに、印刷状態の不良が判断された開口部の状態を確認したいという要請がある。

このような事情に鑑みて、本明細書は、印刷検査機によって印刷状態の不良が判断された開口部の状態を確認可能な印刷品質管理システムおよび印刷品質管理方法を開示する。

本明細書は、撮像部と、表示部とを備える印刷品質管理システムを開示する。前記撮像部は、スキージがマスクを摺動して前記マスクの開口部を介して基板にはんだを印刷する印刷機によって印刷された前記はんだの印刷状態を検査する印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断したときに、前記印刷状態の不良が判断された前記開口部である対象開口部を撮像装置に撮像させる。前記表示部は、前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を表示装置に表示させる。

また、本明細書は、撮像工程と、表示工程とを備える印刷品質管理方法を開示する。前記撮像工程は、スキージがマスクを摺動して前記マスクの開口部を介して基板にはんだを印刷する印刷機によって印刷された前記はんだの印刷状態を検査する印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断したときに、前記印刷状態の不良が判断された前記開口部である対象開口部を撮像装置に撮像させる。前記表示工程は、前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を表示装置に表示させる。

上記の印刷品質管理システムによれば、撮像部および表示部を備える。これにより、印刷品質管理システムは、撮像装置によって撮像された対象開口部の画像を表示装置に表示させることができる。よって、例えば、作業者は、対象開口部の状態を確認することができる。印刷品質管理システムについて上述されていることは、印刷品質管理方法についても同様に言える。

対基板作業ラインの構成例を示す構成図である。 印刷機の構成例を示す一部断面図である。 印刷品質管理システムの制御ブロックの一例を示すブロック図である。 印刷品質管理システムによる制御手順の一例を示すフローチャートである。 設定画面の一例を示す模式図である。 表示装置の出力例を示す模式図である。 対象開口部の画像の表示例を示す模式図である。 設定画面の他の一例を示す模式図である。

１．実施形態
１－１．対基板作業ラインＷＭＬの構成例
対基板作業ラインＷＭＬでは、基板９０に所定の対基板作業を行う。本実施形態の対基板作業ラインＷＭＬは、印刷機ＷＭ１および印刷検査機ＷＭ２を備えていれば良く、対基板作業ラインＷＭＬを構成する対基板作業機ＷＭの種類および数は、限定されない。図１に示すように、本実施形態の対基板作業ラインＷＭＬは、印刷機ＷＭ１、印刷検査機ＷＭ２、部品装着機ＷＭ３、リフロー炉ＷＭ４および外観検査機ＷＭ５の複数（５つ）の対基板作業機ＷＭを備えており、基板９０は、基板搬送装置によって、この順に搬送される。

印刷機ＷＭ１は、基板９０の複数の部品の装着位置に、はんだ８０を印刷する。印刷検査機ＷＭ２は、印刷機ＷＭ１によって印刷されたはんだ８０の印刷状態を検査する。部品装着機ＷＭ３は、印刷機ＷＭ１によってはんだ８０が印刷された基板９０に複数の部品を装着する。部品装着機ＷＭ３は、一つであっても良く、複数であっても良い。部品装着機ＷＭ３が複数設けられる場合は、複数の部品装着機ＷＭ３が分担して、複数の部品を装着することができる。

リフロー炉ＷＭ４は、部品装着機ＷＭ３によって複数の部品が装着された基板９０を加熱し、はんだ８０を溶融させて、はんだ付けを行う。外観検査機ＷＭ５は、部品装着機ＷＭ３によって装着された複数の部品の装着状態などを検査する。このように、対基板作業ラインＷＭＬは、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭを用いて、基板９０を順に搬送し、検査処理を含む生産処理を実行して基板製品９００を生産することができる。なお、対基板作業ラインＷＭＬは、例えば、機能検査機、バッファ装置、基板供給装置、基板反転装置、シールド装着装置、接着剤塗布装置、紫外線照射装置などの対基板作業機ＷＭを必要に応じて備えることもできる。

対基板作業ラインＷＭＬを構成する複数（５つ）の対基板作業機ＷＭおよび管理装置ＷＭＣは、通信部ＬＣによって通信可能に接続されている。通信部ＬＣは、有線によって通信を行っても良く、無線によって通信を行っても良い。また、通信方法は、種々の方法をとり得る。本実施形態では、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭおよび管理装置ＷＭＣによって、構内情報通信網（ＬＡＮ：Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）が構成されている。これにより、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭは、通信部ＬＣを介して、互いに通信することができる。また、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭは、通信部ＬＣを介して、管理装置ＷＭＣと通信することができる。

管理装置ＷＭＣは、対基板作業ラインＷＭＬを構成する複数（５つ）の対基板作業機ＷＭの制御を行い、対基板作業ラインＷＭＬの動作状況を監視する。管理装置ＷＭＣには、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭを制御する種々の制御データが記憶されている。管理装置ＷＭＣは、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭの各々に制御データを送信する。また、複数（５つ）の対基板作業機ＷＭの各々は、管理装置ＷＭＣに動作状況および生産状況を送信する。

管理装置ＷＭＣには、データサーバＤＳＶを設けることができる。データサーバＤＳＶは、例えば、対基板作業機ＷＭが対基板作業に関して取得した取得データを保存することができる。例えば、対基板作業機ＷＭによって撮像された種々の画像データなどは、取得データに含まれる。対基板作業機ＷＭによって取得された稼働状況の記録（ログデータ）などは、取得データに含まれる。

また、データサーバＤＳＶは、基板９０の生産に関する種々の生産情報を保存することもできる。例えば、部品の種類ごとの形状に関する情報、電気的特性に関する情報、部品の取り扱い方法に関する情報などの部品データは、生産情報に含まれる。また、印刷検査機ＷＭ２、外観検査機ＷＭ５などの検査機による検査結果は、生産情報に含まれる。

１－２．印刷機ＷＭ１の構成例
本実施形態の印刷機ＷＭ１は、スキージ３４がマスク７０を摺動してマスク７０の開口部７１を介して基板９０にはんだ８０を印刷する。図２に示すように、印刷機ＷＭ１は、基板搬送装置１０と、マスク支持装置２０と、スキージ移動装置３０と、制御装置４０と、表示装置４１とを備えている。なお、本明細書では、基板９０の搬送方向（図２の紙面に垂直な方向）をＸ軸方向とする。また、水平面においてＸ軸方向に直交する印刷機ＷＭ１の前後方向（図２の左右方向）をＹ軸方向とする。さらに、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に直交する鉛直方向（図２の上下方向）をＺ軸方向とする。

基板搬送装置１０は、印刷対象の基板９０を搬送する。基板９０は、回路基板であり、電子回路、電気回路、磁気回路などが形成される。基板搬送装置１０は、印刷機ＷＭ１の基台ＢＳ１に設けられる。基板搬送装置１０は、例えば、Ｘ軸方向に延びるベルトコンベアによって、基板９０を搬送する。

基板搬送装置１０は、印刷機ＷＭ１に搬入された基板９０を保持する基板保持部１１を備えている。基板保持部１１は、マスク７０の下方に設けられており、例えば、送りねじ機構などの直動機構によってＺ軸方向に昇降可能に構成されている。具体的には、基板保持部１１は、基板９０の搬送時に下降しており、基板９０が所定位置に搬送されると、基板９０と共に上昇して、マスク７０の下面に基板９０の上面を密着させた状態で、基板９０を保持する。

マスク支持装置２０は、基板搬送装置１０の上方に設けられている。マスク支持装置２０は、一対の支持台によってマスク７０を支持する。一対の支持台は、正面方向視の印刷機ＷＭ１の左側（図２の紙面奥側であり図示されている。）および右側（図２の紙面手前側であり同図において図示されいない。）に配置され、Ｙ軸方向に沿って延びるように形成されている。

なお、図２は、印刷機ＷＭ１をＹ軸方向に沿って切断した一部断面図であり、側面方向視の印刷機ＷＭ１の内部と、マスク７０および基板９０の断面とが模式的に示されている。マスク７０には、基板９０の配線パターン上の所定位置において貫通する開口部７１が形成されている。マスク７０は、例えば、外周縁に設けられる枠部材を介して、マスク支持装置２０に支持される。

スキージ移動装置３０は、スキージ３４をマスク７０に垂直な方向（Ｚ軸方向）に昇降させるとともに、スキージ３４をマスク７０の上面においてＹ軸方向に移動させる。スキージ移動装置３０は、ヘッド駆動装置３１と、スキージヘッド３２と、一対の昇降装置３３，３３と、一対のスキージ３４，３４とを備えている。ヘッド駆動装置３１は、印刷機ＷＭ１の上部側に配置されている。ヘッド駆動装置３１は、例えば、送りねじ機構などの直動機構によって、スキージヘッド３２をＹ軸方向に移動させることができる。

スキージヘッド３２は、ヘッド駆動装置３１の直動機構を構成する移動体にクランプして固定される。スキージヘッド３２は、一対の昇降装置３３，３３を保持する。一対の昇降装置３３，３３の各々は、スキージ３４を保持し、互いに独立して駆動することができる。一対の昇降装置３３，３３の各々は、例えば、エアーシリンダなどのアクチュエータを駆動させて、保持するスキージ３４を昇降させる。

スキージ３４は、マスク７０の上面を摺動して、マスク７０の上面に供給されたはんだ８０をマスク７０に沿って移動させる。はんだ８０は、クリームはんだ（はんだペースト）を用いることができる。はんだ８０がマスク７０の開口部７１から基板９０に刷り込まれて、マスク７０の下面側に配置された基板９０に、はんだ８０が印刷される。本実施形態では、一対のスキージ３４，３４の各々は、印刷方向（Ｙ軸方向）に直交するＸ軸方向に沿って延びるように形成されている板状部材である。

一対のスキージ３４，３４のうちの前側（図２の左側）のスキージ３４は、前側から後側に向かってはんだ８０を移動させる印刷処理に用いられ、印刷機ＷＭ１の前側から後側に向かう方向を進行方向とする。一対のスキージ３４，３４のうちの後側（図２の右側）のスキージ３４は、後側から前側に向かってはんだ８０を移動させる印刷処理に用いられ、印刷機ＷＭ１の後側から前側に向かう方向を進行方向とする。また、いずれのスキージ３４においても、進行方向と反対の方向を後退方向とする。

一対のスキージ３４，３４の各々は、進行方向側に位置する前面部が下方を向くように傾斜して昇降装置３３に保持されている。換言すれば、一対のスキージ３４，３４の各々は、後退方向側に位置する背面部が上方を向くように傾斜して昇降装置３３に保持されている。一対のスキージ３４，３４の各々の傾斜角度は、昇降装置３３の下部に設けられている調整機構によって調整される。

制御装置４０は、公知の演算装置および記憶装置を備えており、制御回路が構成されている。制御装置４０は、図１に示す通信部ＬＣを介して、管理装置ＷＭＣと通信可能に接続されており、各種データを送受信することができる。制御装置４０は、生産プログラム、各種センサの検出結果などに基づいて、基板搬送装置１０、マスク支持装置２０、スキージ移動装置３０および表示装置４１を駆動制御することができる。

図３に示すように、制御装置４０には、記憶装置６０が設けられている。記憶装置６０は、例えば、ハードディスク装置などの磁気記憶装置、フラッシュメモリなどの半導体素子を使用した記憶装置などを用いることができる。記憶装置６０には、印刷機ＷＭ１を駆動させる生産プログラムなどが記憶される。制御装置４０は、記憶装置６０に記憶されている各種情報および印刷機ＷＭ１に設けられている各種センサの検出結果を取得する。

制御装置４０は、例えば、スキージ移動装置３０を駆動制御する。制御装置４０は、上記の各種情報および検出結果などに基づいて、スキージ移動装置３０に制御信号を送出する。これにより、スキージヘッド３２に保持されている一対のスキージ３４，３４のＹ軸方向の位置およびＺ軸方向の位置（高さ）、並びに、移動速度および傾斜角度が制御される。そして、既述したように一対のスキージ３４，３４が駆動制御されて、マスク７０の下面側に配置された基板９０に、はんだ８０が印刷される。

図２および図３に示すように、制御装置４０には、表示装置４１が設けられている。表示装置４１は、印刷機ＷＭ１の作業状況を表示することができる。また、表示装置４１は、タッチパネルにより構成されており、作業者による種々の操作を受け付ける入力装置としても機能する。作業者は、表示装置４１を介して、印刷機ＷＭ１の作業状況を知得することができる。また、作業者は、表示装置４１を介して、印刷機ＷＭ１の設定、印刷機ＷＭ１に対する指示などを行うことができる。

１－３．印刷品質管理システム５０の構成例
印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断されると、作業者は、種々の対応を行う。例えば、作業者は、マスク７０の開口部７１の状態に応じて、開口部７１のクリーニング、はんだ８０の供給などを行う。そのため、作業者は、印刷状態の不良が判断されたマスク７０の開口部７１の状態を確認する必要がある。

そこで、本実施形態の対基板作業ラインＷＭＬには、印刷品質管理システム５０が設けられている。印刷品質管理システム５０は、制御ブロックとして捉えると、撮像部５１と、表示部５２とを備えている。印刷品質管理システム５０は、事前処理部５３を備えることもできる。図３に示すように、本実施形態の印刷品質管理システム５０は、撮像部５１と、表示部５２と、事前処理部５３とを備えている。

印刷品質管理システム５０は、印刷機ＷＭ１、印刷機ＷＭ１以外の対基板作業機ＷＭ、管理装置ＷＭＣなどの種々の制御装置、種々の演算装置に設けることができる。開口部７１の状態を確認した後の作業者による作業を考慮して、印刷品質管理システム５０は、印刷機ＷＭ１に設けられると良い。図３に示すように、本実施形態の印刷品質管理システム５０は、印刷機ＷＭ１の制御装置４０に設けられている。

また、印刷品質管理システム５０は、図４に示すフローチャートに従って、制御を実行する。撮像部５１は、ステップＳ１３に示す判断およびステップＳ１４に示す処理を行う。表示部５２は、ステップＳ１５およびステップＳ１６に示す処理を行う。事前処理部５３は、ステップＳ１１に示す判断およびステップＳ１２に示す処理を行う。

１－３－１．撮像部５１
撮像部５１は、印刷検査機ＷＭ２が印刷状態の不良を判断したときに、印刷状態の不良が判断された開口部７１である対象開口部７１ｔを撮像装置ＦＣ１に撮像させる（図４に示すステップＳ１３およびステップＳ１４）。

撮像装置ＦＣ１は、対象開口部７１ｔを撮像することができれば良く、種々の形態をとり得る。撮像装置ＦＣ１は、対象開口部７１ｔを撮像するカメラを別途設けても良く、他の撮像に使用されるカメラを用いても良い。本実施形態の撮像装置ＦＣ１は、マスク７０および基板９０の各々に設けられる位置決め基準部を撮像するマークカメラが用いられる。マークカメラである撮像装置ＦＣ１は、例えば、ＸＹテーブルによってＸ軸方向およびＹ軸方向に移動することができる。

具体的には、図２に示す基板保持部１１が下降した状態のときに基板９０が搬送されると、撮像装置ＦＣ１は、基板９０に設けられる位置決め基準部に移動して、位置決め基準部を含む基板９０の所定領域を撮像する。同様にして、撮像装置ＦＣ１は、マスク７０の位置決め基準部を含む所定領域を撮像する。制御装置４０は、撮像された画像を画像処理して、基板９０の位置決め基準部と、マスク７０の位置決め基準部を認識する。制御装置４０は、両者の位置ずれを補正するように、マスク７０および基板９０のうちの少なくとも一方の位置を調整する。これにより、マスク７０および基板９０の位置決めが行われる。

図１に示すように、印刷機ＷＭ１、印刷検査機ＷＭ２および管理装置ＷＭＣは、通信部ＬＣによって互いに通信可能に接続されている。印刷機ＷＭ１によって基板９０にはんだ８０が印刷されると、はんだ８０が印刷された基板９０は、印刷検査機ＷＭ２に搬送される。印刷検査機ＷＭ２は、搬送された基板９０のはんだ８０の印刷状態を順次検査する。印刷検査機ＷＭ２は、印刷状態の不良を判断すると、印刷機ＷＭ１に通知する。通知には、印刷状態の不良が判断された開口部７１である対象開口部７１ｔの位置を特定する情報が含まれる。印刷機ＷＭ１が上記通知を受けると、撮像部５１は、基板保持部１１が下降してマスク７０と基板９０が離間しているときに、対象開口部７１ｔと対向する位置に撮像装置ＦＣ１を移動させる。そして、撮像部５１は、撮像装置ＦＣ１に対象開口部７１ｔを撮像させる。

なお、本実施形態では、印刷検査機ＷＭ２によって検査された検査結果は、データサーバＤＳＶに記憶される。印刷状態の不良を示す検査結果には、はんだ８０の印刷ずれ、にじみ、欠け、かすれ、ブリッジなどが含まれる。はんだ８０の印刷ずれは、基板９０に印刷されたはんだ８０の目標印刷位置に対する偏差が許容範囲を超えている状態をいう。はんだ８０のにじみは、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積が許容上限値よりも大きい状態をいう。はんだ８０の欠けは、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積が許容下限値よりも小さい状態をいう。はんだ８０のかすれは、基板９０に印刷されたはんだ８０の高さが許容下限値よりも低い状態をいう。はんだ８０のブリッジは、基板９０の異なる位置に印刷されたはんだ８０がつながっている状態をいう。

また、本実施形態の印刷検査機ＷＭ２は、基板９０に印刷されたはんだ８０の印刷状態を測定することができる。本実施形態では、印刷検査機ＷＭ２によって測定された測定結果は、データサーバＤＳＶに記憶される。印刷状態の測定結果には、基板９０に印刷されたはんだ８０の目標印刷位置に対する偏差、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積および体積のうちの少なくとも一つが含まれる。

印刷品質管理システム５０は、印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断されると、印刷検査機ＷＭ２によって検査された検査結果および印刷検査機ＷＭ２によって測定された測定結果をデータサーバＤＳＶから取得することができる。また、印刷品質管理システム５０は、印刷検査機ＷＭ２から直接、上記の検査結果および測定結果を取得することもできる。さらに、印刷検査機ＷＭ２は、上記の検査結果および測定結果を印刷品質管理システム５０に直接送信することもできる。いずれの場合も、印刷品質管理システム５０は、上記の検査結果および測定結果を図３に示す記憶装置６０に記憶させることができる。

１－３－２．表示部５２
表示部５２は、撮像装置ＦＣ１によって撮像された対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示装置４１に表示させる（図４に示すステップＳ１５）。

表示装置４１は、対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示することができれば良く、種々の形態をとり得る。表示装置４１は、対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示する表示装置を別途設けても良く、他の表示に使用される表示装置を用いても良い。既述したように、本実施形態の表示装置４１は、印刷機ＷＭ１の作業状況などを表示することができる。

図５に示すように、本実施形態の印刷品質管理システム５０は、印刷検査機ＷＭ２によって判断された印刷状態の不良の内容に応じて、その後の処理を予め設定しておくことができる。既述したように、表示装置４１は、タッチパネルにより構成されており、作業者による種々の操作を受け付ける入力装置としても機能する。例えば、作業者は、図５の破線ＢＬ１で囲まれる操作部ＢＰ１１～操作部ＢＰ４１を操作することにより、表示装置４１に作業フェーズを表示させることができる。

作業者が操作部ＢＰ１１を操作すると、表示装置４１は、生産プログラムの作成段階における作業を表示する。作業者が操作部ＢＰ２１を操作すると、表示装置４１は、生産段階における作業を表示する。作業者が操作部ＢＰ３１を操作すると、表示装置４１は、片付け段階における作業を表示する。作業者が操作部ＢＰ４１を操作すると、表示装置４１は、エラー発生段階における作業を表示する。また、作業者は、例えば、破線ＢＬ２で囲まれる操作部ＢＰ２２～操作部ＢＰ２４を操作することにより、各作業フェーズにおける作業状況、設定画面などを表示させることもできる。

図５は、設定画面の一例を示している。作業者は、操作領域ＢＰ５１を操作することにより、印刷状態の不良の内容と、当該不良が生じたパッド数および基板数と、その後の処理を設定することができる。例えば、図５の最上段の設定は、不良１で示す印刷状態の不良が、パッド数ＰＤ１および基板数ＢＤ１、連続して生じたときに、処理１で示す処理を実行することを示している。条件および処理内容が異なるが、上述したことは、不良２～不良４で示す印刷状態の不良についても同様に言える。

印刷状態の不良の内容には、既述した検査結果（はんだ８０の印刷ずれ、にじみ、欠け、かすれ、ブリッジなど）が含まれる。作業者は、複数種類の検査結果の中から少なくとも一つを選択することができる。また、作業者は、任意のパッド数および基板数を入力することができる。さらに、その後の処理には、印刷機ＷＭ１の停止、対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０の表示、対象開口部７１ｔの手動クリーニング、手動クリーニングの際のマスク７０のアンクランプ、対象開口部７１ｔの自動クリーニング、はんだ８０の手動供給、はんだ８０の自動供給などが含まれる。作業者は、対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０の表示を少なくとも含む任意の処理を選択することができる。

例えば、処理１で示す処理が、印刷機ＷＭ１の停止および対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０の表示である場合を想定する。この場合、不良１で示す印刷状態の不良が、パッド数ＰＤ１および基板数ＢＤ１、連続して生じると、制御装置４０は、印刷機ＷＭ１を停止させる。そして、表示部５２は、対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示装置４１に表示させる。

図６は、表示装置４１の出力例を示している。表示部５２が対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示装置４１に表示させることにより、例えば、作業者は、対象開口部７１ｔの状態を容易に確認することができる。図７は、画像ＰＴ０に含まれる一部の対象開口部７１ｔの拡大図である。例えば、図７の上段の対象開口部７１ｔは、対象開口部７１ｔの外縁部にはんだ８０が付着している。この状態を放置すると、はんだ８０のにじみ、ブリッジなどが生じ易くなる。

逆に、下段の対象開口部７１ｔは、対象開口部７１ｔの内縁部にはんだ８０が付着している。この状態を放置すると、はんだ８０の欠け、かすれなどが生じ易くなる。このように、印刷品質管理システム５０は、例えば、作業者に対象開口部７１ｔの状態を確認させることにより、作業者に注意喚起を行い、作業者に対処（例えば、対象開口部７１ｔのクリーニングなど）を促すことができる。

表示部５２は、対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０と共に、マスク７０における対象開口部７１ｔの位置を特定可能な位置関連情報を表示装置４１に表示させると良い。これにより、作業者は、対象開口部７１ｔの位置を容易に知得することができ、対処が容易になる。位置関連情報は、マスク７０における対象開口部７１ｔの位置を特定可能な情報であれば良く、限定されない。例えば、回路を構成する素子（部品）を特定する記号および番号である回路符号、座標（Ｘ軸方向の座標およびＹ軸方向の座標）などは、位置関連情報に含まれる。図６に示す例では、表示部５２は、例えば、表示領域ＢＰ６１に回路符号を表示させることができる。

また、撮像部５１は、対象開口部７１ｔと対向する位置に撮像装置ＦＣ１を保持させることもできる。これにより、作業者は、撮像装置ＦＣ１の位置に基づいて、対象開口部７１ｔの位置を容易に知得することができ、対処が容易になる。なお、この場合、表示部５２は、図６に示す画面において、対象開口部７１ｔと対向する位置に撮像装置ＦＣ１が保持されていることを案内すると良い。

さらに、表示部５２は、模式的に表されるマスク７０および対象開口部７１ｔを表示装置４１に表示させて、マスク７０における対象開口部７１ｔの位置を案内することもできる。これにより、作業者は、対象開口部７１ｔの位置を容易に知得することができ、対処が容易になる。マスク７０および対象開口部７１ｔの表示方法は、限定されない。図６に示すように、例えば、表示部５２は、マスク７０における複数の開口部７１の配置イメージ図ＩＭ０を表示装置４１に表示させて、対象開口部７１ｔの表示色を他の開口部７１と異ならせることができる。同図では、図示の便宜上、対象開口部７１ｔが黒色で図示されているが、対象開口部７１ｔの表示色は、例えば、赤色、黄色などの注意喚起を促すものが好ましい。

また、表示部５２は、マスク７０における複数の開口部７１の配置イメージ図ＩＭ０を表示装置４１に表示させて、対象開口部７１ｔを点滅表示させることもできる。さらに、表示部５２は、マスク７０における複数の開口部７１の配置イメージ図ＩＭ０を表示装置４１に表示させて、対象開口部７１ｔの近傍にアイコンを表示させることもできる。アイコンは、例えば、感嘆符などの注意喚起を促す形態が好ましい。

また、表示部５２は、対象開口部７１ｔが複数存在するときに、作業者によって選択された対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示装置４１に表示させることもできる。これにより、作業者は、所望の対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を容易に確認することができる。図６に示す例では、例えば、作業者が操作部ＢＰ７１を操作することにより、複数の対象開口部７１ｔのうちの一部の対象開口部７１ｔが撮像された画像ＰＴ０が所定の順序で表示される。なお、例えば、作業者が既述した位置関連情報などを入力することにより、表示部５２は、特定の対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示装置４１に直接表示させることもできる。

表示部５２は、印刷状態の不良が生じたときに実行すべき対処処理を作業者が選択可能に表示装置４１に表示させることもできる（図４に示すステップＳ１６）。これにより、作業者は、対処処理が表示されない場合と比べて、対処が容易になる。対処処理は、限定されない。例えば、対処処理には、対象開口部７１ｔのクリーニングおよびはんだ８０の供給のうちの少なくとも一つが含まれる。

図６に示す例では、例えば、作業者が操作部ＢＰ８１を操作することにより、複数の対処処理の中から少なくとも一つの対処処理を選択することができる。具体的には、対象開口部７１ｔの手動クリーニング、手動クリーニングの際のマスク７０のアンクランプ、対象開口部７１ｔの自動クリーニング、はんだ８０の手動供給、はんだ８０の自動供給などの対処処理が選択可能になっている。なお、作業者は、クリーニング方法を指定することもできる。クリーニング方法には、例えば、乾式、湿式（例えば、アルコールなどを塗布して清掃する方法）、乾式および湿式の併用、吸引式（対象開口部７１ｔに残留する残留物を吸引して清掃する方法）などが含まれる。

また、対処処理に対象開口部７１ｔのクリーニングが含まれる場合、図６に示すように、表示部５２は、クリーニング前の対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０と対比可能にクリーニング後の対象開口部７１ｔの画像ＰＴ１を表示装置４１に表示させることもできる。これにより、例えば、作業者は、対象開口部７１ｔのクリーニングの効果を容易に確認することができる。また、印刷品質管理システム５０は、対象開口部７１ｔのクリーニングが不十分な場合に、クリーニングのやり直しを作業者に促すこともできる。

１－３－３．事前処理部５３
事前処理部５３は、印刷検査機ＷＭ２によって測定された印刷状態の測定結果が、印刷検査機ＷＭ２が印刷状態の不良を判断する際の検査閾値よりも厳しく設定される予備閾値を超えたときに、印刷状態の不良が生じたときに実行すべき対処処理を事前に実行させる（図４に示すステップＳ１１およびステップＳ１２）。

印刷検査機ＷＭ２によって測定される測定内容および対処処理は、限定されない。例えば、印刷状態の測定結果には、基板９０に印刷されたはんだ８０の目標印刷位置に対する偏差、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積および体積のうちの少なくとも一つが含まれる。また、対処処理には、印刷状態の測定結果が予備閾値を超えた開口部７１のクリーニングおよびはんだ８０の供給のうちの少なくとも一つが含まれる。

図８は、設定画面の一例を示している。作業者は、操作領域ＢＰ５２を操作することにより、予備閾値と、パッド数および基板数と、その後の処理を設定することができる。例えば、図８の最上段の設定は、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積が目標値（１００％）に対して割合Ｓ１（％）以上になった状態が、パッド数ＰＤ５および基板数ＢＤ５、連続して生じたときに、処理５で示す対処処理を実行することを示している。割合Ｓ１は、予備閾値に相当し、この場合、割合Ｓ１は、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積の検査閾値の上限値（割合）よりも小さく設定される。

上から二段目の設定は、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積が目標値（１００％）に対して割合Ｓ２（％）以下になった状態が、パッド数ＰＤ６および基板数ＢＤ６、連続して生じたときに、処理６で示す対処処理を実行することを示している。割合Ｓ２は、予備閾値に相当し、この場合、割合Ｓ２は、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積の検査閾値の下限値（割合）よりも大きく設定される。

上から三段目の設定および四段目の設定は、基板９０に印刷されたはんだ８０の体積についての条件および処理の設定であり、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積と同様にして、設定されている。上述したことは、他の印刷状態の測定内容（例えば、基板９０に印刷されたはんだ８０の目標印刷位置に対する偏差）についても同様に言える。

なお、作業者は、任意のパッド数および基板数を入力することができる。また、処理５～処理８で入力可能な処理（対処処理）には、印刷状態の測定結果が予備閾値を超えた開口部７１の手動クリーニング、手動クリーニングの際のマスク７０のアンクランプ、当該開口部７１の自動クリーニング、はんだ８０の手動供給、はんだ８０の自動供給などが含まれる。処理５～処理８で入力可能な処理（対処処理）には、印刷機ＷＭ１の停止、当該開口部７１の画像の表示などを含めることもできる。

例えば、処理５および処理６で示す処理が、印刷状態の測定結果が予備閾値を超えた開口部７１の自動クリーニングの場合を想定する。この場合、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積について、印刷検査機ＷＭ２によって不良とは判断されないが、検査閾値よりも厳しく設定される予備閾値を超えた状態が、所定パッド数および所定基板数、連続して生じると、事前処理部５３は、印刷機ＷＭ１に自動クリーニングを実施させる。

このように、本実施形態の印刷品質管理システム５０は、事前処理部５３を備えているので、印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断される前に対処処理を実行することができる。よって、印刷品質管理システム５０は、事前の対処処理を行わない場合と比べて、印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断される不良発生件数を低減することができる。なお、事前の対処処理が不十分な場合は、印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断され、既述した撮像部５１および表示部５２による制御が行われる。

１－４．第二の印刷品質管理システム５００の構成例
既述した実施形態の印刷品質管理システム５０（以下、第一の印刷品質管理システム５０という。）では、印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断された後に、撮像部５１が撮像装置ＦＣ１に対象開口部７１ｔを撮像させて、表示部５２が表示装置４１に対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示させる。

しかしながら、印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断される前に、印刷状態の不良が生じたときに実行すべき対処処理を事前に実施して、印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断される不良発生件数を低減したいという要請がある。そこで、第二の印刷品質管理システム５００は、必須の構成要素として、既述した事前処理部５３を備える。これにより、第二の印刷品質管理システム５００は、印刷検査機ＷＭ２によって印刷状態の不良が判断される前に、対処処理を実行することができ、対処処理を行わない場合と比べて、不良発生件数を低減することができる。

なお、第二の印刷品質管理システム５００においても、印刷検査機ＷＭ２によって測定される測定内容および対処処理は、限定されない。例えば、印刷状態の測定結果には、基板９０に印刷されたはんだ８０の目標印刷位置に対する偏差、基板９０に印刷されたはんだ８０の面積および体積のうちの少なくとも一つが含まれる。また、対処処理には、印刷状態の測定結果が予備閾値を超えた開口部７１のクリーニングおよびはんだ８０の供給のうちの少なくとも一つが含まれる。また、第二の印刷品質管理システム５００は、既述した撮像部５１および表示部５２を備えることもできる。撮像部５１および表示部５２は、既述したいずれの形態であっても良い。本明細書では、重複する説明が省略されている。

２．印刷品質管理方法
第一の印刷品質管理システム５０および第二の印刷品質管理システム５００について既述されていることは、印刷品質管理方法についても同様に言える。具体的には、第一の印刷品質管理方法は、撮像工程と、表示工程とを備える。撮像工程は、撮像部５１が行う制御に相当する。表示工程は、表示部５２が行う制御に相当する。第一の印刷品質管理方法は、事前処理工程を備えることもできる。事前処理工程は、事前処理部５３が行う制御に相当する。

第二の印刷品質管理方法は、事前処理工程を備える。事前処理工程は、事前処理部５３が行う制御に相当する。第二の印刷品質管理方法は、撮像工程と、表示工程とを備えることもできる。撮像工程は、撮像部５１が行う制御に相当する。表示工程は、表示部５２が行う制御に相当する。

３．実施形態の効果の一例
印刷品質管理システム５０によれば、撮像部５１および表示部５２を備える。これにより、印刷品質管理システム５０は、撮像装置ＦＣ１によって撮像された対象開口部７１ｔの画像ＰＴ０を表示装置４１に表示させることができる。よって、例えば、作業者は、対象開口部７１ｔの状態を確認することができる。印刷品質管理システム５０について上述されていることは、印刷品質管理方法についても同様に言える。

３４：スキージ、４１：表示装置、５０：印刷品質管理システム、
５１：撮像部、５２：表示部、５３：事前処理部、７０：マスク、
７１：開口部、７１ｔ：対象開口部、８０：はんだ、９０：基板、
ＦＣ１：撮像装置、ＰＴ０：画像、ＷＭ１：印刷機、ＷＭ２：印刷検査機。

Claims (15)

1. スキージがマスクを摺動して前記マスクの開口部を介して基板にはんだを印刷する印刷機によって印刷された前記はんだの印刷状態を検査する印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断したときに、前記印刷状態の不良が判断された前記開口部である対象開口部を撮像装置に撮像させる撮像部と、
   前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を表示装置に表示させる表示部と、
   を備え、
   前記撮像部は、前記対象開口部と対向する位置に前記撮像装置を保持させ、
   前記表示部は、前記対象開口部と対向する位置に前記撮像装置が保持されていることを案内する印刷品質管理システム。
2. スキージがマスクを摺動して前記マスクの開口部を介して基板にはんだを印刷する印刷機によって印刷された前記はんだの印刷状態を検査する印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断したときに、前記印刷状態の不良が判断された前記開口部である対象開口部を撮像装置に撮像させる撮像部と、
   前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を表示装置に表示させる表示部と、
   前記印刷状態の不良の内容と、当該不良が生じたパッド数および基板数を設定する入力装置と、
   を備え、
   前記表示部は、前記印刷検査機によって判断された前記印刷状態の不良の内容が、前記入力装置によって設定された前記パッド数および前記基板数、連続して生じたときに、前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を前記表示装置に表示させる印刷品質管理システム。
3. 前記表示部は、前記印刷状態の不良が生じたときに実行すべき対処処理を作業者が選択可能に前記表示装置に表示させる請求項１または請求項２に記載の印刷品質管理システム。
4. 前記対処処理には、前記対象開口部のクリーニングおよび前記はんだの供給のうちの少なくとも一つが含まれる請求項３に記載の印刷品質管理システム。
5. スキージがマスクを摺動して前記マスクの開口部を介して基板にはんだを印刷する印刷機によって印刷された前記はんだの印刷状態を検査する印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断したときに、前記印刷状態の不良が判断された前記開口部である対象開口部を撮像装置に撮像させる撮像部と、
   前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を表示装置に表示させる表示部と、
   を備え、
   前記表示部は、前記印刷状態の不良が生じたときに実行すべき処理であって前記対象開口部のクリーニングを含む対処処理を作業者が選択可能に前記表示装置に表示させ、且つ、クリーニング前の前記対象開口部の画像と対比可能にクリーニング後の前記対象開口部の画像を前記表示装置に表示させる印刷品質管理システム。
6. 前記対処処理には、前記はんだの供給が含まれる請求項５に記載の印刷品質管理システム。
7. 前記撮像部は、前記対象開口部と対向する位置に前記撮像装置を保持させる請求項２、請求項２に従属する請求項３、請求項２に従属する請求項４、請求項５、請求項６のいずれか一項に記載の印刷品質管理システム。
8. 前記表示部は、前記対象開口部の画像と共に、前記マスクにおける前記対象開口部の位置を特定可能な位置関連情報を前記表示装置に表示させる請求項１～請求項７のいずれか一項に記載の印刷品質管理システム。
9. 前記表示部は、模式的に表される前記マスクおよび前記対象開口部を前記表示装置に表示させて、前記マスクにおける前記対象開口部の位置を案内する請求項１～請求項８のいずれか一項に記載の印刷品質管理システム。
10. 前記表示部は、前記対象開口部が複数存在するときに、作業者によって選択された前記対象開口部の画像を前記表示装置に表示させる請求項１～請求項９のいずれか一項に記載の印刷品質管理システム。
11. 前記印刷検査機によって測定された前記印刷状態の測定結果が、前記印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断する際の検査閾値よりも厳しく設定される予備閾値を超えたときに、前記印刷状態の不良が生じたときに実行すべき対処処理を事前に実行させる事前処理部を備える請求項１～請求項１０のいずれか一項に記載の印刷品質管理システム。
12. 前記印刷状態の前記測定結果には、前記基板に印刷された前記はんだの目標印刷位置に対する偏差、前記基板に印刷された前記はんだの面積および体積のうちの少なくとも一つが含まれる請求項１１に記載の印刷品質管理システム。
13. スキージがマスクを摺動して前記マスクの開口部を介して基板にはんだを印刷する印刷機によって印刷された前記はんだの印刷状態を検査する印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断したときに、前記印刷状態の不良が判断された前記開口部である対象開口部を撮像装置に撮像させる撮像工程と、
    前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を表示装置に表示させる表示工程と、
    を備え、
    前記撮像工程は、前記対象開口部と対向する位置に前記撮像装置を保持させ、
    前記表示工程は、前記対象開口部と対向する位置に前記撮像装置が保持されていることを案内する印刷品質管理方法。
14. スキージがマスクを摺動して前記マスクの開口部を介して基板にはんだを印刷する印刷機によって印刷された前記はんだの印刷状態を検査する印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断したときに、前記印刷状態の不良が判断された前記開口部である対象開口部を撮像装置に撮像させる撮像工程と、
    前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を表示装置に表示させる表示工程と、
    前記印刷状態の不良の内容と、当該不良が生じたパッド数および基板数を設定する入力工程と、
    を備え、
    前記表示工程は、前記印刷検査機によって判断された前記印刷状態の不良の内容が、前記入力工程によって設定された前記パッド数および前記基板数、連続して生じたときに、前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を前記表示装置に表示させる印刷品質管理方法。
15. スキージがマスクを摺動して前記マスクの開口部を介して基板にはんだを印刷する印刷機によって印刷された前記はんだの印刷状態を検査する印刷検査機が前記印刷状態の不良を判断したときに、前記印刷状態の不良が判断された前記開口部である対象開口部を撮像装置に撮像させる撮像工程と、
    前記撮像装置によって撮像された前記対象開口部の画像を表示装置に表示させる表示工程と、
    を備え、
    前記表示工程は、前記印刷状態の不良が生じたときに実行すべき処理であって前記対象開口部のクリーニングを含む対処処理を作業者が選択可能に前記表示装置に表示させ、且つ、クリーニング前の前記対象開口部の画像と対比可能にクリーニング後の前記対象開口部の画像を前記表示装置に表示させる印刷品質管理方法。

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