JPS61234536A - 樹脂封止金型 - Google Patents
樹脂封止金型Info
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- JPS61234536A JPS61234536A JP7718385A JP7718385A JPS61234536A JP S61234536 A JPS61234536 A JP S61234536A JP 7718385 A JP7718385 A JP 7718385A JP 7718385 A JP7718385 A JP 7718385A JP S61234536 A JPS61234536 A JP S61234536A
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- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
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-
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、樹脂封止型半導体装置の製造装置に関し、特
に樹脂封止金型に関するものである。
に樹脂封止金型に関するものである。
樹脂封止型半導体装置は半導体素子7をリードフレーム
1に搭載し、半導体素子7とリードフレーム1とをワイ
ヤーで接続した後に、第4図(a)。
1に搭載し、半導体素子7とリードフレーム1とをワイ
ヤーで接続した後に、第4図(a)。
(b)に示す様な上下の金型2a 、2bを用いて樹脂
6を正大成形し、樹脂硬化後、リードフレーム1を金型
2a、2bよシ取シ出し、外部リードに金属メッキ等の
外装処理を行うのが一般的である。
6を正大成形し、樹脂硬化後、リードフレーム1を金型
2a、2bよシ取シ出し、外部リードに金属メッキ等の
外装処理を行うのが一般的である。
この樹脂封止工程に使用される樹脂は、半導体装置の耐
湿性を向上するために、非常に密度が高くかつ粒子が細
かいものが使用される。このため、第4図(b)に示す
様に金型2a、2bとリードフレーム1の極微かな隙間
に樹脂が入り込み、薄い板状の樹脂3を形成する。これ
は成形後、金型を開いた後に一部はリードフレーム上、
残りは金型表面に付着する。この付着樹脂は封止作業を
くり返す毎に積み重なって厚く広いものとなるから、こ
の樹脂3はリードフレーム1を押しつぶして変形させた
り、金型からリードフレームが離脱する時の妨げとなる
。このため、一定の期間毎に金型掃除用の樹脂を用いて
、型の掃除をしなければならない。掃除の方法としては
、掃除用の特殊な樹脂と素子の搭載されていないリード
フレームとを用いて通常通りの封止を行い、金型表面に
付着した樹脂を掃除用の樹脂に付着させ、掃除用の樹脂
と−共に金型より除去するのが一般的である。
湿性を向上するために、非常に密度が高くかつ粒子が細
かいものが使用される。このため、第4図(b)に示す
様に金型2a、2bとリードフレーム1の極微かな隙間
に樹脂が入り込み、薄い板状の樹脂3を形成する。これ
は成形後、金型を開いた後に一部はリードフレーム上、
残りは金型表面に付着する。この付着樹脂は封止作業を
くり返す毎に積み重なって厚く広いものとなるから、こ
の樹脂3はリードフレーム1を押しつぶして変形させた
り、金型からリードフレームが離脱する時の妨げとなる
。このため、一定の期間毎に金型掃除用の樹脂を用いて
、型の掃除をしなければならない。掃除の方法としては
、掃除用の特殊な樹脂と素子の搭載されていないリード
フレームとを用いて通常通りの封止を行い、金型表面に
付着した樹脂を掃除用の樹脂に付着させ、掃除用の樹脂
と−共に金型より除去するのが一般的である。
しかしこの方法を用いると、通常の封入作業と同じ作業
をするために、第4図(b)で示したリードフレームと
金型の隙間は極めて小さく、同図に示される薄い板状の
付着・樹脂3は極微かずつしか除去されない。又、この
掃除の作業に於いてもリードフレームを使用しておシ、
そのリードフレームの金額も高く、半導体装置のコスト
高となる原因にもなっていた。
をするために、第4図(b)で示したリードフレームと
金型の隙間は極めて小さく、同図に示される薄い板状の
付着・樹脂3は極微かずつしか除去されない。又、この
掃除の作業に於いてもリードフレームを使用しておシ、
そのリードフレームの金額も高く、半導体装置のコスト
高となる原因にもなっていた。
本発明は上記欠点を除去した樹脂封止型半導体装置の封
止金型を提供するものである。
止金型を提供するものである。
本発明は金型のリードフレームを押さえる部分の近傍に
樹脂封じ込め用突起部を出没可能に設けたことを特徴と
する樹脂封止金型である。
樹脂封じ込め用突起部を出没可能に設けたことを特徴と
する樹脂封止金型である。
以下、本発明の実施例を図によって説明する。
第1図は本発明の第1の実施例を示す部分断面図である
。本実施例は上下の金型2 a 、 2’感のリードフ
レームを押さえる部分9の外側にそれぞれに樹脂封じ込
め用突起部4.4を相手の型に向けてバネ8にて付勢し
て出没可能に設けたものである。
。本実施例は上下の金型2 a 、 2’感のリードフ
レームを押さえる部分9の外側にそれぞれに樹脂封じ込
め用突起部4.4を相手の型に向けてバネ8にて付勢し
て出没可能に設けたものである。
第2図は本発明の第2の実施例を示す部分断面図である
。本実施例は第1図と同様な樹脂封じ込め用突起部4を
上部の金型2aにのみ設け、一方下部の金型2/aには
この突起部4を受ける凸部5を設けたものである。
。本実施例は第1図と同様な樹脂封じ込め用突起部4を
上部の金型2aにのみ設け、一方下部の金型2/aには
この突起部4を受ける凸部5を設けたものである。
実施例において、第3図(a)に示すように上下の金型
2a、2’a内にそれぞれ突起部4,4を没しその先端
をリードフレーム1に当接させた状態で通常の封止作業
を行う。金型掃除の時には、同図(b)に示す様にリー
ドフレームが上下の金型2a。
2a、2’a内にそれぞれ突起部4,4を没しその先端
をリードフレーム1に当接させた状態で通常の封止作業
を行う。金型掃除の時には、同図(b)に示す様にリー
ドフレームが上下の金型2a。
2/a間に存在しないため、突起部4,4はバネ作用を
受けて突出し、それぞれ相手型2a又は2/ aの端面
に当接し、2つの突起部4,4にて、上下の金型2a、
2′aのリードフレームを押える部分9を含みキャビテ
ィー2b、2’bに連通した凹部9a、9aが画成され
、該凹部9aは突起部4゜4にて外部と遮断される。こ
れによシ、清掃用樹脂5はキャビテ、f−2b、2’b
、凹部9a、9・aに流れ込むが、2つの突起部4,4
にて外部に漏出するのが阻止されるから、従来のように
金型の清掃時に上下の金型2a、2’a間に、樹脂漏洩
阻止用リードフレームを挾み込む必要がなくなる。
受けて突出し、それぞれ相手型2a又は2/ aの端面
に当接し、2つの突起部4,4にて、上下の金型2a、
2′aのリードフレームを押える部分9を含みキャビテ
ィー2b、2’bに連通した凹部9a、9aが画成され
、該凹部9aは突起部4゜4にて外部と遮断される。こ
れによシ、清掃用樹脂5はキャビテ、f−2b、2’b
、凹部9a、9・aに流れ込むが、2つの突起部4,4
にて外部に漏出するのが阻止されるから、従来のように
金型の清掃時に上下の金型2a、2’a間に、樹脂漏洩
阻止用リードフレームを挾み込む必要がなくなる。
又付着樹脂の除去が難しかった金型のリードフレームを
押さえる部分9にも掃除用樹脂5が十分に供給され、付
着樹脂の除去が短時間にかつ確実に行なえるようになる
。さらに通常の封止作業時に、リードフレームを入れ忘
れて封止した場合でも、樹脂が金型の全面に流れ出すこ
とがないため、型の掃除が容易に行えるものである。
押さえる部分9にも掃除用樹脂5が十分に供給され、付
着樹脂の除去が短時間にかつ確実に行なえるようになる
。さらに通常の封止作業時に、リードフレームを入れ忘
れて封止した場合でも、樹脂が金型の全面に流れ出すこ
とがないため、型の掃除が容易に行えるものである。
また、第1図の様に、金型の上下の金型2a。
2’aに突起部4,4をそれぞれ設けた場合には、突起
部4,4はリードフレームを上下から均等に押さえるた
めに、内部リードに振動の発生がなく、ワイヤー切れ等
の可能性がある大型の半導体装置に適する。
部4,4はリードフレームを上下から均等に押さえるた
めに、内部リードに振動の発生がなく、ワイヤー切れ等
の可能性がある大型の半導体装置に適する。
また、・第2図の様に金型の一方のみに突起部を設けた
場合には、金型がより安価にでき、かつ部品数が少なく
なるため、故障の発生率を低く抑えることができるもの
である。
場合には、金型がより安価にでき、かつ部品数が少なく
なるため、故障の発生率を低く抑えることができるもの
である。
以上に説明したように本発明は突起部を出没可能として
通常の封止作業時には没入させておくことによりこれが
支障とならず、−刃金型の清掃時には突起部を突出させ
て清掃用樹脂の漏洩を防止するため、リードフレームを
用いる必要がなく、しかもリードフレームを押さえる部
分に清掃用樹脂を充填することができ、金型の付着樹脂
を短時間でかつ確実に除去することができる。金型の付
着樹脂を除去できることからして、リードフレームを変
形させることがなく、半導体装置の品質を向上できる。
通常の封止作業時には没入させておくことによりこれが
支障とならず、−刃金型の清掃時には突起部を突出させ
て清掃用樹脂の漏洩を防止するため、リードフレームを
用いる必要がなく、しかもリードフレームを押さえる部
分に清掃用樹脂を充填することができ、金型の付着樹脂
を短時間でかつ確実に除去することができる。金型の付
着樹脂を除去できることからして、リードフレームを変
形させることがなく、半導体装置の品質を向上できる。
さらに、リードフレームを装填せずに通常の封止作業を
行ったとしても、樹脂が漏洩せず、型の清掃が容易に行
うことができる効果を有するものである。
行ったとしても、樹脂が漏洩せず、型の清掃が容易に行
うことができる効果を有するものである。
第1図は本発明の第1の実施例を示す部分断面図、第2
図は本発明の第2の実施例を示す部分断面図、第3図は
本発明の第1の実施例の使用例を示す部分断面図、第4
図は従来技術を説明する部分断面図であC1(a)は全
体図、(b)は第4図(a)のA部分の拡大図である。 1・・・リードフレーム、2a、2’a・・・金型、3
・・・薄い板状の樹脂、4・・・樹脂封じ込め用突起部
。 第1図 簿3図
図は本発明の第2の実施例を示す部分断面図、第3図は
本発明の第1の実施例の使用例を示す部分断面図、第4
図は従来技術を説明する部分断面図であC1(a)は全
体図、(b)は第4図(a)のA部分の拡大図である。 1・・・リードフレーム、2a、2’a・・・金型、3
・・・薄い板状の樹脂、4・・・樹脂封じ込め用突起部
。 第1図 簿3図
Claims (1)
- (1)樹脂封止型半導体装置の樹脂封止金型に於いて、
金型のリードフレームを押さえる部位の近傍に樹脂封じ
込め用突起部を出没可能に設けたことを特徴とする樹脂
封止金型。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7718385A JPS61234536A (ja) | 1985-04-11 | 1985-04-11 | 樹脂封止金型 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7718385A JPS61234536A (ja) | 1985-04-11 | 1985-04-11 | 樹脂封止金型 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61234536A true JPS61234536A (ja) | 1986-10-18 |
Family
ID=13626697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7718385A Pending JPS61234536A (ja) | 1985-04-11 | 1985-04-11 | 樹脂封止金型 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61234536A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1985
- 1985-04-11 JP JP7718385A patent/JPS61234536A/ja active Pending
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