JPS5895852A - リ−ドフレ−ムおよびその製造方法 - Google Patents
リ−ドフレ−ムおよびその製造方法Info
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- JPS5895852A JPS5895852A JP56194026A JP19402681A JPS5895852A JP S5895852 A JPS5895852 A JP S5895852A JP 56194026 A JP56194026 A JP 56194026A JP 19402681 A JP19402681 A JP 19402681A JP S5895852 A JPS5895852 A JP S5895852A
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 17
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、樹脂封止パッケージを用いた半導体装置のリ
ードを引き出すためのリードフレームのインナーリード
の表面形状ならびにその表面形状の加工法に関するもの
である。
ードを引き出すためのリードフレームのインナーリード
の表面形状ならびにその表面形状の加工法に関するもの
である。
樹脂で封止された半導体装置の製品寿命を左右する原因
の一つとして、パッケージ外部からの水の浸入がある。
の一つとして、パッケージ外部からの水の浸入がある。
この水の侵入経路として次の2つがある。
図面を用いて説明すれば、1つは第1図の半導体装置断
面図において樹脂1は本来水分を通すものであり、この
樹脂1を通しての水分の浸入がある。もう1つは、第2
図で樹脂1とインナーリード2との界面を拡大断面図で
示すように、樹脂1とインナーリード2との界面におい
て、樹脂1とインナーリード3の素材金属との熱膨張係
数の違いや樹脂1の中に含まれる離型剤等の影響ですき
ま3が発生し、そのすきま3よりの水の侵入である。な
お、第1図中、4は半導体素子部pはリード線である。
面図において樹脂1は本来水分を通すものであり、この
樹脂1を通しての水分の浸入がある。もう1つは、第2
図で樹脂1とインナーリード2との界面を拡大断面図で
示すように、樹脂1とインナーリード2との界面におい
て、樹脂1とインナーリード3の素材金属との熱膨張係
数の違いや樹脂1の中に含まれる離型剤等の影響ですき
ま3が発生し、そのすきま3よりの水の侵入である。な
お、第1図中、4は半導体素子部pはリード線である。
本発明は樹脂とインナーリードとのすきまによるパッケ
ージ内への水の侵入を効果的に防止し、これにより、樹
脂封止パッケージを用いた半導体装置の信頼性を向上さ
せることを目的としてなされたものである。
ージ内への水の侵入を効果的に防止し、これにより、樹
脂封止パッケージを用いた半導体装置の信頼性を向上さ
せることを目的としてなされたものである。
本発明について、図面を参照して説明する。第3図は本
発明実施例のリードフレームの平面図であり、インナー
リード2の表面は細かいおうとつ(凹凸)を有している
。そして、このリードフレームを用いて樹脂封止された
半導体装置のインナーリード部の断面が第4図である。
発明実施例のリードフレームの平面図であり、インナー
リード2の表面は細かいおうとつ(凹凸)を有している
。そして、このリードフレームを用いて樹脂封止された
半導体装置のインナーリード部の断面が第4図である。
第4図のインナーリード2の表面には細かいおうとつ(
凹凸)があり、°樹脂1との接する表面積が広くなり、
インナーリード2と樹脂1との密着はよくなりすきまが
できにくい。とぐに、第6図に示すようにインナーリー
ド2の表面の細かい凹凸部の断面構造が開口部よりその
内部もしくは底部において径大となした構造にすれば、
構造的にインナーリード2と樹脂1がいっそう離れない
ようになり、はとんどすきまは生じない。第4図におい
て21はくぼみ、22は突起である。また、第4図、第
6図に示したインナーリード構造においては、万一すき
まが生じた場合でも、水はリードフレーム表面の細かい
凹凸にそってパッケージ内部へ侵入することになるので
、第2図に示した表面が平らな従てその経路長ははるか
に大となり、その侵入性を抑えることができ°製品の寿
命を長くすることができる0 次に、第6図に示した断面構造を持つ細かい凹凸の加工
法について脱晶する。第6図において(−)に示す加工
前のインナーリード2を細かい凹凸のついた金型でプレ
スする。この時の形状はインナーリード2の表面に所定
のくぼみ21と共に、端部にパリと称される隆起部23
が発生する。(b)次に、平らな金型でこのインナーリ
ード2をプレスすると上記隆起部が前記〈ぼみ21に押
し込まれ面構造でみると、そのくぼみ21が開口部でせ
まく、内部もしくは底部で広い構造を持つ細かい凹への
ついたインナーリードができる(C)。この図で、突起
23は、上記隆起部(<!J )が平らな金型でプレス
され横に曲がってできたものであるO本発明のリードフ
レーム構造によれば、以上説明したように樹脂封止パッ
ケージ内部への水の浸Δ・を有効、かつ、顕著に抑える
ことができ、半導6 ・、 ・ 体装置の信頼性を高める効果がある。
凹凸)があり、°樹脂1との接する表面積が広くなり、
インナーリード2と樹脂1との密着はよくなりすきまが
できにくい。とぐに、第6図に示すようにインナーリー
ド2の表面の細かい凹凸部の断面構造が開口部よりその
内部もしくは底部において径大となした構造にすれば、
構造的にインナーリード2と樹脂1がいっそう離れない
ようになり、はとんどすきまは生じない。第4図におい
て21はくぼみ、22は突起である。また、第4図、第
6図に示したインナーリード構造においては、万一すき
まが生じた場合でも、水はリードフレーム表面の細かい
凹凸にそってパッケージ内部へ侵入することになるので
、第2図に示した表面が平らな従てその経路長ははるか
に大となり、その侵入性を抑えることができ°製品の寿
命を長くすることができる0 次に、第6図に示した断面構造を持つ細かい凹凸の加工
法について脱晶する。第6図において(−)に示す加工
前のインナーリード2を細かい凹凸のついた金型でプレ
スする。この時の形状はインナーリード2の表面に所定
のくぼみ21と共に、端部にパリと称される隆起部23
が発生する。(b)次に、平らな金型でこのインナーリ
ード2をプレスすると上記隆起部が前記〈ぼみ21に押
し込まれ面構造でみると、そのくぼみ21が開口部でせ
まく、内部もしくは底部で広い構造を持つ細かい凹への
ついたインナーリードができる(C)。この図で、突起
23は、上記隆起部(<!J )が平らな金型でプレス
され横に曲がってできたものであるO本発明のリードフ
レーム構造によれば、以上説明したように樹脂封止パッ
ケージ内部への水の浸Δ・を有効、かつ、顕著に抑える
ことができ、半導6 ・、 ・ 体装置の信頼性を高める効果がある。
第1図は樹脂封止パンケージをそなえた半導体装置断面
図、第2図は第1図装置の要部拡大断面図、第3図は本
発明実施例リードフレームの平面図、第4図は第3図リ
ードフレームを用いて形成した装置の要部拡大断面図、
第6図は別の実施例リードフ・レームを用いた装置の要
部拡大断面図、第6図(a)〜(C)はインナーリード
表面加工工程における断面図である。 1・・・・−・樹脂、2・・・・・・インナーリード、
4・・・・・半導体素子、21・・・・・・ くぼみ、
22・・・・・・突起、23・・・・・・隆起部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 第3図 第4図 第5図 2f 第6図
図、第2図は第1図装置の要部拡大断面図、第3図は本
発明実施例リードフレームの平面図、第4図は第3図リ
ードフレームを用いて形成した装置の要部拡大断面図、
第6図は別の実施例リードフ・レームを用いた装置の要
部拡大断面図、第6図(a)〜(C)はインナーリード
表面加工工程における断面図である。 1・・・・−・樹脂、2・・・・・・インナーリード、
4・・・・・半導体素子、21・・・・・・ くぼみ、
22・・・・・・突起、23・・・・・・隆起部。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図 第3図 第4図 第5図 2f 第6図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (リ インナーリードの表面におうとつを有することを
特徴とするリードフレーム。 (2)おうとつ部所面構造で、そのくぼみが、開口部よ
り内°部もしくは底部で径大であることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載のリードフレーム0 (3)素材金属の所定部にプレスにより、くぼみおよび
隆起部を形成する工゛程、さらに平らな金型でプレスし
て、前記の隆起部を平坦にする工程をそなえたことを特
徴とするリードフレームの製造方法。 。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56194026A JPS5895852A (ja) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | リ−ドフレ−ムおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56194026A JPS5895852A (ja) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | リ−ドフレ−ムおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5895852A true JPS5895852A (ja) | 1983-06-07 |
Family
ID=16317703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56194026A Pending JPS5895852A (ja) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | リ−ドフレ−ムおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5895852A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0102988A1 (en) * | 1982-03-08 | 1984-03-21 | Motorola Inc | CONDUCTOR ASSEMBLY WITH INTEGRATED CIRCUITS. |
JPS60130851A (ja) * | 1983-12-19 | 1985-07-12 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂封止型半導体装置 |
JPS63239967A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-05 | Toshiba Corp | 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法 |
JPH033294A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-09 | Sankyo Kasei Co Ltd | 電子部品用インサート部材 |
JPH03171659A (ja) * | 1989-11-29 | 1991-07-25 | Seiko Epson Corp | 半導体装置 |
JP2010283252A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Denso Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
DE102011016566A1 (de) * | 2011-03-07 | 2012-09-13 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Leiterrahmen für optoelektronische Bauelemente und Verfahren zur Herstellung optoelektronischer Bauelemente |
DE102014112706A1 (de) * | 2014-09-03 | 2016-03-03 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Elektronisches Bauelement und Herstellung eines elektronischen Bauelements |
WO2017036854A1 (de) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronischer halbleiterchip |
WO2017159954A1 (ko) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 해성디에스 주식회사 | 반도체 패키지 기판 및 그 제조 방법 |
-
1981
- 1981-12-02 JP JP56194026A patent/JPS5895852A/ja active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0102988A1 (en) * | 1982-03-08 | 1984-03-21 | Motorola Inc | CONDUCTOR ASSEMBLY WITH INTEGRATED CIRCUITS. |
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US9130136B2 (en) | 2011-03-07 | 2015-09-08 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Leadframe for optoelectronic components and method for producing optoelectronic components |
DE102014112706A1 (de) * | 2014-09-03 | 2016-03-03 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Elektronisches Bauelement und Herstellung eines elektronischen Bauelements |
WO2017036854A1 (de) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronischer halbleiterchip |
WO2017159954A1 (ko) * | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 해성디에스 주식회사 | 반도체 패키지 기판 및 그 제조 방법 |
CN108701660A (zh) * | 2016-03-16 | 2018-10-23 | 海成帝爱斯株式会社 | 半导体封装衬底及其制造方法 |
US10643932B2 (en) | 2016-03-16 | 2020-05-05 | Haesung Ds Co., Ltd. | Semiconductor package substrate and method for manufacturing same |
CN108701660B (zh) * | 2016-03-16 | 2022-03-01 | 海成帝爱斯株式会社 | 半导体封装衬底及其制造方法 |
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