JPS61230340A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPS61230340A
JPS61230340A JP7217185A JP7217185A JPS61230340A JP S61230340 A JPS61230340 A JP S61230340A JP 7217185 A JP7217185 A JP 7217185A JP 7217185 A JP7217185 A JP 7217185A JP S61230340 A JPS61230340 A JP S61230340A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal lines
conductor
integrated circuit
semiconductor integrated
circuit device
Prior art date
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Pending
Application number
JP7217185A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidetoshi Honda
秀俊 本田
Hisashi Nagamine
久之 長峰
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NEC IC Microcomputer Systems Co Ltd
Original Assignee
NEC IC Microcomputer Systems Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体集積回路装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の半導体集積回路装置は、第４図に示すように信号
線が隣接して設けられていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来の半導体記憶回路装置は、となシ合う信号
線の間の容量によシ、信号線相互に雑音を及し合い、動
作が不安定になるという欠点がある。すなわち、第４図
で示すように、信号線１４゜１５の間には寄生容量１６
が存在する。導体１４に５ｖが加っている時に導体１５
に印加される電圧を５■からＱＶへ立下げると、容量に
よるカップリングにより導体１４も５ｖから一時的に下
ってしまい雑音を受けることになる。この下シ方は、寄
生容量１６、導体１５と地気間の寄生容量１７の容量値
の比、導体１４．１５をドライブしている電圧源の能力
で決まるが、近来の製造技術の進歩によシ、信号線の線
幅ＯＳ間は小さくなってきており、またチップサイズの
増大により信号線の走る距離も増大の傾向にあり、それ
にともなって信号線の間の寄生容量も増大化しており、
信号線間の寄生容量によって伝えられる雑音が、ある信
号線のレベル全下げ、半導体集積回路装置の誤動作を発
生させており、動作を不安定にさせていた。
本発明の目的は、上述のような半導体集積回路の不安定
動作を除去することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の半導体集積回路装置は、第１および第２の信号
線と、核第１および第２の信号線の間に絶縁体を介して
設けられた一定電位に保たれた導体を含んで構成される
。
本発明の半導体集積回路装置は、導体が第１または第２
の信号線を囲むように形成されて構成されることもでき
る。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図、第２図はそれぞれ本発明の一実施例を模式的に
示した平面図およびＡ　Ａ’断面図である。
交差する２つの信号線１．３の間の容量による相互干渉
から起る雑音を信号線１．３が交差する位置において信
号線１．３の間に層間絶縁Ｐ７．　８を介し、導体パタ
ーン２（接地又は電源に接続）をはさんで防止している
。
第３図は本発明の他の実施例の断面図で１本の信号線１
２を導体で完全に囲んで、他のどのような信号線との相
互干渉をも除去した例である。信号線１２を層間絶縁層
１３．１３’を介し、３層にわたる４パターンの電気的
に接続した導体９，１０゜１０’、１１（接地又は電源
に接続）が囲んでいる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、信号線間に定電位の導体
を設けることによシ信号線間の容量は極端に小さくなソ
、一方の信号線の電位の変化による他方の信号線の一時
的な信号線の電位変化を小さくできる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例の平面
図および断面図、第３図は本発明の他の実施例の断面図
、第４図は従来の半導体集積回路装置の信号線を模式的
に示す図である。 １、３．１２．１４．１５・・・・・・信号線、２．９
．１０゜１０’、１１・・・・・・導体、？、　８．１
３．１３’・・・・・・層間絶縁層、１６．１７・・・
・・・寄生容量。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）第１および第２の信号線と、該第１および第２の
    信号線の間に絶縁体を介して設けられた一定電位に保た
    れた導体を含むことを特徴とする半導体集積回路装置。
  2. （２）導体が第１または第２の信号線を囲むように形成
    された特許請求の範囲第１項記載の半導体集積回路装置
    。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63268257A (ja) * 1987-04-27 1988-11-04 インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション シールド伝送線構造体の製造方法
JPH01235256A (ja) * 1988-03-15 1989-09-20 Nec Corp 半導体集積回路装置
JPH021928A (ja) * 1988-06-10 1990-01-08 Toshiba Corp 半導体集積回路
JPH0282531A (ja) * 1988-09-19 1990-03-23 Nec Corp 半導体装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63268257A (ja) * 1987-04-27 1988-11-04 インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション シールド伝送線構造体の製造方法
JPH01235256A (ja) * 1988-03-15 1989-09-20 Nec Corp 半導体集積回路装置
JPH021928A (ja) * 1988-06-10 1990-01-08 Toshiba Corp 半導体集積回路
JPH0570302B2 (ja) * 1988-06-10 1993-10-04 Tokyo Shibaura Electric Co
JPH0282531A (ja) * 1988-09-19 1990-03-23 Nec Corp 半導体装置

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