JPS61203642A - ドライエツチング方法 - Google Patents
ドライエツチング方法Info
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- JPS61203642A JPS61203642A JP4363585A JP4363585A JPS61203642A JP S61203642 A JPS61203642 A JP S61203642A JP 4363585 A JP4363585 A JP 4363585A JP 4363585 A JP4363585 A JP 4363585A JP S61203642 A JPS61203642 A JP S61203642A
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Links
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 13
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、ドライエツチング方法の改良に関する。
現在の半導体集積回路の微細加工には、反応性イオンエ
ツチングが使用されている。反応性イオンエツチングは
、加工という点(:関しては卓越した能力を有するが、
荷電粒子C二よる電気的結晶構造的損傷を伴うため、将
来のサブミクロン領域(二おける微細加工に対しでは、
このまま使っていけるかどうか疑問が持たれはじめでい
る。
ツチングが使用されている。反応性イオンエツチングは
、加工という点(:関しては卓越した能力を有するが、
荷電粒子C二よる電気的結晶構造的損傷を伴うため、将
来のサブミクロン領域(二おける微細加工に対しでは、
このまま使っていけるかどうか疑問が持たれはじめでい
る。
このような荷電粒子(:よる損傷を伴わない新な微細加
工技術として期待されている技術として光エネルギーを
利用した光励起エツチングがある。
工技術として期待されている技術として光エネルギーを
利用した光励起エツチングがある。
これは光エネルギーを用いてガスを解離し、ラジカルを
生じ、さら(:被エツチング物をも励起してエツチング
反応を起こすものである。荷電粒子を用いないため損傷
を伴わないことが既に報告されている( M、8eki
neetal 、prOC,of bth sympo
siumof Dry Process P、72(1
984)。
生じ、さら(:被エツチング物をも励起してエツチング
反応を起こすものである。荷電粒子を用いないため損傷
を伴わないことが既に報告されている( M、8eki
neetal 、prOC,of bth sympo
siumof Dry Process P、72(1
984)。
しかしながら、光励起エツチングの微細加工限界C二つ
いては、現在のところが明らかではない。
いては、現在のところが明らかではない。
ところでエツチングは、パターニングされたマスク材料
ζ;そつで下地を加工するもので、マスク材料(たとえ
ばレジスト)のパターンを下地に転写する技術とも言え
る。これはコンタクト方式の露光と極めで類似している
。したがってコンタクトリングラフィの微細加工限界を
参考にして光励起エツチングの微細加工性を推定するこ
とが可能である。コンタクトリングラフィでは、F、エ
キシマレーザ−(157nm)を用いて0.2μmの残
しパターンを解像した例(H,G、Craighead
eta/、J、Vac、Sci。
ζ;そつで下地を加工するもので、マスク材料(たとえ
ばレジスト)のパターンを下地に転写する技術とも言え
る。これはコンタクト方式の露光と極めで類似している
。したがってコンタクトリングラフィの微細加工限界を
参考にして光励起エツチングの微細加工性を推定するこ
とが可能である。コンタクトリングラフィでは、F、エ
キシマレーザ−(157nm)を用いて0.2μmの残
しパターンを解像した例(H,G、Craighead
eta/、J、Vac、Sci。
Techno/、 、B1(4) 1186(1983
)。およびArF’エキシマレーザ−(193nm)を
用いて0.25μmのスペースパターンを解像した例(
T、F、Deutsch and M、W、Ge1s。
)。およびArF’エキシマレーザ−(193nm)を
用いて0.25μmのスペースパターンを解像した例(
T、F、Deutsch and M、W、Ge1s。
J、App/、Phys、、54.7201(1983
)が報告されている。
)が報告されている。
一般にコンタクトリングラフィでは、解像力は波長のイ
乗に比例することが知られている。そこで上記2つのデ
ータをプロットすると第2図のごとく(二なる。
乗に比例することが知られている。そこで上記2つのデ
ータをプロットすると第2図のごとく(二なる。
さて、M、5ekin+e 等(二よって人rFエキシ
マレーザは、酸化膜に対して損傷を与えることが見い出
されており、素子に損傷を与えない波長が250nm付
近であるとすると、第1図より250nmの解像限界は
、約0.3μmとなる。すなわち光励起エツチングの微
細加工限界はこのあたりにあると考えてよい。
マレーザは、酸化膜に対して損傷を与えることが見い出
されており、素子に損傷を与えない波長が250nm付
近であるとすると、第1図より250nmの解像限界は
、約0.3μmとなる。すなわち光励起エツチングの微
細加工限界はこのあたりにあると考えてよい。
しかしながら、L8Iの微細化は0.3μmで止まるこ
とはなくさらに進むことは明らかであり、025μm以
下のデバイスを実現するためには、光励起エツチングに
代る新たな微細加工技術が必要となる。最近イオンビー
ムを用いた微細加工技術がいくつか報告されている。し
かしイオンビームは■一般にイオンガンの大口径化が困
難である。■素子に与える損傷を小さくするため低加速
電EEにする必要があるが、低加速電圧でイオンを試料
に対して垂直に照射することは極めて難しい。■一般に
陽イオンを照射するため試料がチャージアップするなど
の難点がある。
とはなくさらに進むことは明らかであり、025μm以
下のデバイスを実現するためには、光励起エツチングに
代る新たな微細加工技術が必要となる。最近イオンビー
ムを用いた微細加工技術がいくつか報告されている。し
かしイオンビームは■一般にイオンガンの大口径化が困
難である。■素子に与える損傷を小さくするため低加速
電EEにする必要があるが、低加速電圧でイオンを試料
に対して垂直に照射することは極めて難しい。■一般に
陽イオンを照射するため試料がチャージアップするなど
の難点がある。
本発明の目的は、上記イオンビーム加工の難点を鑑みて
なされたもので、素子に損傷を与えることなく、かつ0
.25μm以下の微細加工性能を有する技術を提供する
ことにある。
なされたもので、素子に損傷を与えることなく、かつ0
.25μm以下の微細加工性能を有する技術を提供する
ことにある。
[発明の概要〕
本発明の概要は、電子ビームを用い、かつ試料からの2
次電子放出効率が1(:なるような加速電圧を選定する
ことを特徴とする。
次電子放出効率が1(:なるような加速電圧を選定する
ことを特徴とする。
材料によって異なるが、ごく大ざっばにいって2次電子
放出効率がIC=なる加速電圧は、数百ev〜1kev
の範囲C:ある。この程度の電子ビームの固体中への
侵入深さは、数百人のオーダーであり、たとえばMO8
型素子を考えた場合、ゲート酸化膜が直接電子ビームに
曝されない限り素子への損傷はないと考えられる。
放出効率がIC=なる加速電圧は、数百ev〜1kev
の範囲C:ある。この程度の電子ビームの固体中への
侵入深さは、数百人のオーダーであり、たとえばMO8
型素子を考えた場合、ゲート酸化膜が直接電子ビームに
曝されない限り素子への損傷はないと考えられる。
以下(:本発明の実施例を図面を用いて詳しく説明する
。
。
本実施例では、MO8型LSIにおけるコンタクトホー
ルエツチングを想定して、Sin、膜のエツチングを行
なった。試料作成工程を、第3図セ示す。
ルエツチングを想定して、Sin、膜のエツチングを行
なった。試料作成工程を、第3図セ示す。
まずP型8i (100)基板1を1000℃で湿式酸
化を行ない、1μmの熱酸化膜2を形成する(第2図(
a))。
化を行ない、1μmの熱酸化膜2を形成する(第2図(
a))。
次にポジ型レジスト3を用いてパターンニゲを行ない、
レジストパターン形成し、エツチング試料とした(第2
図(b))。
レジストパターン形成し、エツチング試料とした(第2
図(b))。
第3図は、本実施例を行なうにあ・たって用いた装置の
概略図である。試料室4はXYステージ5を備えたステ
ンレス製チャンバーで、排気系は油拡散ポンプ6と油回
転ポンプ7を備える。ガス導大系は、3系統で、CF、
ライン8とH,ライン9とN、パージ用ライン10から
成る。またXYステージ5は、ガスを試料面に吸着させ
るため、水冷できるよう(:パイプ11が通っており、
冷却された水を循環させる。電子ビーム鏡筒12は8E
Mを改造したもので、タングステンフィラメント13の
サーマルエミッションで電子ビームを放出する。電子光
学系は3段で、最終段のレンズでビームをlkv前後の
低速に減速すると同時に焦点をぼかし、1m1l”4度
の大きさにしている。
概略図である。試料室4はXYステージ5を備えたステ
ンレス製チャンバーで、排気系は油拡散ポンプ6と油回
転ポンプ7を備える。ガス導大系は、3系統で、CF、
ライン8とH,ライン9とN、パージ用ライン10から
成る。またXYステージ5は、ガスを試料面に吸着させ
るため、水冷できるよう(:パイプ11が通っており、
冷却された水を循環させる。電子ビーム鏡筒12は8E
Mを改造したもので、タングステンフィラメント13の
サーマルエミッションで電子ビームを放出する。電子光
学系は3段で、最終段のレンズでビームをlkv前後の
低速に減速すると同時に焦点をぼかし、1m1l”4度
の大きさにしている。
この装置内(:前記試料を入れ、真空ポンプを用いてI
Q−”I’orr以下まで排気し、次にCF、を10m
//min 。
Q−”I’orr以下まで排気し、次にCF、を10m
//min 。
H2を4m//rnin流して、メインパルプ13で圧
力を5X1f”Torrに制卸する。ついで、電子ビー
ムを8i0゜の場合2次電子放出効率がほぼ1である加
速電圧200V で照射する。ビーム電流は5 xt6
’ A/−とした。この条件下での8i0.膜2のエツ
チング深さを時間変化は、第4図のごとくになる。
力を5X1f”Torrに制卸する。ついで、電子ビー
ムを8i0゜の場合2次電子放出効率がほぼ1である加
速電圧200V で照射する。ビーム電流は5 xt6
’ A/−とした。この条件下での8i0.膜2のエツ
チング深さを時間変化は、第4図のごとくになる。
上記実施例では、反応性ガスを導入し、電子ビームでガ
スと基板とを励起する手法を用いたが、たとえばマイク
ロ波やrf放電を用いてあらかじめ活性化したガスをチ
ャンバー内!=導入してもよい。
スと基板とを励起する手法を用いたが、たとえばマイク
ロ波やrf放電を用いてあらかじめ活性化したガスをチ
ャンバー内!=導入してもよい。
第1図は本発明の一実施例で使用する装置の概略構成図
、第2図は、コンタクトリングラフィ1=おける解像力
と波長の関係を示す特性図、第3図は、本発明の実施例
で用いたエツチング試料の製作工程を示す工程断面図、
第4図は本発明の実施例(=於けるエツチング特性を示
す図である。 1・・・P型(100)Si基板 2・・・熱酸化膜3
・・・ポジ型フォトレジスト 4・・・試料室 5.XYステージ6・・・
油拡散ポンプ 7・・・油回転ポンプ8・・・CF、
ライン 9・・・H,ライン10・・・当パージ
ライン 11・・・水冷管12・・・鏡筒
13・・・タングステンフィラメント14・
・・静電レンズ 15・・・電源16・・・ゲート
パル7’ 17・・・パルプ18・・・パルプ 第1図 第2図 tL& 人(nm) W (nm”) 第3図
、第2図は、コンタクトリングラフィ1=おける解像力
と波長の関係を示す特性図、第3図は、本発明の実施例
で用いたエツチング試料の製作工程を示す工程断面図、
第4図は本発明の実施例(=於けるエツチング特性を示
す図である。 1・・・P型(100)Si基板 2・・・熱酸化膜3
・・・ポジ型フォトレジスト 4・・・試料室 5.XYステージ6・・・
油拡散ポンプ 7・・・油回転ポンプ8・・・CF、
ライン 9・・・H,ライン10・・・当パージ
ライン 11・・・水冷管12・・・鏡筒
13・・・タングステンフィラメント14・
・・静電レンズ 15・・・電源16・・・ゲート
パル7’ 17・・・パルプ18・・・パルプ 第1図 第2図 tL& 人(nm) W (nm”) 第3図
Claims (1)
- 少なくとも1つのハロゲン原子を含有するガスの減圧雰
囲気下で、被エッチング物からの二次電子放出効率が1
になるように加速された電子線を照射することを特徴と
するドライエッチング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4363585A JPS61203642A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | ドライエツチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4363585A JPS61203642A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | ドライエツチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61203642A true JPS61203642A (ja) | 1986-09-09 |
Family
ID=12669323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4363585A Pending JPS61203642A (ja) | 1985-03-07 | 1985-03-07 | ドライエツチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61203642A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6453422A (en) * | 1987-08-24 | 1989-03-01 | Tokyo Electron Ltd | Dry etching device |
JPH01105539A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH01143328A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Tokyo Electron Ltd | ドライエッチング装置 |
JPH01143327A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Tokyo Electron Ltd | ドライエッチング装置 |
JPH09106969A (ja) * | 1995-01-16 | 1997-04-22 | Susan Precision Co Ltd | 多重陰極電子ビームプラズマ食刻装置 |
-
1985
- 1985-03-07 JP JP4363585A patent/JPS61203642A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6453422A (en) * | 1987-08-24 | 1989-03-01 | Tokyo Electron Ltd | Dry etching device |
JPH01105539A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH01143328A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Tokyo Electron Ltd | ドライエッチング装置 |
JPH01143327A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Tokyo Electron Ltd | ドライエッチング装置 |
JPH09106969A (ja) * | 1995-01-16 | 1997-04-22 | Susan Precision Co Ltd | 多重陰極電子ビームプラズマ食刻装置 |
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