JPS61198710A

JPS61198710A - アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法

Info

Publication number: JPS61198710A
Application number: JP60037600A
Authority: JP
Inventors: 重城　明広; 浩一小島; 岡林　正則; 島谷　涼一; 遠山　健二; 神崎　信義
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1985-02-28
Filing date: 1985-02-28
Publication date: 1986-09-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツ
チング方法に関するものである。

（従来の技術）アルミニウム電解コンデンサは、電解エツチングを施し
たアルミニウム電極箔と絶縁紙を巻回し、これに駆動用
電解液を含浸して構成される。

近年、ＶＬＳＩ（超大形集積回路）に代表される回路部
品の軽薄短小指向に伴って、電解コンデンサもさらに小
形化および薄形化を進めるように要求されており、この
ためには、使用する電極箔の単位面積当りの静電容量を
増加することが必要である。

アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエツチング方法
には、従来より第４図および第５図に示すような正弦波
の交流電流によるものがあり、比較的静電容量の大きい
電極箔が得られるので一般に広く行なわれている。しか
し、さらに大きい静電容量の電極箔を得るために、例え
ば、特開昭５８−２２３９０号公報発明のような特殊な
交流波形に関する特許出願もされている。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、従来の正弦波、方形波等の交流波形の交
流電流によってエツチングされた電極箔では、アルミニ
ウム電解コンデンサの小形化をさらに進めるためには、
単位面積当りの静電容量が不充分であるという問題点が
あった。

本発明は上記の問題点を解決するもので、塩酸溶液中で
複数の周波数を含む波形、一般には高調波成分を含む交
流電流によりエツチングすることにより、従来の方法よ
り大きい静電容量が得られるアルミニウム電極箔のエツ
チング方法を提供しようとするものである。

（問題点を解決するための手段）上記の問題点を解決するために、本発明は、アルミニウ
ム箔の表面を交流電流によりエツチングする際に、周波
数の異なる交流電流を２つ以上重畳した波形（一般には
高調波を含む波形）の交流電流を用いるものである。

（作　用）一般に、交流波形によりアルミニウム箔をエツチングす
る際は、アルミニウムの表面では陽極反応と陰極反応が
交互に起きる。すなわち、交流波形の一周期の間に一回
だけ腐食反応が起こり、その電気量に対応するアルミニ
ウムが電解液中に溶解し、アルミニウム箔の表面にピッ
トが形成される。

本発明において使用するような交流波形電流によってエ
ツチングすれば、基本波の一周期の間では、上記と同様
に陽極反応と陰極反応によりピットが形成されるが、高
調波の高い周波数の交流電流の重畳によって、基本波に
よるピット形成と同時に高調波によるピット形成も進行
する。このような過程を通して、アルミニウム箔は、そ
の表面に一層緻密なピットが形成され、実質的にアルミ
ニウム箔の表面積が増加するので、これによって従来の
交流波形を使用した場合より大きい単位面積当りの静電
容量が得られるものである。

（実施例）本発明に使用する電流波形の例を第１図ないし第３図に
示す。

第１図は第４図に示した周波数へ七および電流密度１１
Ａ／ａｌの正弦波と、第５図に示した、上記の周波数へ
七よりも高い周波数／、Ｈｚおよび電流密度１、Ａ／ａ
ｌｔの正弦波とを重畳したものである。ここで、具体的
に述べれば、周波数ｆ工は１七ないし３〇七の範囲、な
るべくは３＆ないし１０七、周波数ｆ２は３０Ｈｚない
し２００翫の範囲、なるべくは５０Ｈｚないし１２０七
である。また、電流密度の比１．／Ｉ、は、０．５ない
し２．なるべくは１である。

第２図および第３図はそれぞれ、方形波および三角波に
基づく同様な波形（共に高調波を含む）を示す。

上記の交流波形を使用することにより、従来の交流波形
を使用した電極箔よりも、大きい単位面積当りの静電容
量を持つ電極箔が得られる。

本発明による具体的実例を２例挙げて説明する。

第１の実例は下記の条件でエツチングを行った。

（アルミニウムｆｌ）　　ＡＱ９９％、Ｈ材厚さ４０μ
ｍ（エツチング液）　　８％ＨＣｌ１＋２％Ａｉｌ、Ｃ
も（交流波形）　　　　　１０Ｈｚ正弦波形と１１０Ｈ
ｚ正弦波形の重畳（基本波電流密度）　　０．２Ａ／ａ
＃（電流密度比）　　　１（エツチング温度）　　４０℃ 上記の条件でエツチングを行った電極箔は、ＯＶにおい
て３１０μＦ／ａｉｒの静電容量が得られた。これは従
来の交流波形により得られる最高の静電容量が２４０μ
Ｆ／ｄであるので、これより３０％大きい数値である。

第２の実例は下記の条件でエツチングを行った。

（アルミニウム箔）　　Ａｆｉ９９．９９％、Ｏ材厚さ
９０μ■（エツチング液）　　５％ＨＣ１＋２％Ａｌｘ
Ｃら（交流波形）　　　　４上圧弦波と５２七正弦波の
重畳（基本波電流密度）　　０．２Ａ／ｄ（電流密度比）　　　１（エツチング温度）　　３０℃ 上記の条件でエツチングを行った電極箔は、２３ｖにお
ｕ’テ４８−２μＦ／ａｊ７３Ｖ１ｍおイテ１３．１μ
Ｆ／ａＪの静電容量が得られた。これは従来の交流波形
により得られる最高の静電容量が２３Ｖで４４．３μ“
Ｆ／ａＪ。

７３Ｖで１１．５μＦ／ａＪであるので、これよりそれ
ぞれ１０％程度大きい数値である。

なお１重畳される前の電波波形は、正弦波、方形波、三
角波はその他どのような波形しでもよい６（発明の効果
）本発明のエツチング方法によれば、従来の方法と比較し
て１０％ないし３０％大きい単位面積当りの静電容量を
持つアルミニウム電解コンデンサ用電極箔を製造するこ
とができ、電解コンデンサの小形化およびコスト低下に
著しい効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は第４図および第５図の正弦波形を重畳した本発
明による重畳波形図、第２図および第３図は本発明に使
用する一例の方形波および三角波形図、第４図および第
５図はそれぞれ従来使用され、または重畳波形を作るた
めの基本正弦波形図である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチン
グ方法において、周波数の異なる交流電流を２つ以上重
畳した波形を有する交流電流を用いることを特徴とする
アルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法
。
（２）重畳する前の波形が、正弦波、方形波あるいは三
角波のいずれかであることを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項記載のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔
のエッチング方法。
（３）重畳する前の波形のうち、周波数の最も低い基本
波の周波数が、１Ｈｚないし３０Ｈｚであることを特徴
とする特許請求の範囲第（１）項記載のアルミニウム電
解コンデンサ用電極箔のエッチング方法。
（４）重畳する前の波形のうち、周波数がより高い高調
波の周波数が、３０Ｈｚないし２００Ｈｚであることを
特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のアルミニウ
ム電解コンデンサ用電極箔のエッチング方法。
（５）重畳する前の波形のうち、周波数の最も低い基本
波形の電流密度が０．１Ａ／ｃｍ＾２ないし０．５Ａ／
ｃｍ＾２であることを特徴とする特許請求の範囲第（１
）項記載のアルミニウム電解コンデンサ用電極箔のエッ
チング方法。
（６）重畳する前の、基本波と高調波の電流密度の比が
、０．５ないし２であることを特徴とする特許請求の範
囲第（１）項記載のアルミニウム電解コンデンサ用電極
箔のエッチング方法。