JPS61190991A - 高気圧ガスレ−ザ装置 - Google Patents
高気圧ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61190991A JPS61190991A JP3044385A JP3044385A JPS61190991A JP S61190991 A JPS61190991 A JP S61190991A JP 3044385 A JP3044385 A JP 3044385A JP 3044385 A JP3044385 A JP 3044385A JP S61190991 A JPS61190991 A JP S61190991A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- electric field
- current path
- gas
- conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は高気圧ガスレーザ装置に係り、特に、ハロゲン
ガスを使用する希ガスハライド系エキシマレーザに好適
な予備電離装置に関する。
ガスを使用する希ガスハライド系エキシマレーザに好適
な予備電離装置に関する。
希ガスハライド系のエキシマレーザ装置では、高気圧中
での一様な放電を得るために、主放電に先だち、予備放
電が必要とされている。予備放電の方法は、すでにいく
つか提案されているが、中でもスパークギャップのアー
ク放電を利用した一ＵＶ光子備電離が、量率な構造で実
現できることから広く利用されている。この方法は、た
とえばレーザー研究第１２巻第８号、４２６ （１９８
４年）における戸田氏ｔ１かによる「高効率自動予備電
離放電励起ＸｅＣＬレーザ」に詳しく論じられている。
での一様な放電を得るために、主放電に先だち、予備放
電が必要とされている。予備放電の方法は、すでにいく
つか提案されているが、中でもスパークギャップのアー
ク放電を利用した一ＵＶ光子備電離が、量率な構造で実
現できることから広く利用されている。この方法は、た
とえばレーザー研究第１２巻第８号、４２６ （１９８
４年）における戸田氏ｔ１かによる「高効率自動予備電
離放電励起ＸｅＣＬレーザ」に詳しく論じられている。
しかし、この方法では、予備電離用スパークギャップの
アーク放電によフ、レーザガス、特にハロゲンガスと予
備電離電極の金属原子との反応が進み、ガスが劣化する
という問題がある。しかも、予備電離電極の金属表面は
アーク放電をするたびに新しい表面が形成されるから、
このようなガスの劣化の現象は、ある時点で飽和すると
いうことがなく、常時、進行することになり、レーザー
ガスの寿命を著しく低下させている。
アーク放電によフ、レーザガス、特にハロゲンガスと予
備電離電極の金属原子との反応が進み、ガスが劣化する
という問題がある。しかも、予備電離電極の金属表面は
アーク放電をするたびに新しい表面が形成されるから、
このようなガスの劣化の現象は、ある時点で飽和すると
いうことがなく、常時、進行することになり、レーザー
ガスの寿命を著しく低下させている。
本発明の目的は、レーザガスの劣化が少なく、長時間に
わたって安定した出力が出せる高気圧ガスレーザ装置を
提供することにるる。
わたって安定した出力が出せる高気圧ガスレーザ装置を
提供することにるる。
本発明は、予備電離の方法として、大電流の高速時間変
化に早う誘導電界を利用するもので、この電界発生に寄
与する電流通路となる導体の全表面を絶縁物で被覆する
ことにより、ハロゲンガスとの反応がなくなシ、長時間
にわたって安定し比出力が出せるようＫしたものである
。
化に早う誘導電界を利用するもので、この電界発生に寄
与する電流通路となる導体の全表面を絶縁物で被覆する
ことにより、ハロゲンガスとの反応がなくなシ、長時間
にわたって安定し比出力が出せるようＫしたものである
。
以下、本発明の一実施例を第１図ないし第３図により説
明するう 直流高電圧源１により充電されたエネルギ蓄積コンデン
サ２（容量Ｃ１）のエネルギは、スイッチ３が閉じると
、Ｕ生板状電流通路４を介して主放電コンデンサ５（容
ｔＣｚ）にパルス的に移行する。この時の電流変化率は
、通常のエキシマレーザでｌｌ１５０〜ｌ ＯＯｋ Ａ
／μＳ程度の大きな値となる。Ｕ生板状電流通路４Ｆｉ
、微小距離をおいて折返されているので、この折返し部
には、電流変化率ｄ 工／ｄ ｔに比例した強い磁束密
度変化ａＢ７ａｔが発生し、このため、強電界Ｅが１１
Ｌ流通路６に沿って発生する。電流Ｉと磁束密度Ｂと電
界Ｅとの向きの関係を第３図に示す。磁束密度Ｂは紙面
に垂直な向きであることを示す。この強電界Ｅによりレ
ーザガスの一部は電離されるので、次の時点で主放電コ
ンデンサ５によシ主電極７の相互間で放電が始まると、
空間全体に一様な放電が得られる。υ生板状電流通路４
にはスリット８が設けられているので、予備電離された
電子は容易に主放電空間へ拡散することができ、一様な
数域される。
明するう 直流高電圧源１により充電されたエネルギ蓄積コンデン
サ２（容量Ｃ１）のエネルギは、スイッチ３が閉じると
、Ｕ生板状電流通路４を介して主放電コンデンサ５（容
ｔＣｚ）にパルス的に移行する。この時の電流変化率は
、通常のエキシマレーザでｌｌ１５０〜ｌ ＯＯｋ Ａ
／μＳ程度の大きな値となる。Ｕ生板状電流通路４Ｆｉ
、微小距離をおいて折返されているので、この折返し部
には、電流変化率ｄ 工／ｄ ｔに比例した強い磁束密
度変化ａＢ７ａｔが発生し、このため、強電界Ｅが１１
Ｌ流通路６に沿って発生する。電流Ｉと磁束密度Ｂと電
界Ｅとの向きの関係を第３図に示す。磁束密度Ｂは紙面
に垂直な向きであることを示す。この強電界Ｅによりレ
ーザガスの一部は電離されるので、次の時点で主放電コ
ンデンサ５によシ主電極７の相互間で放電が始まると、
空間全体に一様な放電が得られる。υ生板状電流通路４
にはスリット８が設けられているので、予備電離された
電子は容易に主放電空間へ拡散することができ、一様な
数域される。
本実施例によれば、ガスの劣化をまねくことなく一様な
予備電離が形成されるので、長時間にわたって安定した
出力がイ停られる。
予備電離が形成されるので、長時間にわたって安定した
出力がイ停られる。
本実施例の矩形のスリットの代わシに、円形の小孔を設
けて、予備電離された電子を拡散させても同様な効果が
得られる。
けて、予備電離された電子を拡散させても同様な効果が
得られる。
また、Ｕ生板状′ｄＬ流通路４に通電する高速大電流は
、別電源で供給することもできる。この場会は、主放電
の回路と独立に最適の予備電離条件を設定できるという
効果かめる。
、別電源で供給することもできる。この場会は、主放電
の回路と独立に最適の予備電離条件を設定できるという
効果かめる。
本発明によれば、予備電離時のガスの劣化を低減できる
ので、長時間にわたって安定した出力が出せる高気圧ガ
スレーザ装置を提供できる。
ので、長時間にわたって安定した出力が出せる高気圧ガ
スレーザ装置を提供できる。
第１図は、本発明の一実施例の断面図、第２図は、本発
明の実施例の一部拡大図、第３因は、本発明の動作原理
図である。 ｌ・・・直流高電圧源、２・・・コンデンサ、３・・・
スイッチ、４・・・Ｕ生板状電流通路、５・・・主放電
フンデン第１ 図
明の実施例の一部拡大図、第３因は、本発明の動作原理
図である。 ｌ・・・直流高電圧源、２・・・コンデンサ、３・・・
スイッチ、４・・・Ｕ生板状電流通路、５・・・主放電
フンデン第１ 図
Claims (1)
- １、放電容器内に一対の主電極を備え、比較的高気圧で
動作する放電励起ガスレーザ装置において、前記主電極
の近傍にＵ字形に折返された板状の電流通路を設け、こ
の板状の電流通路はその一部にスリットが設けられ、か
つ、全表面が絶縁物で被覆されており、前記主電極相互
間の主放電に先だって高速大電流が通電されるように構
成されたことを特徴とする高気圧ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3044385A JPS61190991A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 高気圧ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3044385A JPS61190991A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 高気圧ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190991A true JPS61190991A (ja) | 1986-08-25 |
Family
ID=12304064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3044385A Pending JPS61190991A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 高気圧ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61190991A (ja) |
-
1985
- 1985-02-20 JP JP3044385A patent/JPS61190991A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1319169C (en) | Electrical excitation circuit for gas lasers | |
| US5247531A (en) | Apparatus for preionizing apulsed gas laser | |
| JPS58155643A (ja) | グロー放電発生装置 | |
| JPS61190991A (ja) | 高気圧ガスレ−ザ装置 | |
| JPS62249493A (ja) | 自動予備電離エキシマレ−ザ装置 | |
| Sanz et al. | Peaking capacitor in an incomplete corona surface discharge preionized TEA CO/sub 2/laser | |
| JPS61216373A (ja) | パルスレ−ザ装置 | |
| Eltchaninov et al. | Electron beam accelerator with high pulse recurrence frequency | |
| JP3281032B2 (ja) | 放電励起型ガスレーザ装置 | |
| JPS61208883A (ja) | 交流放電型気体レ−ザ−装置 | |
| JPS56134789A (en) | Lateral exciting type laser oscillator | |
| JP2614231B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPH0529692A (ja) | パルス発生装置 | |
| JPS61240690A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPS60157280A (ja) | 気体レ−ザ発振装置 | |
| JP2798811B2 (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPH01151277A (ja) | パルスレーザ電極 | |
| JPS6395686A (ja) | 軸流型パルスレ−ザ装置 | |
| JPS61168973A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6321882A (ja) | エキシマレ−ザ装置 | |
| JPS615589A (ja) | 放電形気体レ−ザ発振装置 | |
| JPS63229772A (ja) | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 | |
| JPS63227074A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS60151945A (ja) | Ｘ線発生装置 | |
| JPS63228776A (ja) | ガスレ−ザ装置 |