JPS61208883A - 交流放電型気体レ−ザ−装置 - Google Patents
交流放電型気体レ−ザ−装置Info
- Publication number
- JPS61208883A JPS61208883A JP4931085A JP4931085A JPS61208883A JP S61208883 A JPS61208883 A JP S61208883A JP 4931085 A JP4931085 A JP 4931085A JP 4931085 A JP4931085 A JP 4931085A JP S61208883 A JPS61208883 A JP S61208883A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- electrodes
- power supply
- electrode
- laser apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、ＣＯ２などのガス放電を用いた交流放電型
気体レーザー装置に関する。
気体レーザー装置に関する。
従来、ＣＯ２レーザー等の大出力気体レーザーの励起方
法は、第４図に示すような直流グロー放電を用いるもの
が一般的であった。一部、無声放電等の交流放電による
ものもあるが、放電々力密度が大きくとれないという欠
点がある。一方、直流グロー放電を用いた場合には、放
電々力密度は無°声放電方式に比べ大きくとることがで
きる一方。
法は、第４図に示すような直流グロー放電を用いるもの
が一般的であった。一部、無声放電等の交流放電による
ものもあるが、放電々力密度が大きくとれないという欠
点がある。一方、直流グロー放電を用いた場合には、放
電々力密度は無°声放電方式に比べ大きくとることがで
きる一方。
アーク放電に移行しやすいといり欠点が１ハそのため、
放電々力密度もある限界を越えることはできない。この
ためＩＱＫＷ以上の大出力レーザーを製作しようとする
と非常に大型のものになってしまうという欠点があった
。また、直流グロー放電の場合には、バラスト抵抗と呼
ばれる安定化抵抗が必要であ＃）％これによる電力損失
も全電力のイ〜３Ａを占め、高効率化を防げる大きな要
因となっている。
放電々力密度もある限界を越えることはできない。この
ためＩＱＫＷ以上の大出力レーザーを製作しようとする
と非常に大型のものになってしまうという欠点があった
。また、直流グロー放電の場合には、バラスト抵抗と呼
ばれる安定化抵抗が必要であ＃）％これによる電力損失
も全電力のイ〜３Ａを占め、高効率化を防げる大きな要
因となっている。
この発明は、前述した従来の装置の欠点を改良したもの
で、高電力密度放電を行なわせ、更にバラスト抵抗によ
る電力損失を無くすことにより、小型で高効率のしかも
大出力の得られる交流放電型気体レーザー装Ｒｅ提供す
ることを目的としている。
で、高電力密度放電を行なわせ、更にバラスト抵抗によ
る電力損失を無くすことにより、小型で高効率のしかも
大出力の得られる交流放電型気体レーザー装Ｒｅ提供す
ることを目的としている。
前述した様に、直流グロー放電による励起方式を用いた
ものは、アーク放電移行の放電不安定性のため、放電々
力の高密度化に限界があり、無声放電を用いた交流放電
は、誘電体を介するため、アークへの移行の可能性はな
いが、直流グロー放電よりもさらに放電々力密度は小さ
くなる。これら２つの放電方式のそれぞれの長所を生か
した方式として、誘電体を介さないで直接交流放電を行
なう方式が考えられる。その結果、２０ＫＨｚ以上の交
流放電を行なうと、直流放電に比べ放電々力の安定限界
が増大するという結果が得られている（ Ｓｏｖ、Ｊ、
Ｐｌａｓｍｎ Ｐｈｙｓ、６（５） 、６３３（１９８
０））５本発明は、最近発達してき念高周波インバータ
を有効に利用し、更に放電の安定性ｔ−高めるために１
分割電極を各電極１ヶ以上を含む複数のブロックに分割
し、各々のブロックに独立の高周波電源を接続する様に
したものである。５この結果、各ブロックごとに電流の
安定化を行なうことが可能なため、従来の一電源方式に
比べ、放電の安定化を高めることができる。また、各電
源の容ｆ’に小さくすることができる念め、小型で安価
なインバータ電源が利用でき、それを複数用いても、結
局、従来の大電力発振管を用い九電源よりも安価で小型
にすることができる。また、交流数１！金利用している
ため、パラスト抵抗の代わりにコンデンサを用いること
ができ、その部分での発熱や電力損失を大巾に減らすこ
とができ、高効率化や小型化に役立つ。更に、交流電源
を利用しているため、電源のパルス化も可能となり、従
来の直流放電では困難であったレーザービームのパルス
発振（１００Ｈｚ〜１ＫＨｚ）も容易に行なうことがで
き、レーザーを加工用に用い念場合、加工性能を大巾に
高めることができる交流放電型気体レーザー装置である
。
ものは、アーク放電移行の放電不安定性のため、放電々
力の高密度化に限界があり、無声放電を用いた交流放電
は、誘電体を介するため、アークへの移行の可能性はな
いが、直流グロー放電よりもさらに放電々力密度は小さ
くなる。これら２つの放電方式のそれぞれの長所を生か
した方式として、誘電体を介さないで直接交流放電を行
なう方式が考えられる。その結果、２０ＫＨｚ以上の交
流放電を行なうと、直流放電に比べ放電々力の安定限界
が増大するという結果が得られている（ Ｓｏｖ、Ｊ、
Ｐｌａｓｍｎ Ｐｈｙｓ、６（５） 、６３３（１９８
０））５本発明は、最近発達してき念高周波インバータ
を有効に利用し、更に放電の安定性ｔ−高めるために１
分割電極を各電極１ヶ以上を含む複数のブロックに分割
し、各々のブロックに独立の高周波電源を接続する様に
したものである。５この結果、各ブロックごとに電流の
安定化を行なうことが可能なため、従来の一電源方式に
比べ、放電の安定化を高めることができる。また、各電
源の容ｆ’に小さくすることができる念め、小型で安価
なインバータ電源が利用でき、それを複数用いても、結
局、従来の大電力発振管を用い九電源よりも安価で小型
にすることができる。また、交流数１！金利用している
ため、パラスト抵抗の代わりにコンデンサを用いること
ができ、その部分での発熱や電力損失を大巾に減らすこ
とができ、高効率化や小型化に役立つ。更に、交流電源
を利用しているため、電源のパルス化も可能となり、従
来の直流放電では困難であったレーザービームのパルス
発振（１００Ｈｚ〜１ＫＨｚ）も容易に行なうことがで
き、レーザーを加工用に用い念場合、加工性能を大巾に
高めることができる交流放電型気体レーザー装置である
。
本発明によれば、放電の安定性を高め、放電々力の高密
度化を達成することができるため、小型で低価格、かつ
、出力安定なレーザー装置を実現することができる。さ
らに、レーザー出力のパルス化も容易に行なうことがで
きる。
度化を達成することができるため、小型で低価格、かつ
、出力安定なレーザー装置を実現することができる。さ
らに、レーザー出力のパルス化も容易に行なうことがで
きる。
本発明の実施例ｔｇｉ図に示す。この例では、一方の電
極、のみをビン型の分割電極２にしている。
極、のみをビン型の分割電極２にしている。
各分割電極２には、放電安定化のコンデンサー４が接続
されてお＃）１分割電極１０本で１つのブロックを構成
している。電源５は、高周波（〜５ＱｋＨｚ）インバー
タ電源を使用している。また、２つの電極１，２はガス
の流れＦに平行（ガス流と電界が垂直）に設置されてい
る。
されてお＃）１分割電極１０本で１つのブロックを構成
している。電源５は、高周波（〜５ＱｋＨｚ）インバー
タ電源を使用している。また、２つの電極１，２はガス
の流れＦに平行（ガス流と電界が垂直）に設置されてい
る。
電極の分割は両電極とも行なってもよ・い。その実施例
を第２図に示す、また、分割電極２に接続する安定用の
コンデンサー４の代わシに抵抗６を接続してもよい０分
割電極２の形状は、ピン形状以外でも、どの様な形状で
もよい。その他°発明の効果を逸脱しない範囲内で、分
割の方法、形状はどのようであってもよい。ガスの流れ
は、電界方向に垂直であっても、あるいは平行であって
もよい。また、電源は高周波インバータ電源以外の高周
波電源を使用してもよい。
を第２図に示す、また、分割電極２に接続する安定用の
コンデンサー４の代わシに抵抗６を接続してもよい０分
割電極２の形状は、ピン形状以外でも、どの様な形状で
もよい。その他°発明の効果を逸脱しない範囲内で、分
割の方法、形状はどのようであってもよい。ガスの流れ
は、電界方向に垂直であっても、あるいは平行であって
もよい。また、電源は高周波インバータ電源以外の高周
波電源を使用してもよい。
第１図は、本発明の実施例で、一方の電極のみを分割に
した場合の構成図、第２図は１両電極ともに分割にした
場合の構成図、第３図は、安定化コンデンサーの代わシ
に、安定化抵抗を接続した場合の構成図、第４図は、従
来の直流グロー放電型レーザー装置の構成図である。 １・・・電極（非分割）、２・・・分割電極、３・・・
絶縁板、４・・・安定化コンデンサー、５・・・高周波
インバータ電源、６・・・安定化抵抗、７・・・直流電
源。
した場合の構成図、第２図は１両電極ともに分割にした
場合の構成図、第３図は、安定化コンデンサーの代わシ
に、安定化抵抗を接続した場合の構成図、第４図は、従
来の直流グロー放電型レーザー装置の構成図である。 １・・・電極（非分割）、２・・・分割電極、３・・・
絶縁板、４・・・安定化コンデンサー、５・・・高周波
インバータ電源、６・・・安定化抵抗、７・・・直流電
源。
Claims (1)
- 放電部内を高速で流れるガス流に直角または、平行に設
置された２つの電極の両方または少なくとも一方の電極
が複数個に分割されている交流放電型気体レーザー装置
において、上記電極の少なくとも一方を、各々が１個以
上の分割電極からなる複数のブロックに分け、各ブロッ
クに、それぞれ独立に交流電源を接続してなることを特
徴とする交流放電型気体レーザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4931085A JPS61208883A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 交流放電型気体レ−ザ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4931085A JPS61208883A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 交流放電型気体レ−ザ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61208883A true JPS61208883A (ja) | 1986-09-17 |
Family
ID=12827375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4931085A Pending JPS61208883A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 交流放電型気体レ−ザ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61208883A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364383A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-22 | Fanuc Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS63273378A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振装置 |
| JPS6422082A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Fanuc Ltd | High frequency discharge excitation laser equipment |
| US4807242A (en) * | 1987-07-21 | 1989-02-21 | Kim Simon M | Gas laser discharge tube |
-
1985
- 1985-03-14 JP JP4931085A patent/JPS61208883A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6364383A (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-22 | Fanuc Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS63273378A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Fanuc Ltd | レ−ザ発振装置 |
| JPH0542147B2 (ja) * | 1987-04-30 | 1993-06-25 | Fanuc Ltd | |
| JPS6422082A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-25 | Fanuc Ltd | High frequency discharge excitation laser equipment |
| US4807242A (en) * | 1987-07-21 | 1989-02-21 | Kim Simon M | Gas laser discharge tube |
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