JPS61190319A - エレクトロクロミツク素子 - Google Patents

エレクトロクロミツク素子

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Publication number
JPS61190319A
JPS61190319A JP60031839A JP3183985A JPS61190319A JP S61190319 A JPS61190319 A JP S61190319A JP 60031839 A JP60031839 A JP 60031839A JP 3183985 A JP3183985 A JP 3183985A JP S61190319 A JPS61190319 A JP S61190319A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrochromic
film
tin
tin nitride
transparent electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60031839A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyoshi Murata
潔 村田
Shiro Kobayashi
史朗 小林
Katsuhisa Enjoji
勝久 円城寺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority to JP60031839A priority Critical patent/JPS61190319A/ja
Publication of JPS61190319A publication Critical patent/JPS61190319A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はエレクトロクロミック素子に関し、特に新規な
エレクトロクロミック物質な后いたエレクトロクロミッ
ク素子に関する。
〔従来の技術〕
従来エレクトロクロミック素子に用いられるエレクトロ
クロミック物質としては、無tIA系物質(WO3,M
oo3 +V2O5+Rh2O3#Ir(OH)nvW
O3+MO3*WO3+Au等)と有機系物質(ビオロ
ゲン系、テトラチアフルバレン系、7タロシアニン系、
プロシアンブルー系等)が知られている。
上記従来のエレクトロクロミック物質を用いたエレクト
ロクロミック素子の問題点としては■サイクル寿命が短
かい■応答速度が遅い■コントラストが低い■一つの素
子による多色発色できるものが少ない■マ) IJフッ
クス動が困難である。等があげられる。
〔、f@明が解決しようとする問題点〕従来、一つの素
子により多色発色できるエレクトロクロミック物質トシ
テはV2O55Rh203 * InN等の無機物質お
よび7タロシアニン系等の有機物質が知られている。
しかしながら、7タロシアニン県有機物質を用いたエレ
クトロクロミック素子は多色発色の色彩を印加電圧を変
化させることにより種々に変化できる利点はあるものの
その耐久性に大きな同順がありたO 一方無機物質は耐久性に対して比較的耐性があるという
利点があるものの、多色発色の確認されている物質数も
少なくその色彩の選択性が少なく新らしい色彩変化を示
すエレクトロクロミック物質が望まれていた。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は上記多色発色できるエレクトロクロミック素子
を得るために、エレクトロクロミック素子のエレクトロ
クロミック層を窒化スズとしたものである。
上記本発明に使用する窒化スズの層は、例えば窒素ガス
のプラズマ中へスズ金属を蒸発させて窒化スズを合成蒸
着させる活性化反応性蒸着法等により作成できる。
エレクトロクロミック層としての窒化スズ膜は2000
〜10000にのものが好ましい。2000によりも薄
いと色彩変化がはっきりせず、又1ooo。
Aよりも厚いと透過光が少なくなって暗くなってしまっ
たり、応答が遅くエレクトロクロミズムをおこしにくく
なる。
本発明に使用する窒化スズは導電特性を有するために、
通常エレクトロクロミック層のうら側(電解質の反対側
)に設ける電極を省略することともできる。
本発明のエレクトロクロミック素子に使用する電解質ト
シテハ、Na2SO4y (Lic104+フロピレン
カーボネート) 、 (NaC1t04+プロピレンカ
ーボネート)、(硫酸+グリセロール)等の液体電解質
、およびβ−アルミナ# Rk)Ag4 I 4 + 
Li3N r LIF +アクリルアミドメチル、プロ
パンスルホン酸ざリマー等の固体電解質があげられる。
液体ms質を用いてエレクトロクロミック素子を構成す
る場合には、透明基板上又は透明導電膜を被覆した透明
基板上に窒化スズ膜を設け、該基板と透明導電膜を被覆
した対向透明基板とを膜面が対向し面間隔がほぼ一定と
なる様に固定し、面間に液体電解質を充填した構造が好
まれて使用される。液体電解質がエレクトロクロミック
素子から揮発・飛散しない様にするためには、液体電解
質周辺を工ざキシ系、ポリイミド系、ポリアクリレート
系等の接着剤等のシール剤でシールすることが好ましい
固体電解質を用いたエレクトロクロミック素子の構成に
は種々な態様が考えられるが、固体電解質層の片側に対
向電極、反対側に窒化スズ膜を設けることで代表される
固体電解質を用いてエレクトロクロミック素子を作成す
る場合には、窒化スズ膜内へ固体電解質からのエレクト
ロンの注入が起こるため、窒化スズ膜オヨヒ固体電解質
の間K SiO+MgF2.Cr203yzro2 、
Ta205などの誘電体物質層を設けることが好まれる
〔実 施 例〕
実施例1 厚さ/IRIのガラス板lの表面にスパッタリング法に
より膜厚1OOOAの酸化スズ膜コを成膜し、フォトレ
ジスト法により適当な形状にパターニングして表示用透
明電極基板3とした。続いてJX/(7−3TOrrの
窒素ガスのプラズマ中にスズ金属を蒸発させて、窒化ス
ズを合成蒸着させる方法(活性化反応性蒸着法)を用い
て該透明電極基板3上に膜厚ダttoohの窒化スズ膜
lを均一に成膜した。(分析の結果該窒化スズ膜は、s
nおよびNがモル比でほぼ/対lのアモルファスの膜で
あった。) 又、別に用意した厚さ7mのガラス板j上にスパッタリ
ング法により膜厚/ 00 oAの酸化スズ膜6を成膜
し、7オトレジスト法により適当な形状にパターニング
して対向透明電極基板7を作成した。できあがった対向
透明電極7上に液体電解質のもれを防ぐためのエボキち
−ル部lをスクリーン印刷により作成した。
透明電極基板3,7を互いに膜面を内側にして基板間隔
が0.2mになるように貼り合せ常温でエポキシシール
部lをキエアリングした。こうしてできあがった空セル
中に1モル/lの塩化カリウム水溶液9を注入しエレク
トロクロミック素子IOを作成した。できあがったエレ
クトロクロミック素子ioの断面概略図を第1図に示す
同様な操作により電解質として1モル/lの塩化ナトリ
ウムを用いた別のエレクトロクロミック素子/lを作成
した。
得られたエレクトロクロミック素子l09l/に約3V
/cdの電圧を印加させた時の可視光透過特性をそれぞ
れ第2図、第3図に示す。
本実施例により得られたエレクトロクロミック素子10
.//は窒化スズ膜を正電圧に印加すると黒茶色に、無
印加の場合紫がかった茶色に、負電圧に印加するとうす
い黄色へ、と3色の色を示した。
実施例コ 厚さ/闘のガラス板20の表面に活性化反応性蒸着法に
より直接厚さ≠≠oohの窒化スズ膜21を成膜した。
綬いて窒化スズ膜21上にスパッタリング法により膜厚
的6000AのTa205膜ココを成膜した。続いてT
a205膜上に主成分がリチウム化合物でありバインダ
ーおよび揮発性溶剤とを含んだペーストを用いてスクリ
ーン印刷によって、Q、/’In厚の固体電解質膜23
を成膜した。乾燥後固体電解質膜23上にスパッタリン
グ法により膜厚tooohの酸化スズ膜2fを成膜した
。できあがったエレクトロクロミック素子25の断面概
略図を第q図に示す。
得うしたエレクトロクロミックg子2 j K約JV/
Cl1lの印加電圧をかけた時の可視光透過特性を第5
図に示す。
本実施例によって得られたエレクトロクロミック素子2
jも、窒化スズ膜を正電圧に印加した場合黒茶色に、無
印加の場合紫がかった茶色に、負電圧に印加した場合う
すい黄色へ、と3色の色を示した。
上記実施例において、窒化スズ腹側には通常設けられる
電極膜が設けられていない。しかしながら本実施例は導
電性を有する窒化スズ膜自身を導電膜として使用できる
ため導電膜作成を省略しても表示素子としての機能を発
揮させることができる。しかしながら高速応答特性の表
示素子を得ることを目的とする場合には窒化スズ膜下に
表示用電極を設けることが好ましい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、実施例からも明らかな通り3色の色彩
変化をともなうエレクトロクロミック素子が簡単に得ら
れている。
又本発明によれば窒化スズが導電性を有するために窒化
スズを表示用電極がわりに利用することができ、表示用
電極作成を省略することもできる。
又本発明のエレクトロクロミック素子は第1表にみられ
るように新らしい色彩の発色を示すエレクトロクロミッ
ク素子である。
【図面の簡単な説明】 第1図は実施例/にもとず〈本発明のエレクトロクロミ
ック素子の構造を示す概略断面図、第2図、第3図は実
施例/により得られたエレクトロクロミック素子の可視
光透過特性を示す図、第弘図は実施例コにもとずく本発
明のエレクトロクロミック素子の構造を示す概略断面図
、第5図は実施例コにより得られたエレクトロクロミッ
ク素子の可視光透過特性を示す図である。 第1図 第4図 ?uT”71職 第2図 洟−& (rm) 第3図 第5図 製表 (nm)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)エレクトロクロミック層が窒化スズで形成された
    エレクトロクロミック素子。
  2. (2)該窒化スズのエレクトロクロミック層が2000
    〜10000オングストロームの厚さの膜状である特許
    請求の範囲第1項記載のエレクトロクロミック素子。
JP60031839A 1985-02-20 1985-02-20 エレクトロクロミツク素子 Pending JPS61190319A (ja)

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JP60031839A JPS61190319A (ja) 1985-02-20 1985-02-20 エレクトロクロミツク素子

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JPS61190319A true JPS61190319A (ja) 1986-08-25

Family

ID=12342221

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JP60031839A Pending JPS61190319A (ja) 1985-02-20 1985-02-20 エレクトロクロミツク素子

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