JPS61188971A - シヨツトキゲ−ト電界効果トランジスタ、およびその製造方法 - Google Patents

シヨツトキゲ−ト電界効果トランジスタ、およびその製造方法

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JPS61188971A JP60029100A JP2910085A JPS61188971A JP S61188971 A JPS61188971 A JP S61188971A JP 60029100 A JP60029100 A JP 60029100A JP 2910085 A JP2910085 A JP 2910085A JP S61188971 A JPS61188971 A JP S61188971A
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insulating
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Toshiki Ehata
敏樹 江畑
Tomihiro Suzuki
富博 鈴木
Shigeru Nakajima
中島　成
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