JPS61185724A - 薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents
薄膜トランジスタの製造方法Info
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- JPS61185724A JPS61185724A JP60027394A JP2739485A JPS61185724A JP S61185724 A JPS61185724 A JP S61185724A JP 60027394 A JP60027394 A JP 60027394A JP 2739485 A JP2739485 A JP 2739485A JP S61185724 A JPS61185724 A JP S61185724A
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Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60027394A JPS61185724A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
| DE19863604368 DE3604368A1 (de) | 1985-02-13 | 1986-02-12 | Verfahren zur herstellung eines duennfilm-transistors |
| GB08603522A GB2172745B (en) | 1985-02-13 | 1986-02-13 | Method of manufacturing thin film transistor |
| US06/829,001 US4684435A (en) | 1985-02-13 | 1986-02-13 | Method of manufacturing thin film transistor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60027394A JPS61185724A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61185724A true JPS61185724A (ja) | 1986-08-19 |
| JPH0580650B2 JPH0580650B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1993-11-09 |
Family
ID=12219842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60027394A Granted JPS61185724A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61185724A (enrdf_load_stackoverflow) |
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1985
- 1985-02-13 JP JP60027394A patent/JPS61185724A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0580650B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1993-11-09 |
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