JPS61183956A - モジユ−ル基板 - Google Patents

モジユ−ル基板

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JPS61183956A
JPS61183956A JP60024624A JP2462485A JPS61183956A JP S61183956 A JPS61183956 A JP S61183956A JP 60024624 A JP60024624 A JP 60024624A JP 2462485 A JP2462485 A JP 2462485A JP S61183956 A JPS61183956 A JP S61183956A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
lsi
pads
thick film
repair
Prior art date
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Pending
Application number
JP60024624A
Other languages
English (en)
Inventor
Masakazu Yamamoto
雅一 山本
Minoru Tanaka
稔 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS61183956A publication Critical patent/JPS61183956A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5382Adaptable interconnections, e.g. for engineering changes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
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    • H01L2924/151Die mounting substrate
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    • H01L2924/15192Resurf arrangement of the internal vias
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H05K1/02Details
    • H05K1/0286Programmable, customizable or modifiable circuits
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、モジュール基板に関し、特に電子計算機用と
して複数のLSIを実装するモジュール基板において、
高い実装密度を実現するのに好適なモジュール基板に関
するものである。
〔発明の背景〕
従来、数個のLSIを搭載するモジュール基板の断面図
を第2図に示す、なお、同図において、1がLSI、2
が信号配線、3が補修パッド、4がCCB用ハンダバン
プ、5がCCBバッド、6a、6b、9がスルーホール
、7が引出し配線、30がセラミック等の配線基板であ
る。
一般に、LSIIの入・出力と配線基板30内にある信
号配線2の間には、特開昭59−7457号公報に記載
されているように、動作テストや回路などの補修をする
ための補修パッド3を設けている。補修パッド3をLS
Iの入・出力端ごとに設けるので、配線基板30の表面
には多数の補修パッド3が配列される。
一方、rIC化実装技術」工業調査会、1980年のP
P307〜308には、ファクシミリへの応用として、
薄膜技術を使用し配線基板に抵抗体を形成する方法が、
また、PP162〜167には、電子計算機用モジュー
ル基板の配線は第3図に示すように、寄り道配線で実施
した後、信号の最遠端に終端抵抗33を接続し、反射ノ
イズを防止して、高速なパルス伝送を実現する方法が記
載されている。なお、第3図において、31はソースゲ
ート、32B−32bは負荷ゲート、33は終端抵抗で
ある。
上記の各方法を用いて、第2図に示す配線基板30に終
端抵抗33を内蔵したときのモジュール基板の断面図を
第4図に示す、なお、同図において、8が抵抗用のスル
ーホール、21が(33で示した)終端抵抗、22が薄
膜配線層、23が厚膜配線層、34が抵抗用の補修パッ
ドである。
このように、複数のLSIを搭載したモジュール基板に
終端抵抗21を内蔵させると、動作テストや技術変更の
ための補修を行うためには、内蔵した終端抵抗21にも
補修パッド34を設けなければならないが、補修パッド
3,34が多数となって、基板表面での補修パッドの占
める面積が増大し、LSIの実装密度が下げられるとい
う問題が生じた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、このような従来の問題を解決し、簡単
かつ安価な方法により、動作テストや回路などの補修の
作業性を低下させてしまうことなく、基板表面における
補修バットの占める面積を最小にし、基板の実装密度を
高めることのできるモジュール基板を提供することにあ
る。
〔発明の概要〕
上記目的を達成するため、本発明のモジュール基板は、
LSIの入・出力相互を結ぶ配線12と、薄膜の抵抗器
21を内蔵して、該LSIを複数搭載するモジュール基
板において、上記モジュール基板の表面に、上記LSI
の入・出力端(CCB用ハンダバンプ14)、上記抵抗
器21.上記配線12のそれぞれと接続するためのスル
ーホール16a、18.19と、該スルーホールを接続
する表面パターンから成る補修パッド13を備えること
に特徴がある。
〔発明の実施例〕
以下1本発明の実施例を図面により説明する。
第1図は、本発明の一実施例を示すモジュール基板の断
面図である。
第1図において、11はLSl、12は信号配線、13
は補修パッド、14はccB用ハンダバンプ、15はC
CBパッド、16a、  16bt  18 +19は
スルーホール、17は引出し配線、20゜24は引出し
パターン、21は終端抵抗である。
厚膜配線層23は、例えば絶縁材にアルミナ。
導体にタングステン(W)を用いた厚膜基板であり。
そこにLSIIIの入・出力相互間やモジュールの入・
出力端を結ぶ信号配線12を形成し、その表面にはクロ
ム(Cr)などを用いた終端抵抗21を作成する。
上記厚膜基板の上には1例えば絶縁材にポリイミド、導
体にアルミニウム(AI )が用いられ、蒸着やエツチ
ングなどの技術により引出し配線17゜スルーホール1
6a、16b、18,19を内蔵させた薄膜配線JW 
22を形成する。その表面にはLSlllのCCB用ハ
ンダバンプ14に接続するためのCCBパッド15.テ
ストや補修のための補修パッド13を必要数作成する。
なお、内蔵するスルーホール16bにはCCBパッド1
5と引出し配線17の一端を、スルーホール16aには
引出し配線17の他端と補修パッド13を、スルーホー
ル18には補修パッド13と終端抵抗21を、スルーホ
ール19には補修パッド13と信号配線12を接続させ
る。また、補修パッド13には、補修時においてレーザ
ー等により切断することのできる引出しパターン20.
24をそれぞれスルーホール18.スルーホール19間
に図示するように設ける。モジュール基板は、上記厚膜
配線層23と薄膜配線層22で構成され、′4x数個の
LSlllを搭載する。
今、CCB用ハンダバンプ14.終端抵抗21をそれぞ
れ第3図の負荷ゲート32aの入力端。
終端抵抗33と仮定すれば、寄り道配線による反射ノイ
ズの防止回路は、第1図において信号配線12→スルー
ホール19→補修パツド13→(一方は)スルーホール
16a、 I Gb−+LS I 11のCCB用ハン
ダバンプ14、他方はスルーホール18→終端抵抗21
と接続しているので1回路の終端部分が実現されている
このように、補修パッド13に設けた引出しパターン2
0からスルーホール18を通して終端抵抗21へ、もう
一つの引出しパターン24からスルーホール19を通し
て信号配線12に接続できるので、第4図に示す抵抗用
の補修パッド34を補修パッド13で代用することがで
き、表面のパッド数および内部の布線を少なくし、基板
の実装密度を高めることができる。一般に、寄り道配線
で遠端に1端抵抗を置く場合は、LSIの入・出力数の
1/2〜1/3の終端抵抗を必要としていることから、
バット数で50〜30%低減することが可能である。
また、実装密度を下げることなく終端抵抗21が内蔵で
きるので、高速パルス伝送の可能な電子計算機用モジュ
ール基板は容易に実現できる。
本実施例は、薄膜と厚膜配線層22.23の構成で行っ
たが、全て厚膜印刷技術あるいは全て薄膜技術により抵
抗内蔵の基板を作成した場合でも本発明は有効である。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によ九ば、LSIの入・出
力端を引出した補修パッドに内蔵する終端抵抗および基
板内の信号配線をスルーホールと引出しパターンで接続
させるので、動作テストや回路などの補修の作業性を低
下させることなく、基板表面における補修バットの占め
る面積は最小となり、基板の実装密度は向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施例を示すモジュール基板の断
面図、第2図、第4図は従来例を示すモジュール基板の
断面図、第3図は寄り道配線を説明するための図である
。 1.11:LSI、2,12:信号配線、3゜13.3
4:補修パッド、4.14:CCB用ハンダバンプ、5
,15:CCBパッド、 6a、 6b。 16a、16b:8,9,1.8,19ニスルーホール
、7.17:引出し配線、21,33:終端抵抗、22
:薄膜配線層、23:厚膜配線層、30:配線基板、3
1:ソースゲート、32a〜32c:負荷ゲート。 第   1   図 第    2   図 第   3   図 第   Φ   図 ]

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)LSIの入・出力相互を結ぶ配線と、薄膜の抵抗
    器を内蔵して、該LSIを複数搭載するモジュール基板
    において、上記モジュール基板の表面に、上記LSIの
    入・出力端、上記抵抗器、上記配線のそれぞれと接続す
    るためのスルーホールと、該スルーホールを接続する表
    面パターンから成る補修パッドを備えることを特徴とす
    るモジュール基板。
JP60024624A 1985-02-12 1985-02-12 モジユ−ル基板 Pending JPS61183956A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60024624A JPS61183956A (ja) 1985-02-12 1985-02-12 モジユ−ル基板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60024624A JPS61183956A (ja) 1985-02-12 1985-02-12 モジユ−ル基板

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61183956A true JPS61183956A (ja) 1986-08-16

Family

ID=12143293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60024624A Pending JPS61183956A (ja) 1985-02-12 1985-02-12 モジユ−ル基板

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JP (1) JPS61183956A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5110664A (en) * 1989-07-10 1992-05-05 Hitachi, Ltd. Thick film and thin film composite substrate and electronic circuit apparatus using it
JPH04132292A (ja) * 1990-09-21 1992-05-06 Nec Corp ポリイミド樹脂多層配線基板

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5110664A (en) * 1989-07-10 1992-05-05 Hitachi, Ltd. Thick film and thin film composite substrate and electronic circuit apparatus using it
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