JPS61179549A - ウエハ検査顕微鏡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １凹 本発明は、ウェハ検査顕微鏡装置に関するものである。

従来技術 従来のウェハ検査顕微鏡装置として例えば第６図に示し
た如く、センダー１と、ウェハ搬送部２と、ウェハ搬送
部２の中央部に設けられた回転テーブル３及び非接触プ
リアライメントセンサー・４設けられた検査部６と、検
査部６の中央部に設けられたＸＹステージ７と、ＸＹス
テージ７の上方に固定配置された顕微鏡対物レンズ８と
、レシーバ−９と、センダー１．ウェハ搬送部２．レシ
ーバ−９に設けられたモータ駆動の搬送ベル１−１０と
から基本的に構成され、センダー１にセントされたウェ
ハカセット１１内のウェハ１２をベルト搬送により回転
テーブル３上まで送り、続いて回転テーブル３を回転さ
せ非接触プリアライメントセンサー４によりウェハ１２
のオリエンテーションフラット１２ａを検出して位置出
しを行い、次にアーム５によりウェハ１２をＸＹステー
ジ７上に移した後ＸＹステージ７によりウェハ１２をＸ
Ｙ方向に移動させながら対物レンズ８により検査し、そ
の後アーム５によりウェハ１２を搬送部２に移しベルト
搬送によりレシーバ−９にセントされたウェハカセット
１３内に送り込むようになっていた。ところが、このウ
ェハ検査顕微鏡装置は、搬送部２の回転テーブル３から
ウェハ１２をとりせ変える工程及びその逆の工程がある
ためウェハ１２の移動距離が長くなり、その結果検査工
程時間が長くなるという問題があった。又、アーム５な
ど搬送部２から検査部６へ又検査部６から搬送部２へと
ウェハ１２を載せ変えるための機構が必要となるため、
構造が複雑になるという問題があった。又、検査部６を
搬送部２の側方に別個に設けているため装置に必要な床
面積が大きくなり、その結実装置が大型化してしまうと
いう問題があった。

目　　　的 本発明は、上記問題点に鑑み、検査工程時間が大幅に短
縮され、構造が簡単になり、装置が非常にコンバクｌ−
になるようにしたウェハ検査顕微鏡装置を提供せんとす
るものである。

１既　　　要 本発明によるウェハ検査顕微鏡装置は、ウェハ搬送部と
、該ウェハ搬送部内に設けられていてウェハを搬送方向
と同一方向に移動せしめるウェハ検査部と、該ウェハ検
査部の上方に設けられていて該搬送方向とは異なる方向
にウェハの上面に沿って移動する対物光学系とを具備し
ていることにより、ウェハを搬送しつつ検査し得るよう
にしてウェハを検査のためにわざわざウェハ搬送部の側
方へとり出したり逆に戻したりする必要をなくし、ウェ
ハ検査部をウェハ搬送部内に一体的に設けて装置に必要
な床面積が小さくて済むようにしたものである。

ス」Ｌ升 以下、第１図乃至第３図に示した一実施例に基づき上記
従来例と同一の部材には同一符号を付して本発明の詳細
な説明すれば、検査用ステージ７はウェハ搬送部２内に
設けられていると共に、吸気管１４を介して図示しない
真空ポンプと接続されていて上面に載置されたウェハ１
２を吸着保持するようになっている。又、検査用ステー
ジ７は後述のステージ駆動装置によりウェハ１２の搬送
方向と同一の方向（第２図矢印Ａ方向）及び上下方向に
移動せしめられ、更に水平面内にて回転せしめられるよ
うになっている。１５はウェハ搬送部２内に配設された
第一フレーム、１６は第一フレーム１５にローラガイド
１５゛を介して上下方向に移動可能に装着され且つモー
タ１７により駆動される第二フレーム、１８は第二フレ
ーム１６にローラガイド１９を介して第２図矢印Ａ方向
に移動可能に装着され且っモータ２ｏにより駆動される
と共に上部に検査用ステージ７が枢着された第三フレー
ム、２１は検査用ステージ７の中心軸に固着されていて
モータ２２により回動せしめられることにより検査用ス
テージ７を水平面内にて回転せしめるギヤであって、こ
れらがステージ駆動装置を構成している。２３はウェハ
搬送部２に近接配置された検査顕微鏡本体、２４は本体
１に固定された観察鏡筒、２５は観察鏡筒２４にアリ・
アリ溝結合によりウェハ１２の搬送方向と直交する方向
（第２図矢印Ｂ方向）に移動可能に装着されていて内部
に対物レンズ８及びミラー２６が設けられた対物鏡筒、
２７は本体２３内に設けられたハーフミラ−１２８は本
体２３内に設けられた結像レンズ、？ＱＬ士士ノ末９９
小μノー処；キ、−柄す・プリズム、３０は接眼レンズ
、３１は光源、３２はコンデンサーレンズである。ここ
で、対物レンズ８．ミラー２６．ハーフミラ−２７，結
像レンズ１８．プリズム２９．接眼レンズ３ｏから成る
観察光学系は、ミラー２６とハーフミラ−２７との間の
光路長を変化させても合焦位置が変化しない例えばアフ
ォーカルな構成になっているものとする。

本発明によるウェハ検査顕微鏡装置は上述の如く構成さ
れているから、センダー１にセットされたウェハカセッ
ト１１内のウェハ１２は搬送ベルト１０により検査用ス
テージ７上まで送られ、真空吸着により検査用ステージ
７上に吸着保持される。続いてステージ駆動装置により
検査用ステージ７を回転させ非接触プリアライメントセ
ンサー４によりウェハ１２のオリエンテーションフラッ
ト１２ａを検出して位置出しを行った後、ウェハ検査の
ためにステージ駆動装置により検査用ステージ７をウェ
ハ搬送方向（第２図矢印へ方向）に移動させる。この時
の検査用ステージ７の移動釦離はウェハ１２の直径分あ
れば良い。そして、これに加えて対物レンズ８をウェハ
搬送方向と直角な方向（第４図矢印Ｃ方向）にウェハ１
２の上面栓 に沿って移動せしめれば、ウェハ１２の前面を検査する
ことができる。

尚、ウェハ１２を検査用ステージ７上に載せないで搬送
ベルト１０に載せたまま第４図矢印Ｃ方向に移動させて
も、対物レンズ８について自’ｊ）Ｊ焦点調節を行えば
搬送ベルト１０に凹凸があっても合ｊＱ、状態が保たれ
るので、検査用ステージ７を不要にすることもできる。

第４図及び第５図は他の実施例の要部を示しており、こ
れは接眼部を固定し且つそれ以外の部分即ち光源部及び
観察鏡筒２４を結像レンズ２８の光軸を中心にして水平
面内にて回動可能にして、対物レンズ８がウェハ搬送方
向と交叉する円周方向（第４図矢印Ｃ方向）に移動する
ようにしたものであって、この場合ミラー２６とハーフ
ミラ−２７との間の光路長を変化させずに済み、顕微鏡
光学系の設計が容易となる利点がある。但し、観察鏡筒
２４の回動に伴い像が回転するので、光学系の途中にイ
メージローテータ３３を入れる必要がある。

鷹」肝凹」Ｌ艮 上述の如（本発明によるウェハ検査顕微鏡装置は、ウェ
ハを搬送しつつ検査し得るので、ウェハを検査のために
ウェハ搬送部の側方へとり出したり逆に戻したりする必
要なく、その結果検査工程時間が大幅に短縮される。又
、アーム等の載せ変え機構も不要になるので構造が節単
になる。又、ウェハ検査部をウェハ搬送部内に一体的に
設けているので、装置に必要な床面積が小さくて済み、
その結実装置が非常にコンパクトになる。これらの効果
は、検査処理速度の向上やウェハの大径化が求められて
いるこの種技術分野において極めて重要な効果である。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は夫々本発明によるウェハ検査顕微鏡
装置の一実施例の平面図、斜視図及び側面図、第４図及
び第５図は夫々他の実施例の要部の平面図及び概略断面
図、第６図は従来例の平面図である。 １・・・・センダー、２・・・・ウェハ搬送部、４・・
・・非接触プリアライメントセンサー、７・・・・検査
用ステージ、８・・・・対物レンズ、９・・・・レシー
バ−１１０、・、・搬送ベルト、１１．１３・・・・ウ
ェハカセット、１２・・・・ウェハ、１４・・・・吸気
管、１５・・・・第一フレーム、１５′・・・・ローラ
ガイド、１６・・・・第二フレーム、１８・・・・第三
フレーム、１９・・・・ローラガイド、１７，２０．２
２・・・・モータ、２１・・・・ギヤ、２３・・・・検
査顕微鏡本体、２４・・、・観察鏡筒、２５・・・・対
物鏡筒、２６・・・・ミラー、２７・・・・ハーフミラ
−５２８・・・・結像レンズ、２９・・・・プリズム、
３０・・・・接眼レンズ、３１・・・・光源、３２・・
・・コンデンサーレンズ、３３・・・・イメージローテ
ータ。 に≧ ；ｊ−４図 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ウェハ搬送部と、該ウェハ搬送部内に設けられていて
   ウェハを搬送方向と同一方向に移動せしめるウェハ検査
   部と、該ウェハ検査部の上方に設けられていて該搬送方
   向と異なる方向にウェハの上面に沿って移動する対物光
   学系とを具備したウェハ検査顕微鏡装置。