JPS59128557U - 試料検査装置 - Google Patents
試料検査装置Info
- Publication number
- JPS59128557U JPS59128557U JP2269583U JP2269583U JPS59128557U JP S59128557 U JPS59128557 U JP S59128557U JP 2269583 U JP2269583 U JP 2269583U JP 2269583 U JP2269583 U JP 2269583U JP S59128557 U JPS59128557 U JP S59128557U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- stage
- inspection
- inspection device
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の試料検査装置を示す斜視説明図、第２図
は従来例における試料台の移動領域を示す説明図、第３
図は本考案による試料検査装置を示す斜視説明図、第４
図はその側面説明図である。 １・・・・・・試料、３・・・・・・照明部、４・・・
・・・受光認識部、５・・・・・・試料台、＄ａ、
５ｂ・・・・・・試料送りローラ、７ａ、 ７ｂ・・
・・・・試料引張りローラ、８・・・・・・第一の駆動
モータ、９・・・・・・第二の駆動モータ。
は従来例における試料台の移動領域を示す説明図、第３
図は本考案による試料検査装置を示す斜視説明図、第４
図はその側面説明図である。 １・・・・・・試料、３・・・・・・照明部、４・・・
・・・受光認識部、５・・・・・・試料台、＄ａ、
５ｂ・・・・・・試料送りローラ、７ａ、 ７ｂ・・
・・・・試料引張りローラ、８・・・・・・第一の駆動
モータ、９・・・・・・第二の駆動モータ。
Claims (1)
- 透明な試料台を有すると共にこの試料台を間に挾んで照
明部と受光認識部とを対向して配置し上記試料台上の試
料に検査光を照射する試料検査装置において、上記試料
台を細長矩形状とし、この試料台の両側方にその長手方
向に直交する方向に試料を送る試料送りローラと試料引
張りローラとを設けて該試料を上記試料台上に密着状に
載置したり移動すると共に、上記照明部と受光認識部の
対又は試料のどちらかを上記試料台の長手方向に沿って
移動させて、検査光を試料に対して相対的に走査するよ
うにしたことを特徴とする試料検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2269583U JPS59128557U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 試料検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2269583U JPS59128557U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 試料検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59128557U true JPS59128557U (ja) | 1984-08-29 |
Family
ID=30153788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2269583U Pending JPS59128557U (ja) | 1983-02-18 | 1983-02-18 | 試料検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59128557U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61179549A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-12 | Olympus Optical Co Ltd | ウエハ検査顕微鏡装置 |
-
1983
- 1983-02-18 JP JP2269583U patent/JPS59128557U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61179549A (ja) * | 1985-02-04 | 1986-08-12 | Olympus Optical Co Ltd | ウエハ検査顕微鏡装置 |
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