ATE42004T1 - Mikroskopvorrichtung zum pruefen von wafern. - Google Patents

Mikroskopvorrichtung zum pruefen von wafern.

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ATE42004T1
ATE42004T1 AT86101375T AT86101375T ATE42004T1 AT E42004 T1 ATE42004 T1 AT E42004T1 AT 86101375 T AT86101375 T AT 86101375T AT 86101375 T AT86101375 T AT 86101375T AT E42004 T1 ATE42004 T1 AT E42004T1
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AT
Austria
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microscope device
inspecting wafers
inspecting
wafers
microscope
Prior art date
Application number
AT86101375T
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English (en)
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Makoto Yoshinaga
Yoichi Iba
Noriyuki Miyahara
Masami Kawasaki
Terumasa Morita
Takashi Nagano
Original Assignee
Olympus Optical Co
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JP60018771A JPH0783043B2 (ja) 1985-02-04 1985-02-04 ウエハ検査顕微鏡装置
JP60023072A JP2568488B2 (ja) 1985-02-08 1985-02-08 顕微鏡
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