JPH0254153A - ウェーハ外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体ウェーハの外観検査に用いられるウェー
ハ外観検査装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この半導体ウェーハの外観検査、特に、ウェーハ
表面の欠陥があるか否かを検査する場合は、通常、ウェ
ーハを収納するカセットから一枚ずつピンセットで取り
出し、目視でウェーハの表面を検査を行なっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述の方法では、ウェーハをカセットよ
り取り出すときや、ウェーハをカセットに収納するとき
に、ウェーハの表面を傷を付けたり、または、ウェーハ
を落したりしてウェーハを割るという問題が起きる。特
に、最近のウェーハは大口径化し、その直径が２００ｍ
ｍのものがあり、その重量もかなり重くなっている。こ
のため、ウェーハの取り扱いが益々難しくなり、ウェー
ハの表面に傷を付けたり、ウェーハを割る確率が高くな
るという問題がある。

本発明の目的は、ウェーハの表面に傷を付けることがな
いとともにウェーハを割ることのないつェーハ外観検査
装置を提供するこにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のウェーハ外観検査装置は、−主面に多数の穴を
有するとともに６他面に前記多数の穴と通する排気孔を
もちウェーハを載置する平板状のチャックと、前記チャ
ックを任意に傾斜させて固定する支持板と、前記支持板
に連結され前記チャックを回転するとともに上下駆動す
る回転軸と、前記チャックの前記排気孔と排気装置とを
連結する可撓性のある排気管と、前記チャックに前記ウ
ェーハを載置する機構部とを備え構成される。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すウェーハ外観装置の側
面図、第２図は第１図に示す回転軸を含めたチャックを
部分拡大した部分断面図である。

このウェーハ外観検査装置は、ウェーハ１が載置される
表面に多数の穴が設けられた板状の部材でなるチャック
２と、このチャック２を固定保持している支持板４ａ及
び４ｂがある。この支持板４ａ及び４ｂは、回転軸３の
一端に設けられたフランジ部１８にある固定用のビン１
４とボルト及びナツトでなるクランプ６により取り付け
られている。また、回転軸３の他端には、チャック１を
この回転軸３を介して回転させる駆動機構部（図示せず
）と、この回転軸３を矢印１４の方向、すなわち上下方
向に昇降させる機構部（図示せず）が取り付けられてい
る。

ここで、チャック２に取り付けられた支持板４ｂにはめ
込まれた固定用のビンを中心にして、回転軸３のフラン
ジ部１８に取り付けられたボルトが支持板４ａの満５に
沿って摺動させることが出来るので、チャック１を任意
の角度に傾斜させてクランプ６により固定出来るように
なっている。

なお、この傾斜角度は平面に対して、例えば、８〜３０
°程度傾斜出来るようになっている。また、チャック１
の裏面には、表面の多数の穴と連なるニップル１６が設
けられており、このニップル１６の先にフレキシブルな
ホース１５が継なげられている。このフレキシブルなホ
ースの他端には排気装置（図示せず）が接続されている
。勿論、このホースの途中には、公知であるチャックの
回転に伴なうホース１５の捩じれ防、止機構（図示せず
）が取り付けられている。一方、このウェーハを載置し
回転させるチャック機構部を取り囲むように、一対のベ
ルト１７とプーリー７とでなるベルトコンベアが配置さ
れ、更に、その前段には、エレベータ９に乗せられたウ
ェーハ１を収納するカセッ１−８及びウェーハ１を押し
出すブツシャ−１０とが配置されている。

次に、ウェーハ外観検査装置の動作を説明する。

第１図で示すように、まず、エレベータ９が矢印１２の
方向に−ステップ上昇する。次に、プッシャー１０が前
進しカセットの棚１１に載置されたウェーハ１の側面を
押し、ウェーハ１をベルト１７に移載する。次に、ブリ
ーフの回転によりベルト１７が矢印の方向に走行してウ
ェーハ１を所定の位置に送り、そしてウェーハ１を停止
し位置決めする。

引続き、チャックを含めた機構部の動作を説明する。第
１図ではチャック２は上昇した位置にあるが、前述まで
の動作では、チャック２の表面はまだベルト１７の送り
面より下に位置している。

まず、チャック２が上昇し、チャック２の表面にウェー
ハ１を乗せるとともに排気装置を働かせて吸着する。次
に、あらかじめ所定の傾斜角度に設定されたチャック２
をゆっくり、例えばに、０゜２〜２ｒｐｍ程度の範囲で
回転数で回転し、ウェーハ１の表面を目３で観察しウェ
ーハ１の表面に欠陥があるか否かをチエツクする 検査終了したら、チャック２は再び下降し、ウェーハ１
をベルト１７の上に乗せ、別のハンドラー（図示せず）
により良品のウェーハは良品のウェーハ収納するカセッ
トに、不良品は不良品を収納するカセットに移載する。

このような動作を繰返して前述のカセット８に収納され
た全数のウェーハ１の検査を完了する。

また、この実施例では、ウェーハを載置する機構を、ベ
ルトコン−ベアとエレベータに乗せたカセットとの組み
合せた機構で説明したが、他の公知であるウェーハ１を
チャック２に載置するハンドラーを用いてもよい。

この装置を使用した結果、従来のビンセットでウェーハ
１を掴んでウェーハの外観検査を行なっていたときのウ
ェーハの損傷数を比べると、はとんど皆無に近かった。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、直接ウェーハをビンセッ
トで掴んで外観検査を行なうことがなくなったので、ウ
ェーハの表面に傷を付けることがないとともにウェーハ
を割ることのなくウェーハの外観検査が出来るようにな
った。従って、本発明によれば、ウェーハの表面に傷を
生じさせたり、ウェーハを割ることのないウェーハ外観
検査装置が得られるという効果がある。

る。

■・・・ウェーハ、２・・・チャック、３・・・回転軸
、４ａ、４ｂ・・・支持板、５・・・溝、６・・・クラ
ンプ、７・・・プーリー、８・・・カセッ！・、９・・
・エレベータ、１゜・・・プッシャー　１１・・・棚、
１２．１３．１４・・・矢印、１５・・・ホース、１６
・・・ニップル、１７・・・ベルト、１８・・・フラン
ジ部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 一主面に多数の穴を有するとともに他面に前記多数の穴
   と通する排気孔をもちウェーハを載置する平板状のチャ
   ックと、前記チャックを任意に傾斜させて固定する支持
   板と、前記支持板に連結され前記チャックを回転すると
   ともに上下駆動する回転軸と、前記チャックの前記排気
   孔と排気装置とを連結する可撓性のある排気管と、前記
   チャックに前記ウェーハを載置する機構部とを備えたこ
   とを特徴とするウェーハ外観検査装置。