JPS61178469A - 炭化珪素質焼結体の製法 - Google Patents
炭化珪素質焼結体の製法Info
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- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は強度及び靭性特性に優れると共に高耐食性の炭
化珪素質焼結体の製法に関するものであシ、殊に高温下
で鉄と当接するスキッドボタンなど過酷な条件下におい
ても優れた耐食性が要求される当接部材に好適な炭化珪
素質焼結体の製法に関するものである。
化珪素質焼結体の製法に関するものであシ、殊に高温下
で鉄と当接するスキッドボタンなど過酷な条件下におい
ても優れた耐食性が要求される当接部材に好適な炭化珪
素質焼結体の製法に関するものである。
炭化珪素質焼結体は耐酸化性、耐食性、耐熱性、耐熱衝
撃性、高温強度等の種々の優れた特性にょ夛、高温ガス
タービン用部品、自動車エンジン用部品、耐食部材及び
耐摩耗部材などに好適な材料である。しかしながら、炭
化珪素質焼結体は難焼結性であるため各種焼結助剤を添
加して緻密質な焼結体を得ることが行なわれている。こ
の焼結助剤として、例えばポロン（至）−カーボン（Ｃ
）系添加物があるが、緻密質な焼結体を得るために比較
的高遍な焼成が必要であシ、また焼結体の結晶構造は一
般に等軸的粒子となると共に粒界相が極めて少なくなっ
てい−る。従って、これに起因して焼結体の靭性が低く
、そして耐食性の更に一層の向上が望めない。例えば高
温にて鉄などに当接するスキッドボタンにおいてはその
材料として未だ十分に満足な耐食性が得られていない。
撃性、高温強度等の種々の優れた特性にょ夛、高温ガス
タービン用部品、自動車エンジン用部品、耐食部材及び
耐摩耗部材などに好適な材料である。しかしながら、炭
化珪素質焼結体は難焼結性であるため各種焼結助剤を添
加して緻密質な焼結体を得ることが行なわれている。こ
の焼結助剤として、例えばポロン（至）−カーボン（Ｃ
）系添加物があるが、緻密質な焼結体を得るために比較
的高遍な焼成が必要であシ、また焼結体の結晶構造は一
般に等軸的粒子となると共に粒界相が極めて少なくなっ
てい−る。従って、これに起因して焼結体の靭性が低く
、そして耐食性の更に一層の向上が望めない。例えば高
温にて鉄などに当接するスキッドボタンにおいてはその
材料として未だ十分に満足な耐食性が得られていない。
即ち、従来周知の通シ、炭化珪素質焼結体をスキツドボ
、タンに用いることによシ、スキッドボタンの冷却源を
不要にすると共にスキッドマークの発生を少なくし且つ
加熱炉内の熱効率が改善されることになった。しかしな
がら、耐食性については未だ満足し得るような好適特性
が得られておらず、加熱炉内の高温雰囲気中でスラブと
化学反応をおこす結果、この反応部の発生に伴ってスキ
ッドボタン表面に非晶質ができて反応部外面から容易に
亀裂が生じ、スキッドボタンが破壊する原因となってい
る。
、タンに用いることによシ、スキッドボタンの冷却源を
不要にすると共にスキッドマークの発生を少なくし且つ
加熱炉内の熱効率が改善されることになった。しかしな
がら、耐食性については未だ満足し得るような好適特性
が得られておらず、加熱炉内の高温雰囲気中でスラブと
化学反応をおこす結果、この反応部の発生に伴ってスキ
ッドボタン表面に非晶質ができて反応部外面から容易に
亀裂が生じ、スキッドボタンが破壊する原因となってい
る。
他方、アルミナ（ＡＪｚ○３）などのアルミニウム系添
加物を用いると緻密化しやすいが、焼結体が大きな体積
を有するのに伴って、焼結体の内部と外部で緻密化の不
均一が生じることが判っている。
加物を用いると緻密化しやすいが、焼結体が大きな体積
を有するのに伴って、焼結体の内部と外部で緻密化の不
均一が生じることが判っている。
即ち、アルミニウム系添加物を用いるにはアルミニウム
で５重量％以上添加する必要があり、粒界成分が多く且
つその分解量が大きくなっているため焼結体の内部と外
部で均一な緻密化が成されず、そして優れた耐食性が得
られていない。
で５重量％以上添加する必要があり、粒界成分が多く且
つその分解量が大きくなっているため焼結体の内部と外
部で均一な緻密化が成されず、そして優れた耐食性が得
られていない。
従って本発明は叙上に鑑みて完成されたものでアク、そ
の目的は焼結体の内部及び外部に亘って均一に緻密化さ
せ、優れた強度及び靭性特性を有する炭化珪素質焼結体
の製法を提供せんとするものである。
の目的は焼結体の内部及び外部に亘って均一に緻密化さ
せ、優れた強度及び靭性特性を有する炭化珪素質焼結体
の製法を提供せんとするものである。
本発明の他の目的は高耐食性の炭化珪素質焼結体の製法
を提供せんとするものであり、これによシ特にスキッド
ボタンなどの鉄と当接する部材に好適な材料として炭化
珪素質焼結体を提供するものである。
を提供せんとするものであり、これによシ特にスキッド
ボタンなどの鉄と当接する部材に好適な材料として炭化
珪素質焼結体を提供するものである。
本発明によれば、アルミニウムの単体及び化合物から選
ばれる少なくとも一種をアルミニウムに換算してα２〜
６重量％、希土類元素化合物の少なくとも一種を希土類
元素に換算して０．２〜５重量％、クロムの単体及び化
合物から選ばれる少なくとも一種をクロムに換算して０
．２〜ｌＯ重量％含み、残部が炭化珪素粉末から成る出
発原料を混合した後、この混合粉末を加圧成型及び焼結
又は加圧焼結したことを特徴とする炭化珪素質焼結体の
製法が提供される。
ばれる少なくとも一種をアルミニウムに換算してα２〜
６重量％、希土類元素化合物の少なくとも一種を希土類
元素に換算して０．２〜５重量％、クロムの単体及び化
合物から選ばれる少なくとも一種をクロムに換算して０
．２〜ｌＯ重量％含み、残部が炭化珪素粉末から成る出
発原料を混合した後、この混合粉末を加圧成型及び焼結
又は加圧焼結したことを特徴とする炭化珪素質焼結体の
製法が提供される。
原料粉末として用いる炭化珪素はα相、β相のいずれで
もよいが、安価で大量に生産できるα相が望ましい。又
、その平均粒径はＬＯβ屑以下が望ましく、好適にはα
５μｍ以下がよい。
もよいが、安価で大量に生産できるα相が望ましい。又
、その平均粒径はＬＯβ屑以下が望ましく、好適にはα
５μｍ以下がよい。
本発明においては、この炭化珪素原料にアルミニウムの
単体及び化合物から選ばれる少なくとも一種（以下、第
１成分と称する）及び希土類元素化合物の少なくとも一
種（以下、第２成分と称する）を含有させ、更にクロム
の単体及び化合物から選ばれる少なくとも一種（以下、
第３成分と称する）も含有させることが１手であシ、そ
れぞれの添加成分を必須不可欠としてその添加量を所定
範囲内に設定し、非酸化性雰囲気中で焼成することによ
り本発明の目的を達成することができる。
単体及び化合物から選ばれる少なくとも一種（以下、第
１成分と称する）及び希土類元素化合物の少なくとも一
種（以下、第２成分と称する）を含有させ、更にクロム
の単体及び化合物から選ばれる少なくとも一種（以下、
第３成分と称する）も含有させることが１手であシ、そ
れぞれの添加成分を必須不可欠としてその添加量を所定
範囲内に設定し、非酸化性雰囲気中で焼成することによ
り本発明の目的を達成することができる。
第１成分にはアルミニウム金属、酸化物、炭化物、窒化
物、硫化物などかあシ、例えばアルミナ粉末、アルミナ
ゾル、アルミナゲ〃、炭化アルミニウム（Ａ１４０３）
、窒化アルミニウム（ＡＪＮ）などがあり、他に硫酸
アルミニウム、硝酸アルミニウム（Ａｌ（ＮＯ３）３）
、炭酸アルミニウム（ＡＪ（Ｃｏｗ）３）などが考えら
れる。
物、硫化物などかあシ、例えばアルミナ粉末、アルミナ
ゾル、アルミナゲ〃、炭化アルミニウム（Ａ１４０３）
、窒化アルミニウム（ＡＪＮ）などがあり、他に硫酸
アルミニウム、硝酸アルミニウム（Ａｌ（ＮＯ３）３）
、炭酸アルミニウム（ＡＪ（Ｃｏｗ）３）などが考えら
れる。
第１成分は炭化珪素質の結晶粒の粒界を形成するもので
あって、本発明者の実験によれば炭化物が生成されてい
るのを確認した。この添加量は出発ｉｉｏ全量中ア〃ミ
ニウムに換算して０．２〜６重量％の範囲に設定すれば
よく、α２重量％未満であると充分な緻密体が得られず
、５重量％を越えると高温での強度が劣化すると共に耐
食性が低下し、特に鉄や酸化鉄と度応しやすい化合物が
粒界に多く残ってこれらとの高温での耐食性が顕著に劣
ることが判った。本発明者が種々の実験を繰り返し行な
った結果、第１成分中、アルミナＣＡ１２０ｓ）、窒化
アルミニウム（ＡＩＮ）が高温での安定性に優れている
ため、本発明の目的を達成するうえで好適な成分である
ことを確認した。
あって、本発明者の実験によれば炭化物が生成されてい
るのを確認した。この添加量は出発ｉｉｏ全量中ア〃ミ
ニウムに換算して０．２〜６重量％の範囲に設定すれば
よく、α２重量％未満であると充分な緻密体が得られず
、５重量％を越えると高温での強度が劣化すると共に耐
食性が低下し、特に鉄や酸化鉄と度応しやすい化合物が
粒界に多く残ってこれらとの高温での耐食性が顕著に劣
ることが判った。本発明者が種々の実験を繰り返し行な
った結果、第１成分中、アルミナＣＡ１２０ｓ）、窒化
アルミニウム（ＡＩＮ）が高温での安定性に優れている
ため、本発明の目的を達成するうえで好適な成分である
ことを確認した。
第２成分にはＳｃ、Ｙ、Ｌａ、 Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ。
Ｐｍ、 Ｓｍ、 ｍ、 Ｇｄ、 ＴＩ）、 Ｄｙ、 ［
０，Ｅｒ、 ’Ｉ’ｍ。
０，Ｅｒ、 ’Ｉ’ｍ。
Ｔｈ、Ｌｕの元素に対して酸化物、窒化物、水酸化物が
あるが、他にフッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化物、炭
酸塩、硝酸塩、水酸化物、アルコキシド、リン酸塩、シ
ュウ酸塩、硫酸塩なども考えられる。就中、高温での安
定性に優れている酸化物、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、
アルコキシド等を用いるのが望ましい。
あるが、他にフッ化物、塩化物、臭化物、ヨウ化物、炭
酸塩、硝酸塩、水酸化物、アルコキシド、リン酸塩、シ
ュウ酸塩、硫酸塩なども考えられる。就中、高温での安
定性に優れている酸化物、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、
アルコキシド等を用いるのが望ましい。
第２成分は焼結助剤の添加総量を減少させると共に焼結
性を向上させるものであシ、高温での強度及び耐食性を
更に一層向上させるものである。
性を向上させるものであシ、高温での強度及び耐食性を
更に一層向上させるものである。
この添加量は出発原料の全量中希土類元素に換算して０
．２〜５重量％の範囲に設定すればよく、α２重量％未
満であると焼結不足となり、５重１％を越えると余剰の
希土類元素が粒界に残って耐食性が劣化することが判っ
た。
．２〜５重量％の範囲に設定すればよく、α２重量％未
満であると焼結不足となり、５重１％を越えると余剰の
希土類元素が粒界に残って耐食性が劣化することが判っ
た。
第３成分にはクロム金属、酸化物、炭化物などがあり、
他にクロム酸塩、ハロゲン化クロムなども考えられる。
他にクロム酸塩、ハロゲン化クロムなども考えられる。
′ｉｇ３成分を添加すると耐食性に顕著な効果が認めら
れる。クロム酸化物を用いると炭化珪素質と反応して珪
化物が生成されるが、炭化クロムを用いると粒界に一部
その粒子が散在し、更に耐食性向上に寄与する。この炭
化クロムには高融点を有するＯｒ ３ Ｃ２の組成のも
のが最も有利に使用されるが、この組成以外の炭化クロ
ムとしてＣｒｙ’３やＣｒｕＣｓも考えられる。そして
本発明においてはこの第８成分の添加量をα２〜１０重
量％の範囲内に設定するのが望ましい。
れる。クロム酸化物を用いると炭化珪素質と反応して珪
化物が生成されるが、炭化クロムを用いると粒界に一部
その粒子が散在し、更に耐食性向上に寄与する。この炭
化クロムには高融点を有するＯｒ ３ Ｃ２の組成のも
のが最も有利に使用されるが、この組成以外の炭化クロ
ムとしてＣｒｙ’３やＣｒｕＣｓも考えられる。そして
本発明においてはこの第８成分の添加量をα２〜１０重
量％の範囲内に設定するのが望ましい。
また、本発明の製法により得られる炭化珪素質焼結体は
高温下で鉄材を支持もしくは鉄材と当接するものとして
使用すれば、更に顕著な効果をもたらすものであり、例
えば前述した通シ、スラブ加熱炉内で使われるセラミッ
ク製のスキッドボタンがある。
高温下で鉄材を支持もしくは鉄材と当接するものとして
使用すれば、更に顕著な効果をもたらすものであり、例
えば前述した通シ、スラブ加熱炉内で使われるセラミッ
ク製のスキッドボタンがある。
斯様に著しく優れた耐食性が要求される当接部材を提供
せんがためには第１成分乃至第８成分の添加量を前述し
た通シに設定すればよいが、望ましくは出発原料の全量
中、第１成分をアルミニウムに換算でα２〜８重量％、
希土類元素化合物を希土類元素に換算してα２〜２重量
％、クロム化合物をクロムに換算してα４〜５重量％に
するとよい。
せんがためには第１成分乃至第８成分の添加量を前述し
た通シに設定すればよいが、望ましくは出発原料の全量
中、第１成分をアルミニウムに換算でα２〜８重量％、
希土類元素化合物を希土類元素に換算してα２〜２重量
％、クロム化合物をクロムに換算してα４〜５重量％に
するとよい。
本発明によれば、前述した通りの第１成分乃至第３成分
については、それぞれ所定範囲内の添加量に設定すると
共に各成分をそれぞれ単独で或いは組合せて使用し得る
。また出発原料の段階で溶液のものであれば焼結体の緻
密化を促すものであるが、粉末であればその粒径を小さ
くするのが望ましい。その平均粒径は特に厳密な範囲設
定を必要としないが、ＬＯ１１１１１以下が望ましく、
好適には０．５μＭ以下がよい。
については、それぞれ所定範囲内の添加量に設定すると
共に各成分をそれぞれ単独で或いは組合せて使用し得る
。また出発原料の段階で溶液のものであれば焼結体の緻
密化を促すものであるが、粉末であればその粒径を小さ
くするのが望ましい。その平均粒径は特に厳密な範囲設
定を必要としないが、ＬＯ１１１１１以下が望ましく、
好適には０．５μＭ以下がよい。
本発明に係る炭化珪素質焼結体は第１成分乃至第３成分
を必須成分として含有するが、この焼結体は上記成分以
外の成分の含有を排除するものではない。
を必須成分として含有するが、この焼結体は上記成分以
外の成分の含有を排除するものではない。
例えば添加成分の混合粉砕時にボール等の粉砕媒体を使
用するときには、この粉砕媒体を構成する成分が混合粉
砕物中に必然的に含有されるようになる。この混入され
る成分が焼結時に炭化珪素や第１成分乃至第３成分と反
応し或いは悪影響を及ぼさない＠す、このような成分の
混入は勿論許容される。
用するときには、この粉砕媒体を構成する成分が混合粉
砕物中に必然的に含有されるようになる。この混入され
る成分が焼結時に炭化珪素や第１成分乃至第３成分と反
応し或いは悪影響を及ぼさない＠す、このような成分の
混入は勿論許容される。
本発明の炭化珪素質焼結体中に混入されることが許容さ
れる成分は、ジルコニア（ＺｒＯｚ）、タングステンカ
ーバイド（ｗＣ）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）等がある。
れる成分は、ジルコニア（ＺｒＯｚ）、タングステンカ
ーバイド（ｗＣ）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）等がある。
また上記ボーμにアルミナなどの添加成分を含有させる
か、アルミナボーμを用いるこトニより混合粉砕物中に
第１成分乃至第３成分を含有させることは差支えない。
か、アルミナボーμを用いるこトニより混合粉砕物中に
第１成分乃至第３成分を含有させることは差支えない。
本発明の製法においては、上述に従って得られた原料を
湿式混合し、成形用バインダー等が添加され、乾燥造粒
の後、プレス法等によシ所望形状に成型される。
湿式混合し、成形用バインダー等が添加され、乾燥造粒
の後、プレス法等によシ所望形状に成型される。
次いで、この成形体をアルゴン雰囲Ｘもしくは含窒素雰
囲気下の非酸化性雰囲気中で焼結する。
囲気下の非酸化性雰囲気中で焼結する。
或いは成形と焼結を同時に行う加圧焼結（ホットプレス
など）でもよい。 ′ 本発明によれば焼成温度を１８５０〜２０５０℃の範囲
（ホットプレスにおいては１７５０−２０５０℃の温度
範囲）に設定すればよく、１８５０℃未満では焼結不足
になると共に均一な組織の焼結体が得られず、 ２０５
０℃を越えると焼成時の分解が激しぐなると共に異常な
粒成長がおき、得られた焼結体の特性が著しく劣化する
ことを実験上確認した。又、焼成時間は０．５〜１０時
間位でよい。
など）でもよい。 ′ 本発明によれば焼成温度を１８５０〜２０５０℃の範囲
（ホットプレスにおいては１７５０−２０５０℃の温度
範囲）に設定すればよく、１８５０℃未満では焼結不足
になると共に均一な組織の焼結体が得られず、 ２０５
０℃を越えると焼成時の分解が激しぐなると共に異常な
粒成長がおき、得られた焼結体の特性が著しく劣化する
ことを実験上確認した。又、焼成時間は０．５〜１０時
間位でよい。
次に本発明の実施例について説明する。
α相炭化珪素粉末（平均粒径０．５μｍ、）に第１成分
（平均粒径α６μＩＭ）、第２成分（平均粒径α８μｆ
Ｉｔ）及び第３成分（平均粒径Ｌ８μｍ）を添加し、第
１表に示すような配合組成比になるようにした。
（平均粒径α６μＩＭ）、第２成分（平均粒径α８μｆ
Ｉｔ）及び第３成分（平均粒径Ｌ８μｍ）を添加し、第
１表に示すような配合組成比になるようにした。
この配合粉末を回転ミルにて湿式混合し、この混合スラ
リーに有機バインダーを溶液で適量加えた後、噴霧式乾
燥造粒を行なった。次いで、１２０Ｘ １２０ Ｘ １
０ ｗｔｍの平板に成型し、脱バインダー後、不活性雰
囲気中第１表に示す通シの焼成温度で雰囲気焼成するこ
とにより試料１乃至５４を得た。
リーに有機バインダーを溶液で適量加えた後、噴霧式乾
燥造粒を行なった。次いで、１２０Ｘ １２０ Ｘ １
０ ｗｔｍの平板に成型し、脱バインダー後、不活性雰
囲気中第１表に示す通シの焼成温度で雰囲気焼成するこ
とにより試料１乃至５４を得た。
かくして得られた焼結体を４ Ｘ ３ Ｘ ８５ｍｍ（
ＪＩＳ規格による抗折片影状）に切出した後、Ｊ工ＳＲ
−１６０１の４点曲げ試験法によシ常温及び１８００℃
での曲げ強度を測定した。靭性特性はビッカース圧子を
用いて各試料に一定荷重による圧痕のエツジより生じる
亀裂の長さから破壊靭性として測定した。また耐食性試
験は１００ Ｘ １００ Ｘ ５ ＃ｌｌ の平板に切
出し、同形状の酸化処理し尼鋼片を乗せ、１２５０℃、
水蒸気２．□ Ｖｏ１％の酸化雰囲気中で２４時間１０
Ｓｅｅ ／ ＱｙＱｌｅの割合で鋼片の上げ降ろしを
繰返し、その後、鋼片による侵食量を測定した。
ＪＩＳ規格による抗折片影状）に切出した後、Ｊ工ＳＲ
−１６０１の４点曲げ試験法によシ常温及び１８００℃
での曲げ強度を測定した。靭性特性はビッカース圧子を
用いて各試料に一定荷重による圧痕のエツジより生じる
亀裂の長さから破壊靭性として測定した。また耐食性試
験は１００ Ｘ １００ Ｘ ５ ＃ｌｌ の平板に切
出し、同形状の酸化処理し尼鋼片を乗せ、１２５０℃、
水蒸気２．□ Ｖｏ１％の酸化雰囲気中で２４時間１０
Ｓｅｅ ／ ＱｙＱｌｅの割合で鋼片の上げ降ろしを
繰返し、その後、鋼片による侵食量を測定した。
この侵食具合を１．２，３．４．５の６段階に分けてそ
の数値が大きくなるのに伴って順次良好な耐侵食特性で
あることを示し、４，５は本発明の第１表より明らかな
通シ、本発明の試料Ａ ３ 。
の数値が大きくなるのに伴って順次良好な耐侵食特性で
あることを示し、４，５は本発明の第１表より明らかな
通シ、本発明の試料Ａ ３ 。
４．６，７，１０．１１．１４乃至１６．１９乃至２２
．２４乃至４８においては強度が３０ ｋｇ ／ ｍｍ
以上、靭性が５ ＭＮ ／ ｍ”以上であり、且つ優
れた耐食性が示すことが判った。また、いずれの試料に
ついても焼結体の中心部及び外周部からの切出し品の比
重と硬度を測定したところ、その差はほとんど認められ
ず均一な緻密体であった。
．２４乃至４８においては強度が３０ ｋｇ ／ ｍｍ
以上、靭性が５ ＭＮ ／ ｍ”以上であり、且つ優
れた耐食性が示すことが判った。また、いずれの試料に
ついても焼結体の中心部及び外周部からの切出し品の比
重と硬度を測定したところ、その差はほとんど認められ
ず均一な緻密体であった。
然るに試料Ａ１．２では焼成温度が低いため焼結不良と
なり、また試料７１＆５，８，９．１２では第１成分の
配合比率が、試料＆ １３ 、１７では第２成分の配合
比率が、試料＆ １８ 、２３では第８成分の配合比率
が本発明の範囲から外れているため強度、靭性または耐
食性について優れた特性が得られなかった。
なり、また試料７１＆５，８，９．１２では第１成分の
配合比率が、試料＆ １３ 、１７では第２成分の配合
比率が、試料＆ １８ 、２３では第８成分の配合比率
が本発明の範囲から外れているため強度、靭性または耐
食性について優れた特性が得られなかった。
試料應４９については焼成温度が高いため分解が激しく
なると共に異常な粒成長がおき、いずれの特性も劣化し
ていた。また試料Ａ５０乃至５４によれば第１成分乃至
第３成分のうち添加成分が欠けたシ、他の焼結助剤を用
いては本発明の如き優れた特性が得られないことが明白
である。
なると共に異常な粒成長がおき、いずれの特性も劣化し
ていた。また試料Ａ５０乃至５４によれば第１成分乃至
第３成分のうち添加成分が欠けたシ、他の焼結助剤を用
いては本発明の如き優れた特性が得られないことが明白
である。
上述の通シ、本発明の製法によシ得られた炭化珪素質焼
結体は焼結体の内部及び外部に亘って均一に緻密化させ
ることによシ優れた強度及び靭性特性を有することがで
きた。更に高耐食性を示しており、高温下で鉄材と当接
するスキッドボタンなど過酷な条件下においても優れた
耐食性が要求される当接部材を提供できるものである。
結体は焼結体の内部及び外部に亘って均一に緻密化させ
ることによシ優れた強度及び靭性特性を有することがで
きた。更に高耐食性を示しており、高温下で鉄材と当接
するスキッドボタンなど過酷な条件下においても優れた
耐食性が要求される当接部材を提供できるものである。
Claims (1)
- アルミニウムの単体及び化合物から選ばれる少なくとも
一種をアルミニウムに換算して０．２〜５重量％、希土
類元素化合物の少なくとも一種を希土類元素に換算して
０．２〜５重量％、クロムの単体及び化合物から選ばれ
る少なくとも一種をクロムに換算して０．２〜１０重量
％含み、残部が炭化珪素粉末から成る出発原料を混合し
た後、この混合粉末を加圧成型及び焼結又は加圧焼結し
たことを特徴とする炭化珪素質焼結体の製法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60019068A JPH0777986B2 (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 炭化珪素質焼結体の製法 |
| US06/823,931 US4681861A (en) | 1985-01-31 | 1986-01-29 | Silicon carbide sintered body and process for production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60019068A JPH0777986B2 (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 炭化珪素質焼結体の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61178469A true JPS61178469A (ja) | 1986-08-11 |
| JPH0777986B2 JPH0777986B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=11989112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60019068A Expired - Lifetime JPH0777986B2 (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 炭化珪素質焼結体の製法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4681861A (ja) |
| JP (1) | JPH0777986B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| US5371049A (en) * | 1989-01-09 | 1994-12-06 | Fmc Corporation | Ceramic composite of silicon carbide and aluminum nitride |
| US5108963A (en) * | 1989-02-01 | 1992-04-28 | Industrial Technology Research Institute | Silicon carbide whisker reinforced alumina ceramic composites |
| US5298470A (en) * | 1989-09-22 | 1994-03-29 | The Carborundum Company | Silicon carbide bodies having high toughness and fracture resistance and method of making same |
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| JP2003528148A (ja) * | 2000-03-28 | 2003-09-24 | デロレンゾ、ロバート・ジェイ | 損傷に際して神経細胞中に形成される新規カルシウム損傷電流の阻害は神経細胞死を抑制する |
| DE102004002080B4 (de) * | 2004-01-15 | 2007-03-29 | Clariant Produkte (Deutschland) Gmbh | Demulgatoren für Mischungen aus Mitteldestillaten mit Brennstoffölen pflanzlichen oder tierischen Ursprungs und Wasser |
| WO2013094934A1 (en) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | Lg Innotek Co., Ltd. | Method of fabricating silicon carbide powder |
| RU2625845C1 (ru) * | 2016-02-03 | 2017-07-19 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Доминант" | Способ изготовления карбидокремниевого керамического материала |
| JP6781261B2 (ja) * | 2017-02-23 | 2020-11-04 | 住友大阪セメント株式会社 | 複合焼結体、静電チャック部材、および静電チャック装置 |
| US11990362B2 (en) * | 2019-05-22 | 2024-05-21 | Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. | Composite sintered body, electrostatic chuck member, electrostatic chuck device, and method for manufacturing composite sintered body |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60145960A (ja) * | 1984-01-10 | 1985-08-01 | 黒崎窯業株式会社 | 耐食性を有する高靱性セラミックス焼結体の製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS57196770A (en) * | 1981-05-25 | 1982-12-02 | Sumitomo Electric Industries | Silicon carbide member and manufacture |
| JPS57209884A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-23 | Kobe Steel Ltd | Manufacture of high strength silicon carbide sintered body |
| JPS5921579A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-03 | 大森 守 | 炭化珪素焼結成形体とその製造方法 |
-
1985
- 1985-01-31 JP JP60019068A patent/JPH0777986B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-01-29 US US06/823,931 patent/US4681861A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60145960A (ja) * | 1984-01-10 | 1985-08-01 | 黒崎窯業株式会社 | 耐食性を有する高靱性セラミックス焼結体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4681861A (en) | 1987-07-21 |
| JPH0777986B2 (ja) | 1995-08-23 |
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