JPS61175426A - 清浄搬送装置 - Google Patents
清浄搬送装置Info
- Publication number
- JPS61175426A JPS61175426A JP1733185A JP1733185A JPS61175426A JP S61175426 A JPS61175426 A JP S61175426A JP 1733185 A JP1733185 A JP 1733185A JP 1733185 A JP1733185 A JP 1733185A JP S61175426 A JPS61175426 A JP S61175426A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- area
- clean
- hood
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、天井から床に向けて流下する清浄な空気にて
塵埃が半導体素子の搭載領域に侵入するのを防止するよ
うにした半導体素子の搬送に用いる清浄搬送装置に関す
るものである。
塵埃が半導体素子の搭載領域に侵入するのを防止するよ
うにした半導体素子の搬送に用いる清浄搬送装置に関す
るものである。
従来、清浄度の高い室内において、搬送装置に半導体素
子を搭載して行なっている。第２図は、従来の半導体素
子を搬送する装置１の室内を示す図で、天井Ｕから床り
に向けて破線で示すように空気を流下させて室内を清浄
化するもので、搬送装置１における半導体素子の搭載領
域Ｓ１と搬送装置１の通過領域Ｓ２は同圧になっている
。
子を搭載して行なっている。第２図は、従来の半導体素
子を搬送する装置１の室内を示す図で、天井Ｕから床り
に向けて破線で示すように空気を流下させて室内を清浄
化するもので、搬送装置１における半導体素子の搭載領
域Ｓ１と搬送装置１の通過領域Ｓ２は同圧になっている
。
上述した従来の搬送装置は、搬送装置付近を通過する人
から発生する塵埃、搬送装置が通過することによって生
じる乱気流によって、巻き上がる塵埃が半導体素子を汚
染し、その製品の品質に悪影響を与えるという欠点があ
った。
から発生する塵埃、搬送装置が通過することによって生
じる乱気流によって、巻き上がる塵埃が半導体素子を汚
染し、その製品の品質に悪影響を与えるという欠点があ
った。
本発明は前記問題点を解消するもので、天井から流下す
る空気流と、搬送装置の移動速度を利用して、搬送装置
の通過領域に対して、搬送装置の半導体素子を搭載する
領域の空気圧を高圧とし、半導体素子の搭載領域に塵埃
が侵入するのを防止する装置を提供するものである。
る空気流と、搬送装置の移動速度を利用して、搬送装置
の通過領域に対して、搬送装置の半導体素子を搭載する
領域の空気圧を高圧とし、半導体素子の搭載領域に塵埃
が侵入するのを防止する装置を提供するものである。
本発明は搬送装置の半導体素子の搭載領域を天井から床
に向けて吹き降ろした空気によって、清浄に保たせる清
浄装置において、天井からその下の搬送装置に至る空間
をクリーンフードで仕切り、搬送装置の進行方向の上部
に空気取入口を開口するとともに、その下部に空気排気
口を空気取入口の開口面積よシ小としたことを特徴とす
る清浄搬送装置である。
に向けて吹き降ろした空気によって、清浄に保たせる清
浄装置において、天井からその下の搬送装置に至る空間
をクリーンフードで仕切り、搬送装置の進行方向の上部
に空気取入口を開口するとともに、その下部に空気排気
口を空気取入口の開口面積よシ小としたことを特徴とす
る清浄搬送装置である。
以下、本発明の一実施例を図によって説明する。
第１図は本発明の実施例であり、半導体素子を搬送する
装置１の上方の天井Ｕから床り方向に流下する清浄な空
気を積極的に導入するために、クリーンフード２を搬送
装置１の上部に設直し、このクリーンフード２の上部に
清浄な空気を取入れる空気取入口２ａを搬送装置１の進
行方向Ｃの上方に開口し、半導体素子の搭載領域Ｓ１と
通過領域Ｓ２との間に位置するフード２の下部に空気排
気口２ｂを設けたものであり、この排気口２ｂの開口面
積を空気取入口２ａの開口面積よシ小径に設定する。
装置１の上方の天井Ｕから床り方向に流下する清浄な空
気を積極的に導入するために、クリーンフード２を搬送
装置１の上部に設直し、このクリーンフード２の上部に
清浄な空気を取入れる空気取入口２ａを搬送装置１の進
行方向Ｃの上方に開口し、半導体素子の搭載領域Ｓ１と
通過領域Ｓ２との間に位置するフード２の下部に空気排
気口２ｂを設けたものであり、この排気口２ｂの開口面
積を空気取入口２ａの開口面積よシ小径に設定する。
したがって、空気排気口２ｂの箇所で空気流が絞シ込ま
れるため、この空気排気口２ｂ部分の圧力が高くなり、
半導体素子の搭載領域ｓ１と通過領域ｓ２との圧力がＳ
ｌ ） Ｓ２となり、その両者間に圧力差が生じる。こ
れによって圧力差で半導体素子の搭載領域Ｓ１への塵埃
の侵入が阻止される。
れるため、この空気排気口２ｂ部分の圧力が高くなり、
半導体素子の搭載領域ｓ１と通過領域ｓ２との圧力がＳ
ｌ ） Ｓ２となり、その両者間に圧力差が生じる。こ
れによって圧力差で半導体素子の搭載領域Ｓ１への塵埃
の侵入が阻止される。
以上説明した通シ本発明装置によれば、搬送装置の移動
速度を利用して、局部的に清浄度を高めたい個所の空気
圧を上げ、圧力差を生じさせるため、その圧力差によシ
搬送装置への塵埃の侵入を阻止して清浄度を維持でき、
したがって半導体素子の汚染が極めて低減され製品の品
質への悪影響を阻止できる効果を有するものである。
速度を利用して、局部的に清浄度を高めたい個所の空気
圧を上げ、圧力差を生じさせるため、その圧力差によシ
搬送装置への塵埃の侵入を阻止して清浄度を維持でき、
したがって半導体素子の汚染が極めて低減され製品の品
質への悪影響を阻止できる効果を有するものである。
第１図は本発明の実施例を示す構成図、第２図は従来に
おける半導体素子の搬送装置、搭載領域、清浄な空気流
との関係を示す構成図である１・・・搬送装置、２・・
・クリーンフード、２ａ・・・空気取入口、２ｂ・・・
空気排気口、Ｓｌ・・・半導体素子の搭載領域、Ｓ２・
・・搬送装置の通過領域、Ｃ・・・搬送装置の進行方向
、Ｕ・・・天井、Ｄ・・・床。 Ｕ：天井 り二人 １：搬送装置 ２：クリーンフード λ：空％取入口 ２ｂ：？箋排気口
おける半導体素子の搬送装置、搭載領域、清浄な空気流
との関係を示す構成図である１・・・搬送装置、２・・
・クリーンフード、２ａ・・・空気取入口、２ｂ・・・
空気排気口、Ｓｌ・・・半導体素子の搭載領域、Ｓ２・
・・搬送装置の通過領域、Ｃ・・・搬送装置の進行方向
、Ｕ・・・天井、Ｄ・・・床。 Ｕ：天井 り二人 １：搬送装置 ２：クリーンフード λ：空％取入口 ２ｂ：？箋排気口
Claims (1)
- （１）半導体素子を、天井から床に向けて吹き降ろした
空気によって清浄しつつ搬送する清浄搬送装置において
、天井からその下の搬送装置に至る空間をクリーンフー
ドで仕切り、天井に面した該クリーンフードの上部に空
気取入口を開口すると共に、その下部に空気排気口を開
口し、該空気排気口の開口面積を空気取入口の開口面積
より小とし、搬送装置の移動速度を利用し、清浄空気を
クリーンフードに取入れることを特徴とする清浄搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1733185A JPS61175426A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 清浄搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1733185A JPS61175426A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 清浄搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61175426A true JPS61175426A (ja) | 1986-08-07 |
Family
ID=11941068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1733185A Pending JPS61175426A (ja) | 1985-01-31 | 1985-01-31 | 清浄搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61175426A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06199418A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-19 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
-
1985
- 1985-01-31 JP JP1733185A patent/JPS61175426A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06199418A (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-19 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
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