JPS61165638A - 粒子解析装置 - Google Patents

粒子解析装置

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JPS61165638A
JPS61165638A JP60007039A JP703985A JPS61165638A JP S61165638 A JPS61165638 A JP S61165638A JP 60007039 A JP60007039 A JP 60007039A JP 703985 A JP703985 A JP 703985A JP S61165638 A JPS61165638 A JP S61165638A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、フローサイトメータ等において、測光用対物
レンズの合軸状態の判定を可能とした粒子解析装置に関
するものである。
[従来の技術] フローサイトメータ等に用いられる従来の粒子解析装置
では、フローセルの中央部の例えば704mX 207
Lmの微小な矩形断面を有する流通部内を、シース液に
包まれて通過する血球細胞などの検体に照射光を照射し
、その結果生ずる前方及び側方散乱光により、検体の形
状・大きさe屈折率等の粒子的性質を得ることが可能で
ある。また、蛍光剤により染色され得る検体に対しては
、照射光とほぼ直角方向の側方散乱光から検体の蛍光を
検出することにより、検体を解析するための重要な情報
を求めることができる。
フローサイトメータ等において正確な測定を行うために
は、検体粒子以外の物体からの疑似信号が混入しないよ
うに、測光用の対物レンズにより正確に検体粒子或いは
その極〈近傍のみを集光させると共に、検体粒子の流れ
の軸と光軸とを正確に一致させなければならない、その
ために、測光用対物レンズの光軸調整及び焦点調整を行
う必要があるが、従来装置においては測定前に標準サン
プルを流しながら、操作者が目視により手動で光軸調整
及び焦点調整を行っているので、操作が繁雑である上に
、操作者によって個人差が生じ、十分に正確な光軸調整
及び焦点調整を行うことが困難である。
また、測定中に光軸及び焦点の移動が生じた場合に、そ
の確認が不可能なため、測定途中で疑似信号が混入した
か否かを判別できず、データの信頼性についての不安が
ある。
更に、ノズルやフローセル等を交換するごとに光軸及び
焦点調整を必要とし、測定に手間が掛かる欠点がある。
また、蛍光測定を行う場合に微弱な蛍光信号を強化する
必要があるが、そのために蛍光を検出する光電検出器を
フォトマルにすること・蛍光剤の発光効率を向上させる
こと・照射光源のパワーを増大させること・対物レンズ
の集光効率を向上させること等が考えられている。蛍光
剤の発光効率は現在のところ盛んに研究されており、照
射光源のパワーの増大は製造コストを無視すれば相当に
増大させることができるが、反面で極端にパワーを増大
させ過ぎると検体粒子を傷付けることにもなり良い方法
とは云い難い。
測光用対物レンズの集光効率の向上は、対物レンズの開
口数を上げれば達成されるが、その代償として焦点深度
が浅くなるという逆効果を伴うことになる。焦点深度が
浅くなれば、流通部と対物レンズとの間の距離が僅かに
移動しただけでも。
検体粒子からの信号だけでなく他の物体からの信号が混
入してしまい、正確な測定を行うことができない、この
ように、従来装置では焦点調整が繁雑である上に、十分
な蛍光信号強度が得られず、解析精度が向上しないとい
う欠点がある。
〔発明の目的] 本発明の目的は、測光用対物レンズの検体粒子に対する
合軸状態を検出し、光軸調整を容易にしかも正確に行い
得ると共に、十分な蛍光信号強度を得ることによって測
定精度を向上させ得る粒子解析装置を提供することにあ
る。
[発明の概要1 上述の目的を達成するための本発明の要旨は、フローセ
ル内の流通部を流れる検体粒子に光ビームを照射する照
射光学系と、光ビームが検体粒子によって散乱された散
乱光を測定する測光光学系とを備え、該測光光学系内に
、測光用対物レンズの合軸状態を検出する光軸検出手段
を設けたことを特徴とする粒子解析装置である。
[発明の実施例] 本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
第1図は粒子解析装置の構成図であり、フローセル1の
中央部の紙面に垂直の流通部z内を検体粒子Sが通過し
、この流れと直交する方向にレーザー光源3が配置され
ている。このレーザー光源3から出射されたレーザー光
りの光軸0上に、検体粒子Sに対してレーザー光源3側
に2組のシリンドリカルレンズを直交させて成る結像レ
ンズ4が配置されている。また、検体粒子Sに対してレ
ーザー光源3と反対側の光軸0上に、遮光板5、集光レ
ンズ6、光電検出器7が順次に配列されている。
また、レーザー光りの光軸0及び検体粒子Sの流れの中
心方向のそれぞれとほぼ直交する方向に、測光用対物レ
ンズ8を含むオートフォーカス及びオートアライメント
ユニット(以下AF@AAユニットと云う)9、集光レ
ンズ10、絞り板11.集光レンズ12、グイクロイッ
クミラー等から成る波長選別手段13.14.15が順
次に配列され、光路に対して斜設されたこれらの波長選
別手段13.14.15により反射された方向の光軸上
に、バリヤフィルタ16・光電検゛出器17、バリヤフ
ィルタ18・光電検出器19、バリヤフィルタ20・光
電検出器21がそれぞれ配置されている。そして、これ
らの光電検出器17.19.21には、例えば微弱光を
増強して検出することが可能なフォトマルが使用されて
いる。
従って、レーザー光源3から出射されたレーザー光りは
、2組のシリンドリカルレンズを直交させた結像レンズ
4により任意の長径・短径の結像ビームに成形され、流
通部2内を流れる検体粒子Sに照射される。検体粒子S
に照射され散乱された散乱光のうち、前方散乱光は遮光
板5によって検体粒子Sが無い位置を通過した照射光が
取り除かれ、集光レンズ6を介して光電検出器7に集光
され、検体粒子Sの性状が測定される。
また、各種蛍光剤により染色された検体粒子Sについて
は、側方散乱光としてAF−AAユニット9内の対物レ
ンズ8を介して、集光レンズ10により絞り板11に集
光される。側方散乱光及び蛍光は、検体粒子Sに共役な
位置に設置されたこの絞り板llを通過させることによ
り、雑音の少ない測光信号を得ることができる。絞り板
11を通過後の光束を集光レンズ12により平行光束と
し、適当な分光特性を持たせた波長選別手段13によっ
て側方散乱光と蛍光とに分光し、側方散乱光はバリヤフ
ィルタ16及び光電検出器17で検出され、検体粒子S
内部の顆粒性が観測できる。
一方、蛍光は波長選別手段13を通過し、波長選別手段
14によって例えば緑色蛍光と赤色蛍光とに分光され、
緑色蛍光はバリヤフィルタ18を介して光電検出器19
で検出され、赤色蛍光は波長選別手段15とバリヤフィ
ルタ2oを介して光電検出器21で検出され、検体粒子
の生化学的性質が観測される。
なお、蛍光を選別する波長選別手段14.15としては
緑赤二色のグイクロイックミラーが使用されているが、
例えば波長を連続的に分光できる分光プリズム或いは回
折格子等の波長選別手段を用いてもよい、また、光源3
と結像レンズ4との間に、ビームエキスパンダ又はビー
ムコンプレッサ等のビーム径可変手段を挿入することも
できる。
ここで微弱光の集光効率を上げ、なおかつ正確に合焦・
合軸状態を得ることのできるAF・AAユニット9につ
いて、第2図以下に説明する。第2図はフローセル1と
AF−AAユニット9を側方から見た断面図、第3図は
フローセルlの水平断面図であり、AF・AAユニット
9内の中央には測光用対物レンズ8が設置され、下部に
は光源22がフローセル1に光を照射するように設置さ
れ、光源22の光軸上に開口23、凸レンズ24が順次
に配置されている。また、フローセルlの流通部2の前
面2aと後面2bとによって反射された光の光路上に、
凸レンズ25、分割素子26が順次に配置されている。
この場合に、対物レンズ8は流通部2の中心に焦点が合
う状態で、流通部2からの集光光束が対物レンズ8によ
って平行光束になるように配置されており、この状態の
とき合軸用光学系22〜26は、流通部2の前面2a及
び後面2bを検出するように配置されている。即ち、光
源22により凸レンズ24を介して、開口23を通過し
た光束を前面2a及び後面2bに投影し、前面2a及び
後面2bでそれぞれ反射された開口23の2つの開口像
が、凸レンズ25を介して分割素子26Lにそれぞれ結
像される。
分割素子26としては4分割素子が使用されており、第
2図に示す状態では対物レンズ8は合焦しているため、
このときの開口23の2つの開口像旧、M2が第4図(
b)に示すように分割素子26の4分割面の■及び■を
組み合わせた面と、I及び■を組み合わせた面とに同一
の大きさで結像される0分割素子26の面■、■、I、
■の出力をそれぞれPI、ρ2、P3、P4とすると、
合焦時にはPl+ P2= P3+ P4の関係となる
ように分割素子26が配置されている。従って、第4図
(a) 、 (C)に示すようにP1+P2#P3+P
4となった場合には、対物レンズ8が合焦していないこ
とが判る。
このように、分割素子26の出力からP1+P2= P
3+ P4を満足したときには、必ず対物レンズ8は流
通部2の中心に合焦し、常に対物レンズ8からは検体粒
子Sの像の平行光束が得られることになる。また、集光
レンズlOの集光位置に絞り板11が配置されているの
で、AF・AAユニット9の光軸に沿った移動によって
合焦したときには、流通部2は絞り板11と共役関係に
なり、検体粒子Sによる散乱光が正確に絞り板itの位
置に集光される。
このようにして焦点調整が可能であるが、4分割素子2
6を使用しているため、同一の光学系により同時に光軸
調整を実行することが可能となる。流通部2の中心と光
軸とが一致しているときの流通部2における照射光Nの
位置が、第5図(b)となるようにA F −AAユニ
ット9を配しておけば、第5図(a)及び(C)に示す
ように照射光Nがずれて、斜線のように流通部2からは
み出した場合には合軸していないことが判る。
第5図(a)〜(C)の状態はそれぞれ第6図における
(a)〜(C)の分割素子26の面上の光像分布に相当
し、分割素子26の出力の関係は合軸している場合には
P1+P4=P2+ρ3となり1合軸していない場合に
はP1+P4#P2+P3となる。第6図(b)は合焦
・合軸が同時に満された場合の分割素子26の面上での
開口像M1. M2の分布を示している。このときには
分割素子26の出力は、P1+P2=P3+P4である
と同時にP1+ P4= P2+ P3であるから、(
b)からも直ちに判るようにP1= P2= P3= 
P4となる。
第6図(a)及び(C)は合焦でありながら、第5図(
a)及び(C)に示すように合軸していない場合であり
、これらの場合には斜線で示した流通部2からはみ出し
た部分からは光が反射されないので、分割素子26の出
力は、P2+P3<P1+P4又はP1+ P4< P
2+ P3となり、合焦・合軸条件Pl=P2= P3
= P4が成立しない、従って、4分割素子26からの
出力を比較し、それらが全て等しいか否かにより合焦・
合軸状態を同時に判別できることになる。
ここで、対物レンズ8と集光レンズlOとは、その間が
平行光束になるように組み合わされているため、フロー
セル1等の交換時等にフローセルlの中心軸の位置が光
軸上及び光軸から若干ずれて移動しても、AF−AAユ
ニット9を移動させて、分割素子26の合焦・合軸位置
に開口23の開口像旧、M2を結像させるだけで焦点及
び光軸炙合わせることができる。
このように、実施例では容易にしかも正確に合焦・合軸
を検出し、更に調整ができるので、精度の良い測定が可
能であると共に、正確なピントを保持させたまま測光用
対物レンズ8の開口数をとげ、光学系の集光効率を向上
させて、信号強度を増大させることができることになる
なお、合焦・合軸用光源22から出力する光の波長は、
フローセルl内での散乱等により測定に影響を及ぼさな
いように、レーザー光源3の波長や蛍光の波長と分離し
ている方が好ましいので、赤外光源を使用することが好
適である。
また、分割素子26の出力信号によって駆動されるa構
を設け、分割素子26の所定位置に開口23の開口像M
1、M2が結像されるまで、AF−AAユニット9を駆
動機構により光軸上を探索移動させ、合軸及び合焦した
信号により駆動機構を停止させるようにすれば、自動的
に合軸及び合焦状態が得られる。即ち、焦点調整につい
てはAF・AAユニット9を光軸に沿って、光軸調整に
ついてはAF−AAユニット9を光軸の左右に移動すれ
ばよいことになる。
また、AF −AAユニット9の駆動機構が停止した状
態の信号、或いは合焦・合軸時の分割素子26の出力信
号により、粒子解析装置の測定開始信号を発するように
すれば、対物レンズ8が合焦及び合軸していないときに
は、不正確な測定が行われないで済む、更に1分割素子
26の所定位置に開口23の開口像が結像したことを知
らせる合焦・合軸信号を表示する手段を設けることもで
き、手動でAF−AAユニット9を操作する場合には、
合焦Φ合軸信号が出力した時点で測定を始めるようにす
ればよい。
なお、AF−AAユニット9内の合焦・合軸検知用光学
系の配置は実施例だけに限らず、例えば光源22を対物
レンズ8の上方に配置してもよい、また実施例において
は、側方散乱光の測光光学系内にAF−AAユニット9
を設置した場合を説明したが、前方散乱光用の測光光学
系においても、遮光板5と集光レンズ6との間にAF@
AAユニフトを配置し、同様の効果を得ることができる
。このようなAF−AAユニットを側方・前方の両側光
光学系に設置すれば、更に良好な結果が得られる。
[発明の効果] 以上説明したように本発明に係る粒子解析装置光学系は
、測光光学系内に光軸を検出できる光軸検出手段を設置
することによって、測光用対物レンズの光軸調整を容易
にかつ正確に行うことを可能として測定精度を向上させ
、対物レンズの開口数を増すこともでき、これによって
蛍光測光強彦を向上させ、高精度な解析を可能としてい
る。
また必要に応じて、光軸及び焦点検出手段を駆動する機
構を設けることにより、全自動的に光軸及び焦点調整を
行うことも可能である。更に、合焦・合軸信号表示機構
を設けることによって、手動でも容易に光軸及び焦点調
整を行うことを可能とし、また合焦・合軸状態において
のみ装置が可動する機構を設けこともできる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明に係る粒子解析装置の一実施例を示し、第
1図は光学系の構成図、第2図はAF・AAユニットを
側方から見た光学系配w1.図、第3図はフローセルの
水平断面図、第4図(a)、Cb) 、 (C)は合焦
検出時の分割素子上の光像分布の説明図、第5図(a)
 、 (b) 、 (c)は合軸検出時の流通部におけ
る照射光の説明図、第6図(a)、(b) 、 (c)
は合焦−合軸検出時の分割素子上の光像分布の説明図で
ある。 符号1はフローセル、2は流通部、2aは前面、2bは
後面、3はレーザー光源、4は結像レンズ、8は測光用
対物レンズ、9はAF −AAユニット、10.12は
集光レンズ、11は絞り板、13.14.15は波長選
別手段、16゜18.20はバリヤフィルタ、17,1
9.21・は光電検出器、22は光源、23は開口、2
4.25は凸レンズ、26は分割素子である。 特許出願人  キャノン株式会社 i14図 LQ)      (b)     (C)15図 (G)      (b)      (C)纂6図 (Q)(員     (C)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、フローセル内の流通部を流れる検体粒子に光ビーム
    を照射する照射光学系と、光ビームが検体粒子によって
    散乱された散乱光を測定する測光光学系とを備え、該測
    光光学系内に、測光用対物レンズの合軸状態を検出する
    光軸検出手段を設けたことを特徴とする粒子解析装置。 2、前記光軸検出手段は測光用対物レンズの合焦状態を
    検出する焦点検出手段と共通の光学系を有するようにし
    た特許請求の範囲第1項に記載の粒子解析装置。 3、前記光軸及び焦点検出手段は前記流通部の前後の2
    つの面の表面反射を光電検出器により検出するようにし
    た特許請求の範囲第2項に記載の粒子解析装置。 4、前記流通部の2つの面に照射する光束を平行光束と
    した特許請求の範囲第3項に記載の粒子解析装置。 5、前記流通部の2つの面からの反射光を検出する前記
    光電検出器を分割型素子とした特許請求の範囲第3項に
    記載の粒子解析装置。 6、前記光電検出器を4分割型素子とした特許請求の範
    囲第5項に記載の粒子解析装置。 7、前記対物レンズと前記光軸及び焦点検出手段とは、
    同一のユニット内の所定位置に分離して配置するように
    した特許請求の範囲第2項に記載の粒子解析装置。 8、前記ユニットを前記測光光学系の光軸に沿って移動
    可能にした特許請求の範囲第7項に記載の粒子解析装置
    。 9、前記ユニットを合軸及び合焦状態に至るまで自動的
    に探索移動する機構を設けた特許請求の範囲第8項に記
    載の粒子解析装置。 10、前記測光光学系内に集光レンズを設け、前記対物
    レンズ及び該集光レンズに関して検体粒子と共役な位置
    に開口絞りを設置した特許請求の範囲第1項に記載の粒
    子解析装置。 11、前記光軸及び焦点検出手段は測光に使用する波長
    領域外の波長域の光を使用するようにした特許請求の範
    囲第2項に記載の粒子解析装置。 12、前記光軸及び焦点検出手段からの信号による合軸
    及び合焦状態表示手段を設けた特許請求の範囲第2項に
    記載の粒子解析装置。 13、前記測光用対物レンズが合軸及び合焦状態にある
    ときにのみ、測定を行い得るようにした特許請求の範囲
    第2項に記載の粒子解析装置。
JP60007039A 1985-01-18 1985-01-18 粒子解析装置 Granted JPS61165638A (ja)

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JP60007039A JPS61165638A (ja) 1985-01-18 1985-01-18 粒子解析装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016166887A (ja) * 2016-04-21 2016-09-15 ソニー株式会社 微小粒子分取装置及び微小粒子分取装置における軌道方向判定方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5082882A (ja) * 1973-11-26 1975-07-04
JPS5322787A (en) * 1976-08-16 1978-03-02 Hitachi Ltd Measuring apparatus for corpuscle
JPS5386298A (en) * 1976-11-05 1978-07-29 Leeds & Northrup Co Measuring method and apparatus for volume and volumetric distribution of fine particles
JPS58138063U (ja) * 1982-03-12 1983-09-17 リオン株式会社 光散乱微粒子計測装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5082882A (ja) * 1973-11-26 1975-07-04
JPS5322787A (en) * 1976-08-16 1978-03-02 Hitachi Ltd Measuring apparatus for corpuscle
JPS5386298A (en) * 1976-11-05 1978-07-29 Leeds & Northrup Co Measuring method and apparatus for volume and volumetric distribution of fine particles
JPS58138063U (ja) * 1982-03-12 1983-09-17 リオン株式会社 光散乱微粒子計測装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016166887A (ja) * 2016-04-21 2016-09-15 ソニー株式会社 微小粒子分取装置及び微小粒子分取装置における軌道方向判定方法

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