JPS61159779A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS61159779A JPS61159779A JP21385A JP21385A JPS61159779A JP S61159779 A JPS61159779 A JP S61159779A JP 21385 A JP21385 A JP 21385A JP 21385 A JP21385 A JP 21385A JP S61159779 A JPS61159779 A JP S61159779A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- electrodes
- electrode
- projecting section
- plate electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ガスレーザ発振器のパルス出力を得る為のパ
ルス放電電極の改良に関する。
ルス放電電極の改良に関する。
三軸直交形の炭酸ガスレーザ発振器に於いては、分割さ
れた複数電極と対向して平板電極を設けて、その間にブ
ロー放電を行なわせる方式が採られておシ（例えば特公
昭５５−４０１９６号）、直流の安定放電を得ている。
れた複数電極と対向して平板電極を設けて、その間にブ
ロー放電を行なわせる方式が採られておシ（例えば特公
昭５５−４０１９６号）、直流の安定放電を得ている。
これを第３図ないし第４図によシ説明する。
分割された陰ｆＩｔ極ｌと対向して平板形状の陽極電極
２が設置され、放電電源４よシ供給されたパルス状の電
圧が抵抗３を介して電極間に印加され、グロー放電５が
形成される。電極の間にはＣＯ２゜Ｎ、Ｈｅの混合ガス
１０がＶ−ザ光９と直交する方向に送風されておシ、グ
ロー放電５の適正な位置に出力鏡６と全反射鏡７とで形
成される光軸８を設けることにより、レーザ光９を得て
いる。
２が設置され、放電電源４よシ供給されたパルス状の電
圧が抵抗３を介して電極間に印加され、グロー放電５が
形成される。電極の間にはＣＯ２゜Ｎ、Ｈｅの混合ガス
１０がＶ−ザ光９と直交する方向に送風されておシ、グ
ロー放電５の適正な位置に出力鏡６と全反射鏡７とで形
成される光軸８を設けることにより、レーザ光９を得て
いる。
この直交型ガスレーザ発生器の電極間にパルス状の電圧
が印加された時の放電電流、レーザ光９のＶ−ザ出力の
関係を第５図に示す。電極間に電圧が印加されていない
状態から、急峻な立上シで電属間に電圧が印加されると
、電極間の絶縁耐力を超えた時点で放電が開始（′ｄｔ
圧Ｖｂ）され、グローが形成されてグロー電圧ｖ１とな
る。電流は、放電開始後、電圧が立下がるまで、グロー
電流としてガス中を流れ、これによシ励起された混合ガ
ス１０の流れが光軸８に至ってレーザ出力９が得られる
。
が印加された時の放電電流、レーザ光９のＶ−ザ出力の
関係を第５図に示す。電極間に電圧が印加されていない
状態から、急峻な立上シで電属間に電圧が印加されると
、電極間の絶縁耐力を超えた時点で放電が開始（′ｄｔ
圧Ｖｂ）され、グローが形成されてグロー電圧ｖ１とな
る。電流は、放電開始後、電圧が立下がるまで、グロー
電流としてガス中を流れ、これによシ励起された混合ガ
ス１０の流れが光軸８に至ってレーザ出力９が得られる
。
この様なパルス状の放電現象は、数十〜数千Ｈｚの速い
時間応答に対して安定して行なわれることが必要であり
、直流電圧を印加した場合に較べると過渡的な放電現象
等に対して充分な配慮をする必要がある。すなわち、短
時間の電圧立上シに対して分割された陰極電極の全てよ
り同時に放電を開始させ、形成されるグローの形状を光
軸内に安全して保つことが要点となる。
時間応答に対して安定して行なわれることが必要であり
、直流電圧を印加した場合に較べると過渡的な放電現象
等に対して充分な配慮をする必要がある。すなわち、短
時間の電圧立上シに対して分割された陰極電極の全てよ
り同時に放電を開始させ、形成されるグローの形状を光
軸内に安全して保つことが要点となる。
この放電の同時開始を行なう為には、放電電源の電圧立
上り特性を速くシ（数μｓ）、更に、充分高い電圧まで
印加できる能力を必要とし、真空管で構成された高価な
放電電源装置としなければならなかった。
上り特性を速くシ（数μｓ）、更に、充分高い電圧まで
印加できる能力を必要とし、真空管で構成された高価な
放電電源装置としなければならなかった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、分割された電極群にノくルス放電を均
一に生じさせるに好適であり、且つ安定したパルスレー
ザ出力を得るガスレーザ発振器を提供することにある。
一に生じさせるに好適であり、且つ安定したパルスレー
ザ出力を得るガスレーザ発振器を提供することにある。
本発明のガスレーザ発振器は、分割された電極群と対向
して設置された平板電極面上に該を毬と平行に環状の突
起部を設けることにより、突起部近傍に於いて、パルス
電圧印加時に電界を集中させ電極群の各々の電極から一
斉に放電が開始される様に構成し、突起部近傍にグロー
放電を固定することにより、レーザ光軸に対するグロー
放電空間を常に一定位置に保持する事が可能となり、パ
ルス出力値の安定化を実現することができた。
して設置された平板電極面上に該を毬と平行に環状の突
起部を設けることにより、突起部近傍に於いて、パルス
電圧印加時に電界を集中させ電極群の各々の電極から一
斉に放電が開始される様に構成し、突起部近傍にグロー
放電を固定することにより、レーザ光軸に対するグロー
放電空間を常に一定位置に保持する事が可能となり、パ
ルス出力値の安定化を実現することができた。
以下、本発明の実施例を第１図ないし第２図によシ説明
する。
する。
、７）′
設けることにより、放電開始時に突起部２０の周辺に電
界の集中を形成し、放電開始電圧Ｖ−の低下と、個々の
電極での放電開始電圧Ｖ−のばらつきをなくすことがで
き、全電極に対し一斉に放電を開始させる効果を得るも
のである。又、放電の開始は必らず、該突起部２０よシ
開始され、グロー５ｂが光軸８の周辺に安定して形成さ
れ短時間（数ｍｓ）のグロー形成に対しても、安定した
パルスレーザ出力を得ることができる。この突起部２０
Ｈ１放電電極間距離２０〜３０ｍに対して、高さ約２〜
３ｆｉ、巾約５〜１０ｗ程度のもので充分な効果を得、
直流放電に対しても、安定なグロー放電が形成されるこ
とを実験にて確認した。又、この実施例では一本の棒状
突起部２０を平板電極２に設置すればよいので、設置作
業が容易であると共に、構造が簡単である。
界の集中を形成し、放電開始電圧Ｖ−の低下と、個々の
電極での放電開始電圧Ｖ−のばらつきをなくすことがで
き、全電極に対し一斉に放電を開始させる効果を得るも
のである。又、放電の開始は必らず、該突起部２０よシ
開始され、グロー５ｂが光軸８の周辺に安定して形成さ
れ短時間（数ｍｓ）のグロー形成に対しても、安定した
パルスレーザ出力を得ることができる。この突起部２０
Ｈ１放電電極間距離２０〜３０ｍに対して、高さ約２〜
３ｆｉ、巾約５〜１０ｗ程度のもので充分な効果を得、
直流放電に対しても、安定なグロー放電が形成されるこ
とを実験にて確認した。又、この実施例では一本の棒状
突起部２０を平板電極２に設置すればよいので、設置作
業が容易であると共に、構造が簡単である。
この発明の実施例では、放電開始前の電界集中を特定の
部分に形成する事を要点としておシ、第４図に示すピン
形状の陰極とは異なった滑らかな形を有する陰極電極に
於いては、電極間の平等電界の一部が本発明の適用によ
り集中電界となるので、低い放電電圧で一斉に電極を点
灯させる効果を一層発輝することができる。
部分に形成する事を要点としておシ、第４図に示すピン
形状の陰極とは異なった滑らかな形を有する陰極電極に
於いては、電極間の平等電界の一部が本発明の適用によ
り集中電界となるので、低い放電電圧で一斉に電極を点
灯させる効果を一層発輝することができる。
本発明により、電極間のパルス放電が安定に行なわれ、
安定したパルスレーザ出力を得ることができる。又、立
上シ時間を著しく速い値にする必要がなく、放電開始電
圧を低い値にすることができるので、半導体を使用した
安価な放電電源装置を使用できる。
安定したパルスレーザ出力を得ることができる。又、立
上シ時間を著しく速い値にする必要がなく、放電開始電
圧を低い値にすることができるので、半導体を使用した
安価な放電電源装置を使用できる。
第１図は本発明の実施例でめる直交型ガスレーザ発振器
の概要図、第２図は第１図の電極附近の側断面図、第３
図は従来の直交型ガスレーザ発振器の概略図、第４図は
第３図の電極附近の側断面図、第５図は第３図の放電特
性図である。 １・・・陰極、２・・・陽極、９・・・レーザ光、１０
・・・混合ガス、２０・・・突起部。
の概要図、第２図は第１図の電極附近の側断面図、第３
図は従来の直交型ガスレーザ発振器の概略図、第４図は
第３図の電極附近の側断面図、第５図は第３図の放電特
性図である。 １・・・陰極、２・・・陽極、９・・・レーザ光、１０
・・・混合ガス、２０・・・突起部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、分割された複数の電極群と、この電極群に平板電極
を対応配置し、前記両電極間に電圧を印加し、発生した
グロー放電により流通する混合ガスを励起して生じたレ
ーザ光を複数の鏡間で共振し、レーザ光を外部に照射す
るものにおいて、電極群よりガス下流側の平板電極上に
突起部を設けることを特徴とするガスレーザ発振器。 ２、上記突起部は複数の電極群に沿つて棒状電極を設け
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレ
ーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21385A JPS61159779A (ja) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21385A JPS61159779A (ja) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61159779A true JPS61159779A (ja) | 1986-07-19 |
Family
ID=11467679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21385A Pending JPS61159779A (ja) | 1985-01-07 | 1985-01-07 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61159779A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4807242A (en) * | 1987-07-21 | 1989-02-21 | Kim Simon M | Gas laser discharge tube |
-
1985
- 1985-01-07 JP JP21385A patent/JPS61159779A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4807242A (en) * | 1987-07-21 | 1989-02-21 | Kim Simon M | Gas laser discharge tube |
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