JPS58124283A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS58124283A JPS58124283A JP695682A JP695682A JPS58124283A JP S58124283 A JPS58124283 A JP S58124283A JP 695682 A JP695682 A JP 695682A JP 695682 A JP695682 A JP 695682A JP S58124283 A JPS58124283 A JP S58124283A
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- JP
- Japan
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- anode
- cathode
- turned
- laser
- voltage
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、パルス出力のガスレーザ装置に関する。
ガスレーザ装置の中で特にガスフロー型炭酸ガスレーザ
装置ではレーザ放電管にＨｅ、Ｎｚ。
装置ではレーザ放電管にＨｅ、Ｎｚ。
ＣＯ２の混合ガスを使用している。そして混合ガスのガ
ス圧Ｔｈ１ＯＴＯｒｒ程度に設定して放電開始しやすく
しており、レーザ管の放電路の長さが１メートル、放電
室ｉ４０ミＩＪアンペアの場合、放電開始電圧は１５〜
２０ＫＶ程度となる。また放電開始後の管内電圧降下は
８〜ｌ０ＫＶ程度に変化する。そこで、炭酸ガスレーザ
装置において放電路にパラストチューブと電流制御回路
を設は放電ヶ安定化する心安がある。
ス圧Ｔｈ１ＯＴＯｒｒ程度に設定して放電開始しやすく
しており、レーザ管の放電路の長さが１メートル、放電
室ｉ４０ミＩＪアンペアの場合、放電開始電圧は１５〜
２０ＫＶ程度となる。また放電開始後の管内電圧降下は
８〜ｌ０ＫＶ程度に変化する。そこで、炭酸ガスレーザ
装置において放電路にパラストチューブと電流制御回路
を設は放電ヶ安定化する心安がある。
従来の炭酸ガスレーザ装置に使用されていた回路の概略
図全第１図に示す。ここで、レーザ管１はアノード４と
カソード５を有（−１放電路を１系杭有する。又カソー
ド５とアース間には安定抵抗７、パラストチューブ８．
電流側（財）トランジスタ１０、電流検出抵抗１１が接
続されており、アノード４とアース間に高圧電源６が接
続されている。
図全第１図に示す。ここで、レーザ管１はアノード４と
カソード５を有（−１放電路を１系杭有する。又カソー
ド５とアース間には安定抵抗７、パラストチューブ８．
電流側（財）トランジスタ１０、電流検出抵抗１１が接
続されており、アノード４とアース間に高圧電源６が接
続されている。
そしてアノード４とカソード５間に抵抗２２を接続し、
カソード５とアース間に抵抗１９，２（１直列に接続シ
フ、抵抗１９と抵抗２０との接続点をスィッチ２１全通
して高圧電源６の制御端子へ接続する。
カソード５とアース間に抵抗１９，２（１直列に接続シ
フ、抵抗１９と抵抗２０との接続点をスィッチ２１全通
して高圧電源６の制御端子へ接続する。
高圧電源６の出力電圧（約１５〜２０ＫＶ）は抵抗２２
と抵抗１９．２０とで分圧されカソード５の電圧はアノ
ード４の電圧の半分（約７，５〜１０ＫＶ）となるよう
に設定する。ここで、スイッチ２１ｋＯＮＬ、切換スイ
ッチ１５’ｋａ側に閉じると基準電１源１３の出力電圧
が比較増幅器１２に供給され電流制量トランジスタ１０
ＴｈｏＮＬ、’＜ラストチューブ８ｆＯＮにしカソード
５の地位を下降させレーザ管のアノード４とカソード５
間に局圧電源６の出力電圧（約１５〜２０ＫＶ）が印Ｉ
Ｊ［］されアノード４．カソード５間が放′醒開始する
。
と抵抗１９．２０とで分圧されカソード５の電圧はアノ
ード４の電圧の半分（約７，５〜１０ＫＶ）となるよう
に設定する。ここで、スイッチ２１ｋＯＮＬ、切換スイ
ッチ１５’ｋａ側に閉じると基準電１源１３の出力電圧
が比較増幅器１２に供給され電流制量トランジスタ１０
ＴｈｏＮＬ、’＜ラストチューブ８ｆＯＮにしカソード
５の地位を下降させレーザ管のアノード４とカソード５
間に局圧電源６の出力電圧（約１５〜２０ＫＶ）が印Ｉ
Ｊ［］されアノード４．カソード５間が放′醒開始する
。
ところが、アノード４とカソード５間の放電維持電圧は
約ＩＱＫＶ程度となるため、連続放電時にはカソード４
とアース間電圧をパラストチューブ８が残りの約１０Ｋ
Ｖｋ負担することになシバラストチューブ８ケ破損する
。そこで抵抗２０の両端電圧によｐカソード５とアース
間の電圧全モニターし、高圧電源６の出力電圧を降下さ
せ、カソード５とアース間電圧ｖ１．ｓＫＶ〜２ＫＶに
する必要が生じる。
約ＩＱＫＶ程度となるため、連続放電時にはカソード４
とアース間電圧をパラストチューブ８が残りの約１０Ｋ
Ｖｋ負担することになシバラストチューブ８ケ破損する
。そこで抵抗２０の両端電圧によｐカソード５とアース
間の電圧全モニターし、高圧電源６の出力電圧を降下さ
せ、カソード５とアース間電圧ｖ１．ｓＫＶ〜２ＫＶに
する必要が生じる。
次にパルス放電動作について説明する。
第１図の回路でパルス放電動作するには動作準備として
レーザ管１の中の混合ガス（Ｈｅ、Ｎｚ。
レーザ管１の中の混合ガス（Ｈｅ、Ｎｚ。
Ｃ０２）ｉイオン化して放電しやすくする心安があるた
め、前記の連読放電會１０数分実施する。その後切換ス
イッチ１５４−ｂ側に閉じ比較増幅器１２の出力電圧を
Ｏにし電流制呻トランジスタ１０をＯＦ Ｆ ｌ、、パ
ラストチューブＢＩＯＦＦすることにより、カソード５
の電圧？上昇させレーザ管１のアノード４．カソード５
間？放電？停止させる。
め、前記の連読放電會１０数分実施する。その後切換ス
イッチ１５４−ｂ側に閉じ比較増幅器１２の出力電圧を
Ｏにし電流制呻トランジスタ１０をＯＦ Ｆ ｌ、、パ
ラストチューブＢＩＯＦＦすることにより、カソード５
の電圧？上昇させレーザ管１のアノード４．カソード５
間？放電？停止させる。
つぎに、パルス発生回路１４ｋＯＮにすると比較増幅器
１２はパルス発生回路１４のパルス電圧によりＯＮ、Ｏ
ｆ！’Ｆ’Ｌ電流制御トランジスタ１０會ＯＮ 、０Ｆ
ＦＬ、、パラストチューブ５２ＯＮ。
１２はパルス発生回路１４のパルス電圧によりＯＮ、Ｏ
ｆ！’Ｆ’Ｌ電流制御トランジスタ１０會ＯＮ 、０Ｆ
ＦＬ、、パラストチューブ５２ＯＮ。
ＯＦＦすると、レーザ管１のカソード５の電圧を７．５
〜１ ｏＫＶとＯＶの間ＴＯＮ、ＯＦＦする。
〜１ ｏＫＶとＯＶの間ＴＯＮ、ＯＦＦする。
そして、レーザ管１のアノード４．カソード５間の放電
音断続され、ミラー３，３′により断続的（パルス的）
にレーザ発振し、パルスレーザ出力２全出力する。しか
し、前記の連続放電時間が短かすぎたり、レーザ管１中
の混合ガスの諸条件に工りイオン化不足の状態では、ア
ノード４とカソード５間にパルス的に高圧（約１５〜２
０ＫＶ）が印加されても放電開始しない時があり、レー
ザ出力２が出力されない場合がある。
音断続され、ミラー３，３′により断続的（パルス的）
にレーザ発振し、パルスレーザ出力２全出力する。しか
し、前記の連続放電時間が短かすぎたり、レーザ管１中
の混合ガスの諸条件に工りイオン化不足の状態では、ア
ノード４とカソード５間にパルス的に高圧（約１５〜２
０ＫＶ）が印加されても放電開始しない時があり、レー
ザ出力２が出力されない場合がある。
本発明は、上記のような欠点を除去し、信頼性の高いパ
ルス出力ガスレーザ装置を提供するの？目的とする。
ルス出力ガスレーザ装置を提供するの？目的とする。
第２図は本発明−よるガスレーザ装置の概略図である。
レーザ管１はアノード４とカソード５の間に補助電極１
６を有し、アノード４には高圧電源６の正極が接続され
、補助電極１６とアース間に抵抗１７．１８が接続され
ている。またカソード５とアース間には安定抵抗７．パ
ラストチーープ８．電流制御トランジスタ１０．電流検
出抵抗１１を接続する。そしてアノード４とカソード５
間に抵抗２２に接続し、カソード５とアース間に抵抗１
９を接続する。
６を有し、アノード４には高圧電源６の正極が接続され
、補助電極１６とアース間に抵抗１７．１８が接続され
ている。またカソード５とアース間には安定抵抗７．パ
ラストチーープ８．電流制御トランジスタ１０．電流検
出抵抗１１を接続する。そしてアノード４とカソード５
間に抵抗２２に接続し、カソード５とアース間に抵抗１
９を接続する。
高圧電源６１ｋＯＮするとレーザ管１のアノード４とア
ース間に高圧（約１５Ｋｖ〜２０ＫＶ）が５− 印加され、アノード４と補助電極１６間は放電開始し、
抵抗１７．１８に通して連続放電電流が流れ、アノード
４と補助電極１６間の混合ガスは常にイオン化される。
ース間に高圧（約１５Ｋｖ〜２０ＫＶ）が５− 印加され、アノード４と補助電極１６間は放電開始し、
抵抗１７．１８に通して連続放電電流が流れ、アノード
４と補助電極１６間の混合ガスは常にイオン化される。
と同時にアノード４とアース間に印加された高圧は抵抗
２２．１９によシ分圧されカソード５に約半分の電圧（
７，５ＫＶ〜１０Ｋ Ｖ ） ２供給する。ここでパル
ス発生器１４をＯＮＬ、パルス発生器１４のパルス電圧
によシ、比較増幅器１２をＯＮ、ＯＦＦ’ｌ、、電流制
御トランジスタ１０ｉＯＮ 、０ＦＦＬ、パラストチュ
ーブ８’１ｋＯＮ 、ＯＦＦすると、レーザ管１のカソ
ード５の電圧ｖ７．ｓＫｖ 〜１ ｏＫＶとＯＶのｒ［
’ＯＮ 。
２２．１９によシ分圧されカソード５に約半分の電圧（
７，５ＫＶ〜１０Ｋ Ｖ ） ２供給する。ここでパル
ス発生器１４をＯＮＬ、パルス発生器１４のパルス電圧
によシ、比較増幅器１２をＯＮ、ＯＦＦ’ｌ、、電流制
御トランジスタ１０ｉＯＮ 、０ＦＦＬ、パラストチュ
ーブ８’１ｋＯＮ 、ＯＦＦすると、レーザ管１のカソ
ード５の電圧ｖ７．ｓＫｖ 〜１ ｏＫＶとＯＶのｒ［
’ＯＮ 。
ＯＦＦする。そして、レーザ管１のアノード４゜カソー
ド５間の放電は断続され、ミラー３．３′により断続的
（パルス的）ｖＣレーザ発振し、パルスレーザ出力２會
出力する。
ド５間の放電は断続され、ミラー３．３′により断続的
（パルス的）ｖＣレーザ発振し、パルスレーザ出力２會
出力する。
以上のように前記アノード４と補助電極１６との間の混
合ガスが常にイオン化されているため、混合ガスの諸条
件を変化させても前記断続的（パルス的）放電が安定に
維持でき、安定なパルスレ６− −ザ出力が得られるガスレーザ装置全提供することがで
きる。
合ガスが常にイオン化されているため、混合ガスの諸条
件を変化させても前記断続的（パルス的）放電が安定に
維持でき、安定なパルスレ６− −ザ出力が得られるガスレーザ装置全提供することがで
きる。
第１図は従来のガスレーザ装置の概略図、第２図は本発
明のガスレーザ装置の一実施例の概略図を示す。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・レーザ発振出
力、３゜３ ′・・・・・・ミラー、４・・・・・・ア
ノード、５・・・・・・カソード、６・・・・・・高圧
室隙、７・・・・・・安定抵抗、８・・・・・・パラス
トチューブ、９・・・・・・バイアス’ｔＬ １ｏ・
・・・・・電流制御トランジスタ、１１・・・・・・電
流検出抵抗。 １２・・・・・・比較増幅器、１３・・・・・・基準電
源、１４・・・・・・パルス発生回路、１５− ・・・
切換スイッチ、１６・・・・・・補助電極、１７，１８
，１９，２０，２１゜２２・・・・・・抵抗。 ７− 乎２櫻 −
明のガスレーザ装置の一実施例の概略図を示す。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・レーザ発振出
力、３゜３ ′・・・・・・ミラー、４・・・・・・ア
ノード、５・・・・・・カソード、６・・・・・・高圧
室隙、７・・・・・・安定抵抗、８・・・・・・パラス
トチューブ、９・・・・・・バイアス’ｔＬ １ｏ・
・・・・・電流制御トランジスタ、１１・・・・・・電
流検出抵抗。 １２・・・・・・比較増幅器、１３・・・・・・基準電
源、１４・・・・・・パルス発生回路、１５− ・・・
切換スイッチ、１６・・・・・・補助電極、１７，１８
，１９，２０，２１゜２２・・・・・・抵抗。 ７− 乎２櫻 −
Claims (1)
- レーザ管と、レーザ管のアノードへ高圧を供給する高圧
電源と、レーザ管のカソード電位を制御する電流制御回
路と？具備するガスレーザ装置において、府記レーザ管
のアノードとカソード間に補助電極全役け、該補助電極
と該高圧電源の負極との間に抵抗を接続したことを特徴
とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP695682A JPS58124283A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP695682A JPS58124283A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58124283A true JPS58124283A (ja) | 1983-07-23 |
Family
ID=11652670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP695682A Granted JPS58124283A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58124283A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60160679A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| EP0999619A1 (en) * | 1998-05-20 | 2000-05-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pulsed gas laser device |
-
1982
- 1982-01-20 JP JP695682A patent/JPS58124283A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60160679A (ja) * | 1984-01-31 | 1985-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| EP0999619A1 (en) * | 1998-05-20 | 2000-05-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pulsed gas laser device |
| EP0999619A4 (en) * | 1998-05-20 | 2000-09-13 | Toshiba Kk | PULSE GAS LASER DEVICE |
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