JPS622578A - 補助放電型ガスレ−ザ装置 - Google Patents
補助放電型ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS622578A JPS622578A JP14050785A JP14050785A JPS622578A JP S622578 A JPS622578 A JP S622578A JP 14050785 A JP14050785 A JP 14050785A JP 14050785 A JP14050785 A JP 14050785A JP S622578 A JPS622578 A JP S622578A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- anode
- auxiliary
- auxiliary electrode
- cathode
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、放電形気体レーザ装置に関係し、特に補助
放電を利用して、放電プラズマの一様化、高密度化を図
ったレーザ放電装置に関する。
放電を利用して、放電プラズマの一様化、高密度化を図
ったレーザ放電装置に関する。
従来の技術を第４図に示す。分割陰極エレメント１に制
限抵抗を介して、主放電用電源７が接続されている。分
割陰極エレメント１は、絶縁支持４に取りつけられてい
る。ミラー１１はガスの流れ、放電電流の方向と直角に
取りつけられている。
限抵抗を介して、主放電用電源７が接続されている。分
割陰極エレメント１は、絶縁支持４に取りつけられてい
る。ミラー１１はガスの流れ、放電電流の方向と直角に
取りつけられている。
この放電方式であると流れ方向に沿って放電々力の入り
方が不均一であり、全体の放電々力密度は低い。また放
電も不安定になる。
方が不均一であり、全体の放電々力密度は低い。また放
電も不安定になる。
したがって、Ｃ０２レーザ出力効率の低下につながり、
装置の構造が大形化となる欠点があった。
装置の構造が大形化となる欠点があった。
この発明は、上述した従来装置の欠点を改良したもので
、放電々力密度の向上、放電発光部の空間的一様性を向
上し、レーザ出力の増大、効率向上、装置の小型化が可
能な装置を提供することを目的とする。
、放電々力密度の向上、放電発光部の空間的一様性を向
上し、レーザ出力の増大、効率向上、装置の小型化が可
能な装置を提供することを目的とする。
本発明は、主放電と別にガス上限側に補助的に放電を発
生させるように構成したもので、ガス循環形ＣＯ２レー
ザは、ある電極構造において、ガス組成、圧力流速など
が決まるとそれらのパラメータに対応して、グロー放電
々力密度の上限値が決まるが、補助放電しない時に比較
して条件により４０チ増大し、さらに補助電極と陽極の
距離が、陽極と陰極の距離と等しいか、または短かくと
ればさらに主放電々力が増大する。これは、主放電の陰
極・陽極間に補助放電により発生したプラズマを効率良
く供給するためと考えられる。また、補助放電々極の形
状を突起形状を有した分割電極で行なうと高い圧力たと
えば６０Ｔｏｒｒ以上の場合、補助放電は安定に発生し
、そのことは主放電の一様化、安定化につながる。第３
図にその実験結果を示す。補助放電をする場合最大放電
々力は、条件により３倍〜４倍も増大することが確認さ
れた。
生させるように構成したもので、ガス循環形ＣＯ２レー
ザは、ある電極構造において、ガス組成、圧力流速など
が決まるとそれらのパラメータに対応して、グロー放電
々力密度の上限値が決まるが、補助放電しない時に比較
して条件により４０チ増大し、さらに補助電極と陽極の
距離が、陽極と陰極の距離と等しいか、または短かくと
ればさらに主放電々力が増大する。これは、主放電の陰
極・陽極間に補助放電により発生したプラズマを効率良
く供給するためと考えられる。また、補助放電々極の形
状を突起形状を有した分割電極で行なうと高い圧力たと
えば６０Ｔｏｒｒ以上の場合、補助放電は安定に発生し
、そのことは主放電の一様化、安定化につながる。第３
図にその実験結果を示す。補助放電をする場合最大放電
々力は、条件により３倍〜４倍も増大することが確認さ
れた。
尚、曲線９は補助放電あり、曲線ＩＯは補助放電なしの
場合についてそれぞれ示す。
場合についてそれぞれ示す。
この発明により、空間的に一様で、かつ高電力密度の放
電が得られ、高効率のレーザ装置が得られる。さらに装
置の小形につながる。
電が得られ、高効率のレーザ装置が得られる。さらに装
置の小形につながる。
第１図、第２図に発明の実施例を示す。第３図に前述し
た結果の一例を示す。Ｍ１図は、ビーム方向（紙面に垂
直）から見た断面図、第２図は、ガスの流れ方向から見
た断面図である。第１図において、１は陰極エレメント
、２は平板型陽極、３は分割補助電極で、その先端６は
ステンレス製で、突起形状を有している６塘た補助電極
先端部６と陽極３との距離は、陰極エレメント２と陽極
３との距離より短かく設定されている。また分割補助電
極３は補助放電用の制限抵抗８を介して、主放電用の制
限抵抗５と共通して直流電源７と接続されている。この
様な分割された電極がガス流れ方向と直角（ビームの方
向）に多数並べられている。
た結果の一例を示す。Ｍ１図は、ビーム方向（紙面に垂
直）から見た断面図、第２図は、ガスの流れ方向から見
た断面図である。第１図において、１は陰極エレメント
、２は平板型陽極、３は分割補助電極で、その先端６は
ステンレス製で、突起形状を有している６塘た補助電極
先端部６と陽極３との距離は、陰極エレメント２と陽極
３との距離より短かく設定されている。また分割補助電
極３は補助放電用の制限抵抗８を介して、主放電用の制
限抵抗５と共通して直流電源７と接続されている。この
様な分割された電極がガス流れ方向と直角（ビームの方
向）に多数並べられている。
本発明の実施により第３図のような結果が得られ九。流
速に対する最大入力電力の関係を示した図である。最大
入力電力は、グロー放電が不安定° になり始める時の
電力を示す。補助放電がない場合は５０ｍ／ｓ以上にな
ると最大入力電力は増加しなくなるが、補助放電を行な
うと７’３ｍ／ｉ流速で、補助放電しない時に比較して
、２倍増加することが確認された。また主放電領域は、
補助放電をした時、広がりかつ一様な状態になり、レー
ザ発振効率が上昇する望ましい方向に働くことも確認さ
れ゛た。
速に対する最大入力電力の関係を示した図である。最大
入力電力は、グロー放電が不安定° になり始める時の
電力を示す。補助放電がない場合は５０ｍ／ｓ以上にな
ると最大入力電力は増加しなくなるが、補助放電を行な
うと７’３ｍ／ｉ流速で、補助放電しない時に比較して
、２倍増加することが確認された。また主放電領域は、
補助放電をした時、広がりかつ一様な状態になり、レー
ザ発振効率が上昇する望ましい方向に働くことも確認さ
れ゛た。
本発明は、補助放電用電源は主放電々源と共用している
が、これを別電源にして放電を行なっても同様な効果が
得られる。
が、これを別電源にして放電を行なっても同様な効果が
得られる。
第１図は、本発明のビーム方向からみた補助数′に壓ガ
スレーザ装置の要部を示す断面図、第２図は、本発明の
ガス流れ方向からみた補助放電型ガスレーザ装置の要部
を示す断面図。 第３図は、本発明の流速と最大放電々力特性を示す曲線
図、 椿４図は、従来の放電型気体レーザ装置を示す一部断面
図である。 １・・・陰極エレメント、２・・・平板型陽極、３・・
・補助電極、 ５．８・・・制限抵抗。 ７・・・主電源。 第 １ 図 第 ２ 図 流速（ｒｎ／ｓ） 第 ３ 図 第 ４ 図
スレーザ装置の要部を示す断面図、第２図は、本発明の
ガス流れ方向からみた補助放電型ガスレーザ装置の要部
を示す断面図。 第３図は、本発明の流速と最大放電々力特性を示す曲線
図、 椿４図は、従来の放電型気体レーザ装置を示す一部断面
図である。 １・・・陰極エレメント、２・・・平板型陽極、３・・
・補助電極、 ５．８・・・制限抵抗。 ７・・・主電源。 第 １ 図 第 ２ 図 流速（ｒｎ／ｓ） 第 ３ 図 第 ４ 図
Claims (2)
- （１）グロー放電用陽極と陰極から構成されたガス循環
形ＣＯ＿２レーザにおいて、前記陽極および前記陽極の
上流側に、導体または半導体から構成されかつ陽極と直
角方向からガス流れ方向に平行な方向の間に突起形状を
有した分割型補助電極を有し、前記陽極および前記陰極
の一方または両電極と前記分割型補助電極の間に直流ま
たは交流放電を誘起せしめることにより、主電極側に空
間的に一様でかつ安定な放電を生成させることを特徴と
する補助放電型ガスレーザ装置。 - （２）前記補助電極と前記陽極との距離は、少なくとも
前記陰極と陽極との距離よりも等しいかまたは短かい距
離に設置したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の補助放電型ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14050785A JPH0716042B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 補助放電型ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14050785A JPH0716042B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 補助放電型ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622578A true JPS622578A (ja) | 1987-01-08 |
| JPH0716042B2 JPH0716042B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=15270254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14050785A Expired - Lifetime JPH0716042B2 (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 補助放電型ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716042B2 (ja) |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14050785A patent/JPH0716042B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0716042B2 (ja) | 1995-02-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |