JPS61154104A - 膜抵抗体 - Google Patents

膜抵抗体

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Publication number
JPS61154104A
JPS61154104A JP59278301A JP27830184A JPS61154104A JP S61154104 A JPS61154104 A JP S61154104A JP 59278301 A JP59278301 A JP 59278301A JP 27830184 A JP27830184 A JP 27830184A JP S61154104 A JPS61154104 A JP S61154104A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistance value
resistor
wiring conductors
film resistor
sheet resistance
Prior art date
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Pending
Application number
JP59278301A
Other languages
English (en)
Inventor
啓二 金澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba AVE Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Audio Video Engineering Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Audio Video Engineering Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP59278301A priority Critical patent/JPS61154104A/ja
Publication of JPS61154104A publication Critical patent/JPS61154104A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は混成集積回路における膜抵抗体に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
周知のように、電子機器等の小形軽量化を図るために、
混成集積回路が多く使用されるようになってきている。
この混成集積回路は、一般に、絶縁基板に導体材料及び
抵抗材料を印刷してなる厚膜基板に、リード線のないチ
ップタイプの受動素子や能動素子を半田付けして構成さ
れるものである。
第3図は、このような厚膜基板の従来の製造方法を説明
するためのものである。すなわち、第3図(a)に示す
ような例えばアルミナ等のセラミック材料で形成された
絶縁基板JK、第3図(b)に示すように、一対の配線
導体2,2を形成する。この配線導体2,2は、例えば
銀−パラジウム(Ag/Pd )粉末を含む導体ペース
トを、スクリーン印刷法を用いて印刷・焼成させること
によシ形成されるものである。
次に、第3図(e)に示すように1上記一対の配線導体
2,2間に、例えば酸化ルテニツム(Ru5t )粉末
を含む抵抗ペーストを、スクリーン印刷法を用いて印刷
・焼成させることにより、抵抗体3を形成する。
この場合、抵抗体3としては、最終的に所望の抵抗値(
以下最終抵抗値と言う)を得る念めに適切なシート抵抗
値を有する抵抗ペーストが用いられ、形成後の抵抗値が
上記最終抵抗値以下になるように1その@W及び長さL
があらかじめ設計されて形成されるものである。
しかしながら、上記のような膜抵抗体の製造方法では、
1種類のシート抵抗値で製造される抵抗値、例えは上記
シート抵抗値の1/10 の抵抗値のり、Wの比は1対
10となるが、Lの値は、小さくすると印刷ができなく
なるのと信頼性上から例えば0.7(mill)はとら
なくてはならないのでWはおのずと7〔顛〕となる0だ
がWがあtb大きくなると高密度設計が不可能となるた
め、上記シート抵抗値の範囲は一般的には、175〜8
倍位と限度があり、例えば、上記シート抵抗値の範囲を
越えた場合は、抵抗体の数が1個でも上記シート抵抗の
違うペーストを使い形成しなければならないという生産
性の低下が生じていた。
〔発明の目的〕
この発明は、上記のような問題を改善するため釦なされ
たもので、1種類のシート抵抗ぺ一ヌトでもう1ないし
2ランク下のシート抵抗の抵抗値まで同時に形成し得る
膜抵抗体を提供することを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明の膜抵抗体は、絶縁基板上に配線導体をくし形に
組み合せて形成し、この配線導体上面の相互間に抵抗体
を形成したものである。
〔発明の実施例〕
以下、第1図を参照してこの発明の一実施例を詳細に説
明する。
第1図(a)K示す如く、例えばアルミナ等のセラミッ
ク材料で形成された絶縁基板11上に、第1図6)に示
す如く、一対の配線導体12.12を例えば鎖パラジウ
ム系ペーストを印刷、焼成させることKよシ形成する。
その際に、一対の配線導体121.12はF字状の配線
導体12゜12をくし形に組み合わせて形成する。13
/liそれぞれ相手方の導体12間にギャップ15をお
いて挿入される導体である。その後第1図(e)に示す
如く、前記導体12.12及び13上面の相互間に、例
えば酸化ルテニウム系抵抗ぺ一ヌトを印刷、焼成し抵抗
体14を形成する。
上述膜抵抗体形成によシ、従来数種類のシート抵抗ペー
ストを印刷していたものが、V22V3 flllt類
のシート抵抗ペーストで印刷でき、印刷工程の削減が可
能となる。
ここで、第2図(a)の−例をとって抵抗値を算出して
みる。配線導体12.12間の抵抗値は、等価的に第2
図(b)のように考えられる。印刷抵抗値Rtf下記(
1)式で求められるOR=−XR,・・・・・・・・・
・・・ (1)Ro: 抵抗ペーストのシート抵抗値〔
Ω/口〕第2図(b)の抵抗値RAは(2)式で表わさ
れる。
ここでRst=R□= Rt a = Rを番なのでこ
れをR8とおく、またR□=R,、=R,,なのでこれ
をR8とおくと(2)式は次のようになる。
R1a= ここで数値を代入して抵抗値を求めてみる。
例えばL= 1.4 (1111) 、 W= 1.4
亘、W□=0.2 (m) t W* = 1(m)と
するとR11R1は次のようKなる。シート抵抗10に
Ω/口を使用するO ここで、この発明を使わない抵抗値はり、Wが1対1な
ので抵抗値は10〔KΩ〕となる。つまシこの発明を使
ったことによシ抵抗値は約1/20まで下がることKな
る。これはほんの−例であシ、そのほかにも配線導体1
3のギャップ15を変えたシ、配線導体130本数を変
えるととくよシ抵抗値は1/10〜1/100  まで
形成できるものである。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明によれば、膜抵抗体の形成に
おいて、1種類、のシート抵抗ペーストを用いて広範囲
な抵抗体が形成でき、ひいては印刷回数の削減により、
生産性向上を図ることができる膜抵抗体を提供すること
ができる0
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の一実施例の構成図、第2図は第1図に
おける等価口路の一例を示す回路図第3図は従来の膜抵
抗体の構成図である。 1・・・絶縁基板、2・・・導体、3・・・抵抗体、1
1・・・絶縁基板、12・・・導体、13・・・導体、
14・・・抵抗体。 出願人代理人 弁理士 鈴  江  武  彦第1図 第2図 (a) 第3図 (a)        (b) (C)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  絶縁基板上に配線導体をくし形に組み合せて形成し、
    この配線導体上面の相互間に抵抗体を形成したことを特
    徴とする膜抵抗体。
JP59278301A 1984-12-27 1984-12-27 膜抵抗体 Pending JPS61154104A (ja)

Priority Applications (1)

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JP59278301A JPS61154104A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 膜抵抗体

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JP59278301A JPS61154104A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 膜抵抗体

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Publication Number Publication Date
JPS61154104A true JPS61154104A (ja) 1986-07-12

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ID=17595439

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JP59278301A Pending JPS61154104A (ja) 1984-12-27 1984-12-27 膜抵抗体

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JP (1) JPS61154104A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63164201A (ja) * 1986-12-25 1988-07-07 イビデン株式会社 印刷抵抗体付プリント配線板
JPH0538874U (ja) * 1991-10-30 1993-05-25 三菱マテリアル株式会社 半導体装置の配線の接続構造
WO2023022048A1 (ja) * 2021-08-20 2023-02-23 京セラ株式会社 回路基板および電子装置

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