JPS6113924Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6113924Y2 JPS6113924Y2 JP10030779U JP10030779U JPS6113924Y2 JP S6113924 Y2 JPS6113924 Y2 JP S6113924Y2 JP 10030779 U JP10030779 U JP 10030779U JP 10030779 U JP10030779 U JP 10030779U JP S6113924 Y2 JPS6113924 Y2 JP S6113924Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photodetector
- printed wiring
- wiring board
- pattern
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はプリント配線板など半透明板材に形成
された遮光性パターンの欠陥の有無を検査する装
置に関する。大規模集積回路をはじめ電子回路部
品の小型高密度化に伴なつて、これらの部品を置
載するプリント配線板のパターンも微細かつ高密
度化し、その欠陥の有無を検査する作業は目視で
は困難となりつつあり、自動化した装置が必要と
されるようになつた。第１図はさきに提案された
プリント配線板パターン検査装置の機能説明図で
あり、(1)はプリント配線板１の上面にパターン１
１が形成されている場合、(2)は下面に形成されて
いる場合、また(3)は両面のパターンが交差してい
る場合である。ロの側面図に示すようにこのプリ
ント配線板１の上面から光ビーム２を照射し、イ
の平面図に示す矢印のように走査し、透過した光
をプリント配線板１の下方に設けた光検知器３に
よつて測定している。プリント配線板の上面にも
下面にもパターンが形成されていない部分Ａを照
射した光ビームは照射点付近で散乱しプリント配
線板を透過し散乱角の小さいものが光検知器３に
入射する。プリント配線板の上面に形成されたパ
ターン１１や１３を照射した光ビームは照射点で
反射するので光検知器に入射しない。プリント配
線板１の下面にパターンが形成されている部分を
照射した光ビームは照射点付近で散乱したあと散
乱角の小さいものはパターンの裏面で反射し散乱
角の大きいものはプリント配線板を透過し透過し
たもののうち散乱角の小さいものが光検知器３に
入射する（図においてＣ点で散乱した光の一部が
光検知器に入射しているのがＤやＦで散乱した光
は光検知器３に入射していない）。ハはこのよう
にして測定して得られる透過光強度分布曲線の傾
向を示す図であり、実線は光検知器３をプリント
配線板１から離れた位置に設置した場合を示し、
破線は光検知器をロの破線３′で示すようにプリ
ント配線板１に近接して設置した場合を示す。こ
の透過光強度分布曲線を観測することによつてパ
ターンの幅の計測および上面のパターンと下面の
パターンの識別をおこなうことができるが、その
ためには光検知器３の受光面積を広げかつ被検査
プリント回路板に近接して配置することによつて
照射点で散乱しプリント回路板１を透過した光を
できる限り多く光検知器３に入射させる必要があ
る。第１図２はパターン１２がプリント配線板１
の下面に形成されたものであることを識別するた
めには光検知器を３′のようにプリント配線板に
近接して設置した方が有利であることを示してお
り、第１図３はプリント配線板１の両面に形成さ
れたパターン１３と１４が交差する付近では光検
知器３′のようにプリント配線板１に近接して設
置しなければパターンの幅の計測も上面と下面の
識別もできないことを示している。
された遮光性パターンの欠陥の有無を検査する装
置に関する。大規模集積回路をはじめ電子回路部
品の小型高密度化に伴なつて、これらの部品を置
載するプリント配線板のパターンも微細かつ高密
度化し、その欠陥の有無を検査する作業は目視で
は困難となりつつあり、自動化した装置が必要と
されるようになつた。第１図はさきに提案された
プリント配線板パターン検査装置の機能説明図で
あり、(1)はプリント配線板１の上面にパターン１
１が形成されている場合、(2)は下面に形成されて
いる場合、また(3)は両面のパターンが交差してい
る場合である。ロの側面図に示すようにこのプリ
ント配線板１の上面から光ビーム２を照射し、イ
の平面図に示す矢印のように走査し、透過した光
をプリント配線板１の下方に設けた光検知器３に
よつて測定している。プリント配線板の上面にも
下面にもパターンが形成されていない部分Ａを照
射した光ビームは照射点付近で散乱しプリント配
線板を透過し散乱角の小さいものが光検知器３に
入射する。プリント配線板の上面に形成されたパ
ターン１１や１３を照射した光ビームは照射点で
反射するので光検知器に入射しない。プリント配
線板１の下面にパターンが形成されている部分を
照射した光ビームは照射点付近で散乱したあと散
乱角の小さいものはパターンの裏面で反射し散乱
角の大きいものはプリント配線板を透過し透過し
たもののうち散乱角の小さいものが光検知器３に
入射する（図においてＣ点で散乱した光の一部が
光検知器に入射しているのがＤやＦで散乱した光
は光検知器３に入射していない）。ハはこのよう
にして測定して得られる透過光強度分布曲線の傾
向を示す図であり、実線は光検知器３をプリント
配線板１から離れた位置に設置した場合を示し、
破線は光検知器をロの破線３′で示すようにプリ
ント配線板１に近接して設置した場合を示す。こ
の透過光強度分布曲線を観測することによつてパ
ターンの幅の計測および上面のパターンと下面の
パターンの識別をおこなうことができるが、その
ためには光検知器３の受光面積を広げかつ被検査
プリント回路板に近接して配置することによつて
照射点で散乱しプリント回路板１を透過した光を
できる限り多く光検知器３に入射させる必要があ
る。第１図２はパターン１２がプリント配線板１
の下面に形成されたものであることを識別するた
めには光検知器を３′のようにプリント配線板に
近接して設置した方が有利であることを示してお
り、第１図３はプリント配線板１の両面に形成さ
れたパターン１３と１４が交差する付近では光検
知器３′のようにプリント配線板１に近接して設
置しなければパターンの幅の計測も上面と下面の
識別もできないことを示している。
本考案は光検知器の受光面積を広げることなく
かつ被検査プリント配線板に近接させることな
く、パターンの幅の計測および上面と下面の識別
を容易におこなうことを目的としており被検査プ
リント配線板と光検知器の間に内側を鏡面とする
ことによつて目的を達している。
かつ被検査プリント配線板に近接させることな
く、パターンの幅の計測および上面と下面の識別
を容易におこなうことを目的としており被検査プ
リント配線板と光検知器の間に内側を鏡面とする
ことによつて目的を達している。
第２図は本考案の実施例の原理構成図であり、
被検査プリント配線板１と光検知器３との間にロ
に示すような形状で内側の四面を鏡面とする囲い
４を設け、照射点で散乱し大きな散乱角でプリン
ト配線板１を斜に透過した光を反射させ光検知器
３に導いている。このような構造とすることによ
つて、プリント配線板１を透過した光を効率的に
光検知器３に導くことができるので第１図ハに破
線にして示したような効果が得られるだけでな
く、光検知器の受光面積を小さくすることができ
る。
被検査プリント配線板１と光検知器３との間にロ
に示すような形状で内側の四面を鏡面とする囲い
４を設け、照射点で散乱し大きな散乱角でプリン
ト配線板１を斜に透過した光を反射させ光検知器
３に導いている。このような構造とすることによ
つて、プリント配線板１を透過した光を効率的に
光検知器３に導くことができるので第１図ハに破
線にして示したような効果が得られるだけでな
く、光検知器の受光面積を小さくすることができ
る。
なお本実施例において囲い４の側面形状を台形
としたが方形があつても差支えない。
としたが方形があつても差支えない。
以上説明したように、透過光式パターン検査装
置において被検査半透明板材と光検知器との間に
内側を鏡面とする囲いを設けることによつて被検
査半透明板材に入射し散乱し透過した光を能率よ
く検知することができるので半透明板材の両面に
形成されたパターンの識別と、下面に形成された
パターンと交差する上面に形成されたパターンの
幅の測定を容易におこなうことができる。
置において被検査半透明板材と光検知器との間に
内側を鏡面とする囲いを設けることによつて被検
査半透明板材に入射し散乱し透過した光を能率よ
く検知することができるので半透明板材の両面に
形成されたパターンの識別と、下面に形成された
パターンと交差する上面に形成されたパターンの
幅の測定を容易におこなうことができる。
第１図は従来のパターン検査装置の機能説明
図、第２図は本考案実施例の原理構成図である。 図において１はプリント配線板、２は光ビー
ム、３は光検知器、４は囲いを示す。
図、第２図は本考案実施例の原理構成図である。 図において１はプリント配線板、２は光ビー
ム、３は光検知器、４は囲いを示す。
Claims (1)
- 両面に遮光性のパターンを形成する半透明の板
材の一方の面に光を照射し反対側に設置した光検
知器によつて透過光量を測定してパターンの幅や
長さを計測するパターン検査装置において、被検
査板材と光検知器との中間に内側の四面を鏡面と
する囲いを設けたことを特徴とするパターン検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10030779U JPS6113924Y2 (ja) | 1979-07-20 | 1979-07-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10030779U JPS6113924Y2 (ja) | 1979-07-20 | 1979-07-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5619100U JPS5619100U (ja) | 1981-02-19 |
| JPS6113924Y2 true JPS6113924Y2 (ja) | 1986-04-30 |
Family
ID=29333040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10030779U Expired JPS6113924Y2 (ja) | 1979-07-20 | 1979-07-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6113924Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0626937Y2 (ja) * | 1987-03-12 | 1994-07-20 | 隆是 加藤 | カラオケリズム譜用紙 |
-
1979
- 1979-07-20 JP JP10030779U patent/JPS6113924Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5619100U (ja) | 1981-02-19 |
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