JPS61136404A - 液濾過装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上皇憇里立！ °　　本発明は廃水処理技術、純水製造技術、有価物回
収技術などに利用される液源過装置に関する。

従ｍ支避 例えば半導体製造分野においては半導体ウェー八を露光
した後現像する工程があり、この工程で使用されるポジ
型現像液の廃液には毒性のテトラメチルアンモニウムハ
イドロオキサイドが含まれているので、この毒性物質を
廃液から分離除去する必要があり、この分離除去にＲＯ
Ｉｌｌ（逆浸透ｌ１ｌ）が使用されている。このＲＯ膜
は浸透膜で、高圧ポンプにより圧送された前記廃液を前
記毒性物質を含む濃縮水と前記毒性物質を含まない透過
水に分離するものであって、これの前記毒性物質の除去
率は９０％以上である、ところが、ポジ型現像廃液には
微量であるがノボラック樹脂などが含まれていて、この
ノボラック樹脂などがＲＯ膜に詰まりＲＯｌ［ｌの透過
水量が時間経過と共に減少して処理能力が大幅に低下す
る。そこでＲＯＩＩＩの処理能力が低下するとＲＯ膜に
目詰まりした物質（汚れ）を除去する目的でＲＯＩＩＩ
のフラッシングが行われている。

このＲＯｉｌ［の従来のフラッシングは原液（廃液）の
流れる目詰まり側のＲＯ膜表面を原液の低圧下高流量の
流れで目詰まりした汚れを洗い流す方法で行っていた。

これを第５図のポジ型現像廃液処理装置を参照して以下
説明する。

先ず第５図の廃液処理システムを説明すると、廃液（１
）は第１タンク（２）に収容され、第１タンク（２）か
ら第２タンク（４）内で廃液（１）には後述濃縮水（ｂ
）や透過水（Ｃ）が適度に加えられ、また重亜硫酸ソー
ダなどの添加剤（ｄ）が加えられて濃縮液（以下原液と
称す）（ａ）となり、この原液（ａ）はブースタポンプ
（５）で保安フィルタ（６）を介して高圧ポンプ（７）
に送られ、高圧ポンプ（７）からＲＯモジュール（８）
に圧送される。ＲＯモジュール（８）は室内がＲＯＩＩ
Ｉｉ（９）で部分され、原液（ａ）はＲＯＩＩＩｉ　（
９）　（７）表面側ニ高圧ポンプ（７）からＲＯＩＩＩ
　（９）の浸透圧より十分に高い５０〜６０ｋｇ／−の
高圧で圧送されて、ＲＯＩＩＩ　（９）で濃縮水゛（ｂ
）と透過水（Ｃ）に分離される。濃縮水（ｂ）はＲＯモ
ジュール（８）を出て一部は第１パルプ（１０）を通り
第２タンク（４）内に戻され、残りは第２パルプ（１１
）を通り外部の回収装置（図示せず）に回収される。一
方透過水（Ｃ）は第３パルプ（１２）を通り外部の回収
装置に、また必要に応じ一部は第４パルプ（１３）を通
り第２タンク（４）内に戻される。この濃縮水（ｂ）と
透過水（Ｃ）の各管路には流量計（１４）　　（１５）
　　（１６）が設置されて流量が逐一測定される。また
濃縮水（ｂ）の戻り管路には第１バルブ（１０）と並列
にフラッシング専用の第５バルブ（１７）が配管される
、この第５バルブ（１７）は高圧ボール弁などであって
、平常運転時は閉じられている。

ＲＯモジュール（８）に原液（ａ）を圧送してＲＯＩＩ
Ｉ　（９）で分離する平常運転が続くと、ＲＯ膜（９）
のノボラック樹脂などによる目詰まりが進行して透過水
量が減少していく、そこで透過水量の低下を流量針（１
６）で計測しである基準値以下に低下すると第５バルブ
（１７）を全開にする。するとＲｏ膜（９）表面を流れ
る原液（ａ）の圧力が低下すると共に流速が上がり、こ
の原液（ａ）の低圧下高流量による流れにてＲＯ膜（９
）の表面に目詰まりした汚れが洗い流されてＲＯＩＩＩ
（９）のフラフシングが行われる。

発１ｂ＜　°　　　　・ ところで、上記フラッシング方法は構造的に効果薄であ
る問題があった。即ち、ＲＯ膜（９）の表面を低圧下高
流量の原液（ａ）で洗っているが、原液（ａ）がＲＯ１
ｉｌｌＯ詰まりの原因となる物質を含んでいるためＲＯ
膜（９）の汚れを落す能力には自ずと限界があった。ま
た低圧下高流量の原液（ａ）はＲＯＩ！ＩＩ（９）の表
面の汚れの表層部分のものを洗い流すが、ＲＯ膜（９）
の内部にまで浸透してＲＯ膜（９）の内部に詰まった汚
れを洗い流す能力に欠け、フラッシング効果を尚更に悪
（していた。

ロ　　　　′　　　めの 本発明は上記問題点に鑑み提案されたもので、ＲＯモジ
ュールからの透過水を溜めるタンクをＲＯモジュールよ
り高所に配置して、この透過水タンク内の透過水をＲＯ
膜フラフシングに利用した装置により上記問題点を解決
するようにしたものである。

立里 上記本発明のようにＲＯモジュールより高所に配置した
透過水タンク内の透過水でＲＯ膜ラフラッシング行えば
透過水は汚れの原因となる物質を含まないので明らかに
ＲＯ１ｉｌ’のフラッシング効果が一段と優れる。また
ＲＯ膜の表面側を低圧下にしておいてＲＯモジュールに
透過水タンクからその落差を利用して透過水を逆流させ
ればＲｏｌｌの表面から表面側に透過水が逆流してＲＯ
膜の表面側の汚れが浮き上がるので、これを原液で洗い
流すようにすることができ、このようにすればフラッシ
ング効果が尚更向上する。

皇蓋史 以下本発明の一実施例を第１図乃至第４図に基づき説明
する。第１図において、第５図の従来装置と同一のもの
には同一参照符号を付して説明は省略する。大きな相違
点ばＲＯモジュール（８）からの透過水流出系に新たに
透過水タンク（１８）をＲＯモジュール（８）より高所
に付設したことである。こｐ透過水タンク（１８）には
ＲＯモジュール（８）から送出された透過水（ｃ）が収
容され、透過水（ｃ）は一定レベルまで達するとオーバ
フローして外部に取出される。また透過水タンク（１８
）はＲｏ膜（９）のフラッシング用のもので、これの付
設に伴い第２タンク（４）とブースタポンプ（５）の間
の配管にフラッシング用第６バルブ（１９）が付設され
、透過水タンク（１８）及びブースタポンプ（５）と第
６バルブ（１９）の間が配管されてこの配管の一部にフ
ラッシング用第７バルブ（２０）が付設される。

上記実施例におけるＲｏｌｌフラ７シングは従来間様な
低圧下高流量によるフラッシングと後述のより効果的な
フラッシング＜ｍ易フラッシング）が選択されて次のよ
うに行われる。

初めに第６バルブ（１９）が全開、第７バルブ（２０）
が閉塞された状態で従来同様に平常運転がなされ、ＲＯ
膜（９）の目詰まりで透過水量が所定レベル以下になる
と、例えば低圧下高流量によるフラッシングが箒２図の
実線の液流路状態にて行われる。即ち、第５バルブ（１
７）が開かれ、併行して第６バルブ（１９）が閉じられ
、第７バルブ（２０）が全開される。すると先ずＲＯモ
ジュール（８）から原液（ａ）が高流速で第２タンク（
４）内へと戻り、同時に透過水タンク（１８）内の透過
水（、）がＲＯモジュール（８）との落差で決まる圧力
でもって第７バルブ（２０）を通りブースタポンプ（５
）に入り、ここから保安フィルタ（６）、高圧ポンプ（
７）を介してＲＯモジュール（８）内に圧送され、これ
によりＲＯＩＩＩ（９）の表面側には原液（ａ）に代っ
て清浄度の高い透過水（ｃ）が流れてＲＯ膜（９）の汚
れが透過水（ｃ）にて洗い流される。この透過水（ｃ）
はＲＯｙ！（９）の内部に浸透し易くて内部の汚れまで
洗い流すので、ＲＯ膜（９）のフラッシング効果が一段
と優れることが分る。

また上記実施例は平常運転から次のように簡易フラッシ
ングを行う、Ｗち、平常運転状態から第３図の実線の液
流路に示すように高圧ポンプ（７）を一時停止させる。

するとＲＯモジュール（８）のＲＯＩＩＩ（９）の表面
側圧力が急速低下してＲＯ膜（９）の裏面側の透過水（
Ｃ）が濃度差でもってＲｏｌ！（９）を逆流する。これ
を第４図を参照して説明すると、平常運転時は第４図の
（イ）に示すようにＲＯＩ５１（９）の表面側を原液（
ａ）が高圧で流れてＲＯ膜（９）に汚れ（２１）が蓄積
される。この状態で高圧ポンプ（７）を停止させると透
過水（、）がＲＯ膜（９）を逆流して第４図の（ロ）に
示すようにＲＯ膜（９）の汚れ（２１）を浮き上らせる
。

この透過水（Ｃ）の逆流は透過水タンク（１８）がＲＯ
モジュール（８）より高所にあるのでその落差に応じた
圧力で積極的に行われ、ＲＯｌｌｊ（１８）の汚れ（２
１）はＲｏｌｌ内部のものから強制的に浮き上り除去さ
れ易くなる。この状態を、一定時間行って後高圧ポンプ
（７）を再作動させる。するとＲＯモジュール（８）に
原液＜ａ＞が圧送されて、第４図の（ハ）に示すように
ＲＯｍ！　（９）から浮き上った汚れ（２１）を洗い流
す、このような高圧ポンプ（７）の作動、停止を繰り返
して簡易フラッシングが行われる。この簡易フラッシン
グにおける高圧ポンプ（７）の作動時間を約１５分、停
止時間を約１分にして、これを繰り返すことにより、透
過水量は従来比で約２倍以上になることが実験的に認め
られた尚、本発明は廃液の濾過装置に限らず、純水製造
や有価物回収の液瀘過装置にも同様に通用し得る。

３１ＲＢＬ展 本発明によればＲｏｌｌフラッシングがＲＯモジュール
より高所にある透過水タンク内の透過水をその落差を利
用してＲＯモジュールに圧送して行われるので、フラッ
シング効果に一段と優れたものが得られ、またこの効果
は透過水タンクを高所に配置するといった簡単なことで
実施されるため設備投資的に有利であり、実施効果大な
るものが提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略側面図第２図及び
第３図は第１図の装置による二形態のフラッシング状態
を説明するための概略側面図、第４図は第３図のフラッ
シング状態の動作原理を説明するためのＲＯモジュール
概略側面図である。第５図は従来の液源過装置の側面図
である。 （ａ）・−・原液、　（ｂ）−・濃縮水、　（ｃ　）　
−透通水、（８）　−ＲＯモジュール、（９）　−＝Ｒ
Ｏ膜、（１Ｂ）　−過通水タンク。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）原液を濃縮水と透過水に分離するＲＯ膜を有する
   ＲＯモジュールの出力側に前記透過水を溜めるタンクを
   ＲＯモジュールより高所に配置して、このタンク内の透
   過水でＲＯ膜フラッシングを適宜行うことを特徴とする
   液濾過装置。