JPS61133104A - 逆浸透膜の簡易フラツシング方法 - Google Patents
逆浸透膜の簡易フラツシング方法Info
- Publication number
- JPS61133104A JPS61133104A JP25470984A JP25470984A JPS61133104A JP S61133104 A JPS61133104 A JP S61133104A JP 25470984 A JP25470984 A JP 25470984A JP 25470984 A JP25470984 A JP 25470984A JP S61133104 A JPS61133104 A JP S61133104A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane
- simple flushing
- feed liquid
- flushing
- switch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産ｌ上坐且里立１
本発明は廃水処理技術、純水製造技術、有価物回収技術
などに利用されている逆浸透膜の簡易フラッシング方法
に関する。
などに利用されている逆浸透膜の簡易フラッシング方法
に関する。
ｌ米Ω亘血
例えば半導体製造分野においては半導体ウェー八を露光
した後現像する工程があり、この工程で使用されるポジ
型現像液の廃液には毒性のテトラメチルアンモニウムハ
イドロオキサイドが含まれているので、この毒性物質を
廃液から分離除去する必要があり、この分離除去に逆浸
透１ｍ１（以下Ｒｏｌｌと称す）が使用されている。
した後現像する工程があり、この工程で使用されるポジ
型現像液の廃液には毒性のテトラメチルアンモニウムハ
イドロオキサイドが含まれているので、この毒性物質を
廃液から分離除去する必要があり、この分離除去に逆浸
透１ｍ１（以下Ｒｏｌｌと称す）が使用されている。
このＲＯ膜は浸透膜で、高圧ポンプにより圧送された前
記廃液を前記毒性物質を含む濃縮水と前記毒性物質を含
まない透過水に分離するものであって、これの前記毒性
物質の除去率は９０％以上である。ところが、ポジ型現
像廃液には微量であるがノボラック樹脂などが含まれて
いて、このノボラック樹脂などがＲｏｌｌ！に詰まりＲ
Ｏ膜の透過水量が極短時間経過で急激に減少して処理能
力が大幅に低下する。そこでＲＯＩｌｌＩの処理能力が
低下するとＲＯ膜に目詰まりした物質（汚れ）を除去す
る目的でＲＯ膜のフラッシングが行われている。
記廃液を前記毒性物質を含む濃縮水と前記毒性物質を含
まない透過水に分離するものであって、これの前記毒性
物質の除去率は９０％以上である。ところが、ポジ型現
像廃液には微量であるがノボラック樹脂などが含まれて
いて、このノボラック樹脂などがＲｏｌｌ！に詰まりＲ
Ｏ膜の透過水量が極短時間経過で急激に減少して処理能
力が大幅に低下する。そこでＲＯＩｌｌＩの処理能力が
低下するとＲＯ膜に目詰まりした物質（汚れ）を除去す
る目的でＲＯ膜のフラッシングが行われている。
このＲＯ膜の従来のフラッシングは原液（廃液）の流れ
る目詰まり側のＲＯ膜表面を原液の低圧下大流量の流れ
で目詰まりした汚れを洗い流す方法で行っていた。これ
を第４図のポジ型現像廃液処理装置を参照して以下説明
する。
る目詰まり側のＲＯ膜表面を原液の低圧下大流量の流れ
で目詰まりした汚れを洗い流す方法で行っていた。これ
を第４図のポジ型現像廃液処理装置を参照して以下説明
する。
先ず第４図の廃液処理システムを説明すると、廃液（１
）は第１タンク（２）に収容され、第１タンク（２）か
ら移送ポンプ（３）にて第２タンク（４）に移送される
。第２タンク（４）内で廃液（１）には後述濃縮水（ｂ
）や透過水（Ｃ）が適度に加えられ、また重亜硫酸ソー
ダなどの添加剤（ｄ）が加えられて濃縮液（以下原液と
称する） （ａ）となり、この原液（ａ）はブースタポ
ンプ（５）で保安フィルタ（６）を介して高圧ポンプ（
７）に送られ、高圧ポンプ（７）からＲＯモジュール（
８）に圧送される。ＲＯ％ジ！−ル（８）は室内がＲＯ
膜（９）で二分され、原液（ａ）はＲＯＩｌｉ（９）の
表面側に高圧ポンプ（７）からＲＯＩｌｉ（９）の浸透
圧より十分に高い５０〜６０瞳／−の高圧で圧送されて
、ＲＯ膜（９）で濃縮水（ｂ）と透過水（Ｃ）に分離さ
れる。濃縮水（ｂ）はＲＯモジエール（８）を出て一部
は第１バルブ（１０）を通り第２り、ンク（４）内に戻
され、残りは第２パルプ（１１）を通り外部の回収装置
（図示せず）に回収される。一方送過水（Ｃ）は第３バ
ルブ（１２）を通り外部の回収装置に、また必要に応じ
一部は第４バルブ（１３）を通り第２タンク（４）内に
戻される。この濃縮水（ｂ）と透過水（ｃ）の各管路に
は流量計（１４） （１５） （１６）が設置され
て流量が逐一測定される。また濃縮水（ｂ）の戻り管路
には第１バルブ（１０）と並列に簡易フラッシング専用
の第５バルブ（７）が配管される。この第５バルブ（１
７）は高圧ボール弁などであって、平常運転時は閉じら
れている。
）は第１タンク（２）に収容され、第１タンク（２）か
ら移送ポンプ（３）にて第２タンク（４）に移送される
。第２タンク（４）内で廃液（１）には後述濃縮水（ｂ
）や透過水（Ｃ）が適度に加えられ、また重亜硫酸ソー
ダなどの添加剤（ｄ）が加えられて濃縮液（以下原液と
称する） （ａ）となり、この原液（ａ）はブースタポ
ンプ（５）で保安フィルタ（６）を介して高圧ポンプ（
７）に送られ、高圧ポンプ（７）からＲＯモジュール（
８）に圧送される。ＲＯ％ジ！−ル（８）は室内がＲＯ
膜（９）で二分され、原液（ａ）はＲＯＩｌｉ（９）の
表面側に高圧ポンプ（７）からＲＯＩｌｉ（９）の浸透
圧より十分に高い５０〜６０瞳／−の高圧で圧送されて
、ＲＯ膜（９）で濃縮水（ｂ）と透過水（Ｃ）に分離さ
れる。濃縮水（ｂ）はＲＯモジエール（８）を出て一部
は第１バルブ（１０）を通り第２り、ンク（４）内に戻
され、残りは第２パルプ（１１）を通り外部の回収装置
（図示せず）に回収される。一方送過水（Ｃ）は第３バ
ルブ（１２）を通り外部の回収装置に、また必要に応じ
一部は第４バルブ（１３）を通り第２タンク（４）内に
戻される。この濃縮水（ｂ）と透過水（ｃ）の各管路に
は流量計（１４） （１５） （１６）が設置され
て流量が逐一測定される。また濃縮水（ｂ）の戻り管路
には第１バルブ（１０）と並列に簡易フラッシング専用
の第５バルブ（７）が配管される。この第５バルブ（１
７）は高圧ボール弁などであって、平常運転時は閉じら
れている。
ＲＯモジュール（８）に原液（ａ）を圧送してＲＯＩＩ
！ｌＩ！（９）で分離する平常運転が続くと、ＲＯＩｌ
ｉ（９）のノボラック樹脂などによる目詰まりが進行し
て透過水量が減少していく、そこで透過水量の低下を流
量計（１６）で計測しである基準値以下に低下すると第
５バルブ（１７）を全開にする。するとＲＯＩｌｉ（９
）表面を流れる原液（ａ）の圧力が低下すると共に流速
が上がり、この原液（ａ）の低圧下大流量による流れに
てＲＯＩｌｉ（９）の表面に目詰まりした汚れが洗い流
されてＲＯ膜（９）の簡易フラッシングが行われる。
！ｌＩ！（９）で分離する平常運転が続くと、ＲＯＩｌ
ｉ（９）のノボラック樹脂などによる目詰まりが進行し
て透過水量が減少していく、そこで透過水量の低下を流
量計（１６）で計測しである基準値以下に低下すると第
５バルブ（１７）を全開にする。するとＲＯＩｌｉ（９
）表面を流れる原液（ａ）の圧力が低下すると共に流速
が上がり、この原液（ａ）の低圧下大流量による流れに
てＲＯＩｌｉ（９）の表面に目詰まりした汚れが洗い流
されてＲＯ膜（９）の簡易フラッシングが行われる。
（′ 田
上記フラッシング方法には次の問題があった。
第一に、簡易フラッシング専用の第°５バルブ（１７）
は耐高圧パルプを使用しなければならず、これを自動的
に開閉するには難があって現状は手動で開閉してた。そ
のためＲＯ膜（９）の簡易フラッシングのために廃液処
理装置の全自動化が難しかった。
は耐高圧パルプを使用しなければならず、これを自動的
に開閉するには難があって現状は手動で開閉してた。そ
のためＲＯ膜（９）の簡易フラッシングのために廃液処
理装置の全自動化が難しかった。
第二に、上記フラッシング方法は効果薄であった。即ち
、ＲＯ膜（９）の表面を低圧下大流量の原液（ａ）で洗
うため、ＲＯ膜（９）の表面上の汚れしか洗い流されず
、ＲＯ膜（９）の内部に目詰まりした汚れの残存率が極
めて高かった。これを第５図の実験グラフにより説明す
ると、第５図ばＲＯモジェレータ（８）に原液（ａ）を
５５ｋｇ／Ｃｈｉの圧力で送り、透過水量的２１ｔ／ｌ
ｌｌ１ｎで起動するＲＯモジェレータ（８）を上記従来
方法で５分間簡易フラッシングした後に再起動させた時
の時間と透過水量の実験結果を示すものである。この実
験グラフから透過水量は起動後２０分あたりで減少率が
大きくなり、起動後４０分頃に減少が収まり、その後最
小値（約０，３Ｉｌ／ｓｉｎ ）まで下ってからやや増
加の傾向を示して最終的に約０，５１／ｓｉｎで落ち着
くことが分る。この最終透過水量Ｑ、５１／ｓｉｎはＲ
Ｏ膜（９）の汚れ除去が表面的にしか行われていないこ
とを示している。
、ＲＯ膜（９）の表面を低圧下大流量の原液（ａ）で洗
うため、ＲＯ膜（９）の表面上の汚れしか洗い流されず
、ＲＯ膜（９）の内部に目詰まりした汚れの残存率が極
めて高かった。これを第５図の実験グラフにより説明す
ると、第５図ばＲＯモジェレータ（８）に原液（ａ）を
５５ｋｇ／Ｃｈｉの圧力で送り、透過水量的２１ｔ／ｌ
ｌｌ１ｎで起動するＲＯモジェレータ（８）を上記従来
方法で５分間簡易フラッシングした後に再起動させた時
の時間と透過水量の実験結果を示すものである。この実
験グラフから透過水量は起動後２０分あたりで減少率が
大きくなり、起動後４０分頃に減少が収まり、その後最
小値（約０，３Ｉｌ／ｓｉｎ ）まで下ってからやや増
加の傾向を示して最終的に約０，５１／ｓｉｎで落ち着
くことが分る。この最終透過水量Ｑ、５１／ｓｉｎはＲ
Ｏ膜（９）の汚れ除去が表面的にしか行われていないこ
とを示している。
第三に、上記のようにフラッシング効果があまり無いた
め、装置全体を止めて定期的なＲＯ膜本格洗浄、つまり
ＲＯｌｉｌｌ （９）の内部深く詰まっている汚れを薬
液で溶解や分散させて洗い出す薬液洗浄を行う周期が必
然に短かくなり、そのため廃液処理装置の稼動率が悪か
った。
め、装置全体を止めて定期的なＲＯ膜本格洗浄、つまり
ＲＯｌｉｌｌ （９）の内部深く詰まっている汚れを薬
液で溶解や分散させて洗い出す薬液洗浄を行う周期が必
然に短かくなり、そのため廃液処理装置の稼動率が悪か
った。
。 占 ° ための
本発明の上記問題点を解決する技術的手段はＲＯ膜が浸
透膜であることを利用してＲＯＩＩに原液を圧送する高
圧ポンプの作動と停止を繰り返すことでＲＯ膜を簡易フ
ラッシングすることである。
透膜であることを利用してＲＯＩＩに原液を圧送する高
圧ポンプの作動と停止を繰り返すことでＲＯ膜を簡易フ
ラッシングすることである。
立且
上記手段のように簡易フラッシングを行うと、高圧バル
ブの開閉操作が不必要になり、また高圧ポンプの作動と
停止はスイッチ操作で正確に、任意のタイミングで而も
完全自動的に行い得るのでＲＯ膜簡易フランシングの自
動化が可能となる。また上記方法はＲＯ膜の原液側が高
圧ポンプの停止によって瞬間的に圧力低下を起こすこと
によって、ＲＯｌｉｉの汚れを透過水の逆流で落とすこ
とになって、効果的なＲＯ膜簡易フラ・ノシングが実行
され得る。
ブの開閉操作が不必要になり、また高圧ポンプの作動と
停止はスイッチ操作で正確に、任意のタイミングで而も
完全自動的に行い得るのでＲＯ膜簡易フランシングの自
動化が可能となる。また上記方法はＲＯ膜の原液側が高
圧ポンプの停止によって瞬間的に圧力低下を起こすこと
によって、ＲＯｌｉｉの汚れを透過水の逆流で落とすこ
とになって、効果的なＲＯ膜簡易フラ・ノシングが実行
され得る。
１呈週
以下本発明方法の具体的実施装ｆＮを第１′ｆｇＪ乃至
第３図に基づき説明する。
第３図に基づき説明する。
第１図は第４図のポジ型現像廃液処理装置に本発明方法
を通用したもので、第４図と同一のものには同一参照符
号を付して説明は省略する、相違点は高圧ポンプ（７）
を作動させる電動式スイッチ（ＳＷ）を０Ｎ−ＯＦＦさ
せる自動スイッチ制御手段（１８）を付設したことであ
る。尚、第１図の簡易フラッシング用第５バルブ（１７
）は必ずしも必要としないが、第１図では第５バルブ（
１７）を取付けたもので説明する。
を通用したもので、第４図と同一のものには同一参照符
号を付して説明は省略する、相違点は高圧ポンプ（７）
を作動させる電動式スイッチ（ＳＷ）を０Ｎ−ＯＦＦさ
せる自動スイッチ制御手段（１８）を付設したことであ
る。尚、第１図の簡易フラッシング用第５バルブ（１７
）は必ずしも必要としないが、第１図では第５バルブ（
１７）を取付けたもので説明する。
この第１図の装置は平常運転は従来同様にブースタポン
プ（５）、高圧ポンプ（７）を作動させてＲＯモジェレ
ータ（８）に原液（ａ）を５０〜６０瞳／−の高圧で送
ることで行われる。この平常運転でＲＯ膜（９）に汚れ
による目詰まりが進行して、ある程度透過水量が低下す
ると自動スイッチ制御手９ （１８）でスイッチ（ＳＷ
）の０Ｎ−ＯＦＦを繰り返す、すると次の原理でＲＯ膜
（９）の簡易フラッシングが行われる。
プ（５）、高圧ポンプ（７）を作動させてＲＯモジェレ
ータ（８）に原液（ａ）を５０〜６０瞳／−の高圧で送
ることで行われる。この平常運転でＲＯ膜（９）に汚れ
による目詰まりが進行して、ある程度透過水量が低下す
ると自動スイッチ制御手９ （１８）でスイッチ（ＳＷ
）の０Ｎ−ＯＦＦを繰り返す、すると次の原理でＲＯ膜
（９）の簡易フラッシングが行われる。
先ず平常運転の終りにおいてＲＯモジェレータ（８）内
のＲＯｉｉｉ （９）には第２図の（イ）に示すように
汚れ（９）が許容量以上目詰まって−いる。ここでスイ
ッチ（ＳＷ）をＯＦＦに切り替える。但し、第５バルブ
（１７）は閉じたままである。このスイッチＯＦＦ時の
間、ＲＯモジェレータ（８）のＲＯＩＩ！（９）表面の
原液（ａ）は流れがほぼ停止し且つ圧力が低下するので
、第２図の（ロ）に示すようにＲｏｌｌ！（９）を境に
した原液（ａ）と透過水（Ｃ）の濃度の違いから、透過
水（Ｃ）が浸透圧によってＲＯ膜（９）を通り４原液（
ａ）側に逆流し、この逆流にてＲＯ膜（９）の汚れ（１
９）が浮き上がる。次にスイッチ（ＳＷ）をＯＮすると
、第２図の（ハ）に示すようにＲＯモジェレータ（８）
に原液（ａ）が高圧で送り込まれてＲＯＰＪ！（９）上
を流れ、この時にスイッチＯＦＦ詩にＲＯ膜（９）から
浮上した汚れ（１９）が原液（ａ）と共に流出し、ＲＯ
膜（９）の目詰まりが少なくなる。以上の動作が必要時
間だけ繰り返し行われてＲＯ＠ （９）の簡易フラッシ
ングが行われる。
のＲＯｉｉｉ （９）には第２図の（イ）に示すように
汚れ（９）が許容量以上目詰まって−いる。ここでスイ
ッチ（ＳＷ）をＯＦＦに切り替える。但し、第５バルブ
（１７）は閉じたままである。このスイッチＯＦＦ時の
間、ＲＯモジェレータ（８）のＲＯＩＩ！（９）表面の
原液（ａ）は流れがほぼ停止し且つ圧力が低下するので
、第２図の（ロ）に示すようにＲｏｌｌ！（９）を境に
した原液（ａ）と透過水（Ｃ）の濃度の違いから、透過
水（Ｃ）が浸透圧によってＲＯ膜（９）を通り４原液（
ａ）側に逆流し、この逆流にてＲＯ膜（９）の汚れ（１
９）が浮き上がる。次にスイッチ（ＳＷ）をＯＮすると
、第２図の（ハ）に示すようにＲＯモジェレータ（８）
に原液（ａ）が高圧で送り込まれてＲＯＰＪ！（９）上
を流れ、この時にスイッチＯＦＦ詩にＲＯ膜（９）から
浮上した汚れ（１９）が原液（ａ）と共に流出し、ＲＯ
膜（９）の目詰まりが少なくなる。以上の動作が必要時
間だけ繰り返し行われてＲＯ＠ （９）の簡易フラッシ
ングが行われる。
この簡易フラッシング時のスイッチ（ＳＷ）のＯＮ時間
ＴｏｎＳＯＦ Ｆ時間Ｔ ｏ ｆ ｆはＲＯ！Ｉｌ！（
９）の面積、ＲＯモジュレータ（８）への原液送出圧力
、流量などにて選択され、例えば従来の第５図の実験デ
ータと同じ＜５５ｋｇ／ｃｄの圧力で送り、約２１／ｗ
ｉｎの透過水量で起動する装置においてはＴｏｎ−約１
４分、Ｔ ｏ ｆ ｆ−約１分の割合であり、このよう
に時間設定した時の簡易フラッシングの時間透過水量の
実験データをグラフ化すると第３図に示すものが得られ
た。
ＴｏｎＳＯＦ Ｆ時間Ｔ ｏ ｆ ｆはＲＯ！Ｉｌ！（
９）の面積、ＲＯモジュレータ（８）への原液送出圧力
、流量などにて選択され、例えば従来の第５図の実験デ
ータと同じ＜５５ｋｇ／ｃｄの圧力で送り、約２１／ｗ
ｉｎの透過水量で起動する装置においてはＴｏｎ−約１
４分、Ｔ ｏ ｆ ｆ−約１分の割合であり、このよう
に時間設定した時の簡易フラッシングの時間透過水量の
実験データをグラフ化すると第３図に示すものが得られ
た。
この第３図のグラフから簡易フラッシング時の透過水量
はスイッチ（ＳＷ）の０Ｎ−ＯＦＦの繰り返しで増減を
繰り返すが、起動から２時間程度で約１ｊ１／ａｋｉｎ
に落ち着く９とが分る。
はスイッチ（ＳＷ）の０Ｎ−ＯＦＦの繰り返しで増減を
繰り返すが、起動から２時間程度で約１ｊ１／ａｋｉｎ
に落ち着く９とが分る。
これにより従来の簡易フラッシングに比べ処理水量が約
２倍以上になり、簡易フラッシングの効果が倍増したこ
とが分る。
２倍以上になり、簡易フラッシングの効果が倍増したこ
とが分る。
ところで、第５バルブ（１７）は上記簡易フラッシング
時は閉じられ、ＲＯモジェレータ（８）から第２タンク
（４）に濃縮水（ｂ）を高速で戻すといった必要時に選
択的に開けられるが、この第５バルブ（１７）を上記簡
易フラッシング時に同期させて開閉して原液（ａ）の流
速を上げるようにすると、上記簡易フラッシングを更に
効果的ならしめることができる。
時は閉じられ、ＲＯモジェレータ（８）から第２タンク
（４）に濃縮水（ｂ）を高速で戻すといった必要時に選
択的に開けられるが、この第５バルブ（１７）を上記簡
易フラッシング時に同期させて開閉して原液（ａ）の流
速を上げるようにすると、上記簡易フラッシングを更に
効果的ならしめることができる。
向、本発明は廃液処理技術分野に限らず、純水製造技術
分野、有価物回収技術分野にも同様に通用し得る。
分野、有価物回収技術分野にも同様に通用し得る。
皇尻旦処来
本発明によればＲｏｌｌの簡易フラッシングが既存の高
圧ポンプの０Ｎ−ＯＦＦ制御だけで実行できて設備的に
有利であり、また簡易フラッシング効果が従来の約２倍
以上と優れ、従ってＲＯ膜を薬液洗浄する本格的フラッ
シングを行う周期が長くできて廃液等の処理装置の稼動
率向上が図れる。
圧ポンプの０Ｎ−ＯＦＦ制御だけで実行できて設備的に
有利であり、また簡易フラッシング効果が従来の約２倍
以上と優れ、従ってＲＯ膜を薬液洗浄する本格的フラッ
シングを行う周期が長くできて廃液等の処理装置の稼動
率向上が図れる。
第１図は本発明方法の具体的実施装置例を示す概略構成
図、第２図の（イ）〜（ハ）は本発明の方法の動作原理
を説明するための各段階のＲＯモジエールの概略断面図
、第３図は本発明の方法による簡易フラッシング時の時
間と透過水量の関係グラフ図である。第４図及び第５図
は従来のＲｏｙ／！簡易フラフシング方法を説明するた
めの廃液処理システムの概略構成図及び簡易フラッシン
グ時の時間と透過水量の関係グラフ図である。 ＜ ａ ＞−・原液、（ｂ）−・濃縮水、（ｃ）・−・
透過水、（７） −・高圧ポンプ、（９”） −・逆浸
透膜（ＲＯ膜ン 。 特 許 出 願 人 関西日本電気株式会社代
理 人 江 原 省 吾〃
江 原 秀＠２＠ ＩＩ３図 １８５図 叶閂
図、第２図の（イ）〜（ハ）は本発明の方法の動作原理
を説明するための各段階のＲＯモジエールの概略断面図
、第３図は本発明の方法による簡易フラッシング時の時
間と透過水量の関係グラフ図である。第４図及び第５図
は従来のＲｏｙ／！簡易フラフシング方法を説明するた
めの廃液処理システムの概略構成図及び簡易フラッシン
グ時の時間と透過水量の関係グラフ図である。 ＜ ａ ＞−・原液、（ｂ）−・濃縮水、（ｃ）・−・
透過水、（７） −・高圧ポンプ、（９”） −・逆浸
透膜（ＲＯ膜ン 。 特 許 出 願 人 関西日本電気株式会社代
理 人 江 原 省 吾〃
江 原 秀＠２＠ ＩＩ３図 １８５図 叶閂
Claims (1)
- （１）高圧ポンプにより圧送された原液を濃縮水と透過
水に分離する逆浸透膜が浸透膜であることを利用して前
記高圧ポンプの作動と停止を繰り返すことを特徴とする
逆浸透膜の簡易フラッシング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25470984A JPS61133104A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 逆浸透膜の簡易フラツシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25470984A JPS61133104A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 逆浸透膜の簡易フラツシング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61133104A true JPS61133104A (ja) | 1986-06-20 |
Family
ID=17268753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25470984A Pending JPS61133104A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 逆浸透膜の簡易フラツシング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61133104A (ja) |
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| JPS63294916A (ja) * | 1987-05-27 | 1988-12-01 | Mitsubishi Kasei Vinyl Co | 濾過方法 |
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- 1984-11-30 JP JP25470984A patent/JPS61133104A/ja active Pending
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