JPS6113202A - レ−ザミラ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザミラー、特に多層コーティングされたミ
ラーに関する。

一般にレーザミラーはガラス、石英等の基板に反射率ま
たは透過率を増すためにコーティングが行なわれる。こ
の様なコーティングは通常絶縁物を蒸着して行なわれる
。したがって完成したレーザミラーの表面部分は高い電
気絶縁を示し、帯電しやすい状態になっている。

この様なコーティングを行ったレーザミラーを使用する
と、レーザ光の照射部分が照射時間に比例して帯電する
。帯電した部分には次第に近くのゴミや空気中のチリ、
水蒸気が吸い付き、所定の反射率または透過率を維持で
きなくなり、性能を満足できなくなると共に、吸い付い
たゴミやチリ、水蒸気によシレーザ光の吸収がおこシレ
ーザミラーが破壊される欠点を有する。

この様な欠点をカバーするため、従来、レーザミラーを
使用する場合はレーザ光が照射する部分またはレーザミ
ラー全てをカバーし、外部の空気を遮畿し、Ｖ−ザ光の
光路をゴミやチリのないきれいな空気で満すと共に乾燥
させることが必要でありた。しかし、この場合でも完全
にゴミやチリ、水分をとシのそくことは不可能であシ、
使用中にレーザミラーの汚れを取シのそくことが必要に
なってくる。

本発明の目的は前述の如き欠点を改善し、レーザミラー
にレーザ光を照射してもレーザミラーが帯電しない構造
のレーザミラーを提供することにめる０ 本発明によれば、光学基板と所定の反射率、透過率を得
るための多層コーティング層を有する反射または透過レ
ーザミラーにおいて、多層コーティング層の最上層部が
導電コーティングされていることを％徴とするレーザミ
２−が得られる。

次に本発明の実施例について詳細に説明する。

図は本発明の実施例を示す断面図である。

図において、１Ｉｆｉガラスまたは石英等の基板、２は
基板ｌの上に積層し九誘電体膜から成る多層コーティン
グ層、３は多層コーティング層２０表面に蒸着された導
電コーティング層、４は接地触手、５は入射レーザ光で
ある。

導電コーティング層３は、酸化インジウム（Ｉｎ＊０３
）と錫（８ｎ）が混在した薄膜で、酸化インジウムをソ
ースとして誘電体の多層コーティング層２０表面に蒸着
したものである。その導電度は約ＩＭΩ／ｃｘｎ２でめ
シ、また層の厚さはレーザ光５の１７４波長以下で、こ
れによシレーザ光に対する多層コーティング層２での反
射率、透過率の変化が実用上無視できる。

したがって、レーザ光５は導電コーティング層３を通過
し、多層コーティング層２によって反射または透過する
。このとき多層コーティング層２で電離した電子は、多
層コーティング層２の表面に集まりてくる。多層コーテ
ィング層２０表面に集まった電子は導電コーティング３
にはい夛、電位差が生じた場合は接地触手４を通してア
ースへ電流が流れて常に電位差はゼロに保たれ、帯電し
ない。

本実施例では導電コーティング層３の電導度をＩＭΩ／
ｃＩＩＬ２としたが、この程度の鴫導度であれば多層コ
ーティング層２０表面に集まった電子を十分に逃がすこ
とができる。

なお多層コーティング層２が基板１の両面にコーティン
グされている場合には導電コーティング層３を層２０両
面に石−ティングするとよい。

以上説明したように、本発明によればレーザミラーのレ
ーザ光照射部分が帯電しないので、ゴミや空気中のチリ
、水蒸気等が吸ｉ付けられることがなく、またレーザ光
照射部分の反射または透過が減少し、レーザ光が吸収さ
れて破壊することがなくなる。

はガラス、石英等の基板、２は多層コーティング層、３
は導電コーティング層、４は接地触手、５はレーザ光で
ある。

　Ｑ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 所定の反射率または透過率を得るための多層コーティン
   グ層を有する反射または透過ミラーにおいて、前記コー
   ティング層の最上層の表面が導電コーティングされてい
   ることを特徴とするレーザミラー。