JPS6163850A - 電子写真感光体 - Google Patents
電子写真感光体Info
- Publication number
- JPS6163850A JPS6163850A JP18453484A JP18453484A JPS6163850A JP S6163850 A JPS6163850 A JP S6163850A JP 18453484 A JP18453484 A JP 18453484A JP 18453484 A JP18453484 A JP 18453484A JP S6163850 A JPS6163850 A JP S6163850A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- photoconductive layer
- light
- electrophotographic photoreceptor
- photosensitivity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、電子写真感光体、特にレーザープリンタ用電
子写真感光体に関する。
子写真感光体に関する。
近年、レーザービームプリンタと言われる計算機の端末
、インテリジェントコピア等に使用される高級複写機の
需要が急速に高まっており、その光源として、He−N
e、Ar等のガスレーザーが用いられてきたが、最近、
装置の小型化。
、インテリジェントコピア等に使用される高級複写機の
需要が急速に高まっており、その光源として、He−N
e、Ar等のガスレーザーが用いられてきたが、最近、
装置の小型化。
低コスト化、変調の行ない易さ、等の点で半導体レーザ
ーが用いられるよう罠なってきた。
ーが用いられるよう罠なってきた。
しかしながら、半導体レーザーの発振波長は、現在実用
レベルでは800 nm付近が最も短かく、8e−Te
系、Se As系、 a−8i 、 a−8i:Ge等
の材料を用いた電子写真感光体における長波長感度上昇
の努力が進められているが、十分な光感度を持ち、かつ
Fiシ返し特性が良好で長寿命なものは得られてムない
0特罠ケイ素を主体とする非晶気層を光4′Fb、層と
した感光体は、その長寿命、良好な繰シ返し特性にもか
かわらず長波長感度がわずかに不足しており実用化のレ
ベルとしては不十分である0 またレーザー光はコヒーレントな光であるため、大気中
から自体に入射されて反射されると、その位相が反転し
、入射光と干渉し、これを減衰させるように作用する0
この位相の反転した反射光と入射光との干渉による入射
光の減衰は入射角が小さい程大きく、また反射表面の平
滑性が良い程大きくなる0この様な入射光の減衰により
みかけの光113匹は低下する。当然のことながら反射
率が大きい程みかけの光感度の低下も大きくなる。また
入射光がコヒーレントな光でない場合も1表面反射によ
りみかけの光感度の低下は見られるが、コヒーレント光
の場合は。
レベルでは800 nm付近が最も短かく、8e−Te
系、Se As系、 a−8i 、 a−8i:Ge等
の材料を用いた電子写真感光体における長波長感度上昇
の努力が進められているが、十分な光感度を持ち、かつ
Fiシ返し特性が良好で長寿命なものは得られてムない
0特罠ケイ素を主体とする非晶気層を光4′Fb、層と
した感光体は、その長寿命、良好な繰シ返し特性にもか
かわらず長波長感度がわずかに不足しており実用化のレ
ベルとしては不十分である0 またレーザー光はコヒーレントな光であるため、大気中
から自体に入射されて反射されると、その位相が反転し
、入射光と干渉し、これを減衰させるように作用する0
この位相の反転した反射光と入射光との干渉による入射
光の減衰は入射角が小さい程大きく、また反射表面の平
滑性が良い程大きくなる0この様な入射光の減衰により
みかけの光113匹は低下する。当然のことながら反射
率が大きい程みかけの光感度の低下も大きくなる。また
入射光がコヒーレントな光でない場合も1表面反射によ
りみかけの光感度の低下は見られるが、コヒーレント光
の場合は。
非コヒーレント光の場合の倍に近い低下率を示すことに
なる。その為、以上に述べた様な5e−Te系、 8F
!−As系、a−8i等半導体レーザーの長波長限界で
1OclIL 柵板の光吸収係数を持つ実質的に−)
を感度の低い材靭においては、位相の反転した反射光と
入射光との干渉による入射光の減衰というみかけの光感
度の低下は致命的である。
なる。その為、以上に述べた様な5e−Te系、 8F
!−As系、a−8i等半導体レーザーの長波長限界で
1OclIL 柵板の光吸収係数を持つ実質的に−)
を感度の低い材靭においては、位相の反転した反射光と
入射光との干渉による入射光の減衰というみかけの光感
度の低下は致命的である。
本発明は1以上のような事情にもとづいてなされたもの
で、みかけの光感度の低下を抑制し、長波長光九十分な
光感度を持つ電子写真感光体を提供することを目的とす
る0 〔発明の概要〕 本発明は、上記目的を達成するために1導電性支持体上
に光導電層を形成してなる電子写真感光体くおいて、光
導電1−中に粗な界面を有し、入射光を乱射させること
により、位相の反転した反射光と入射光との干渉による
入射光の減衰というみかけの光感度の低下を抑制する電
子写真感光体である。
で、みかけの光感度の低下を抑制し、長波長光九十分な
光感度を持つ電子写真感光体を提供することを目的とす
る0 〔発明の概要〕 本発明は、上記目的を達成するために1導電性支持体上
に光導電層を形成してなる電子写真感光体くおいて、光
導電1−中に粗な界面を有し、入射光を乱射させること
により、位相の反転した反射光と入射光との干渉による
入射光の減衰というみかけの光感度の低下を抑制する電
子写真感光体である。
以下、本発明を図示の一実施例を参照しながら説明する
。
。
第1図は、本発明の電子写真感光体の基本的なCX#成
例を説明する為の模式的構成図である0電子写真感光体
10の層構成は導電性支持体11の上に光41h層12
をa層してなる0導電性支持体11は、例えばアルミニ
ウム。
例を説明する為の模式的構成図である0電子写真感光体
10の層構成は導電性支持体11の上に光41h層12
をa層してなる0導電性支持体11は、例えばアルミニ
ウム。
ステンレス等の全編又はガラス、高分子フィルムの表面
に導電性もしくは半弓電性物質をコーティングしたもの
が利用でキ、−1lI−根状あるいは円筒状に形成して
用いられる。
に導電性もしくは半弓電性物質をコーティングしたもの
が利用でキ、−1lI−根状あるいは円筒状に形成して
用いられる。
光導電層12中には、導1b、性支持体11が平面ある
いは、これに近似できる曲面の場合は平行に、また導電
性支持体11が円筒状の場合は、同軸円筒面に谷々粗な
界面13が設けられており、その凹凸が電子写真感光体
本体の表面14に反映されることになる。本来、入射光
の乱反射を目的とするものである為、電子写真感光体本
体の表面14を粗にする方がより直接的であるが、現実
にtiル、子写真感光体本体の表面14は一般に必然的
に機械的強度が強く、化学的安定性の大きなものなので
、成膜後、粗にするより、光導電層12中罠粗な界面1
3を設け、この界面の上に均一に積層することで電子写
真感光体本体の表面14上に徂な昇面の凹凸を反映きせ
る方が簡率である。この為、光導電111# 12中の
粗な界面13は電子写真感光体本体の表面14の近傍に
あった方が望ましい。逆に導電性支持体11の近傍に粗
な界面を設けると電子写真感光体本体の表面14への凹
凸の反映が少なくなり、更にとの界面で乱反射が起こる
と画像のにじみを生じ易く望ましくない。
いは、これに近似できる曲面の場合は平行に、また導電
性支持体11が円筒状の場合は、同軸円筒面に谷々粗な
界面13が設けられており、その凹凸が電子写真感光体
本体の表面14に反映されることになる。本来、入射光
の乱反射を目的とするものである為、電子写真感光体本
体の表面14を粗にする方がより直接的であるが、現実
にtiル、子写真感光体本体の表面14は一般に必然的
に機械的強度が強く、化学的安定性の大きなものなので
、成膜後、粗にするより、光導電層12中罠粗な界面1
3を設け、この界面の上に均一に積層することで電子写
真感光体本体の表面14上に徂な昇面の凹凸を反映きせ
る方が簡率である。この為、光導電111# 12中の
粗な界面13は電子写真感光体本体の表面14の近傍に
あった方が望ましい。逆に導電性支持体11の近傍に粗
な界面を設けると電子写真感光体本体の表面14への凹
凸の反映が少なくなり、更にとの界面で乱反射が起こる
と画像のにじみを生じ易く望ましくない。
また光導tr@12は、単層から二層以上の被数層も可
能であり、その場合、粗な界面は異なった層の境界とす
ることが可能である。第2図は光導電層が二#構造であ
る電子写真感光体の模式的構成図である。電子写真感光
体20のl層構成は導電性支持体21上に、光4電層2
2を成層してなり、光導電層22は、粗な界面23を境
界として支持体側の層22−1と表面側のH22−1と
の二層tj4造である。谷々の層は、支持体側の622
−1が光キャリアの発生、輸送という機能を付ち、表1
i!1(′!llの鳩22−2が表面沫禮という囁11
’Fjを待つ場合、支持体側の層22−1が光キャリア
の輸送という機能を持ち、表面側の層22−2が光キャ
リアの発生という機能をもつ場合、またその逆の場合、
更に支持体側のN422−1が導電性支持体21から注
入されるキャリアの障壁という機能を持ち、表面側の層
22−2が光キャリアの発生、輸送という機能を持つ場
合等がある。また第1図と同様。
能であり、その場合、粗な界面は異なった層の境界とす
ることが可能である。第2図は光導電層が二#構造であ
る電子写真感光体の模式的構成図である。電子写真感光
体20のl層構成は導電性支持体21上に、光4電層2
2を成層してなり、光導電層22は、粗な界面23を境
界として支持体側の層22−1と表面側のH22−1と
の二層tj4造である。谷々の層は、支持体側の622
−1が光キャリアの発生、輸送という機能を付ち、表1
i!1(′!llの鳩22−2が表面沫禮という囁11
’Fjを待つ場合、支持体側の層22−1が光キャリア
の輸送という機能を持ち、表面側の層22−2が光キャ
リアの発生という機能をもつ場合、またその逆の場合、
更に支持体側のN422−1が導電性支持体21から注
入されるキャリアの障壁という機能を持ち、表面側の層
22−2が光キャリアの発生、輸送という機能を持つ場
合等がある。また第1図と同様。
粗な界11tI23の凹凸が電子写真感光体本体の表面
24に反映されるようになっている。
24に反映されるようになっている。
第3図は、光導電層が三層構造である電子写真感光体の
模式的イδ故図である◎電子写真感光体30の層構bx
、#i、導亀性支持体31上に光導電層32を成層して
なり、先導v1層32は支持体側の層32−1.中間層
32−3.表面側の層32−2の三層構造であシ表面側
の層32−2と中間層32−3との境界が粗な界面33
となっている。各々の層は、支持体側の層32−1が導
電性支持体31から注入されるキャリアの障壁という機
能を持ち、中間層32−3が光キャリアの発生及び輸送
という機能を持ち、表面側の層32−3が表面保護、指
荷注入阻止という機能を持つ場合があるが、各層の機能
が重複することも可能である。また粗な界面33の凹凸
#i[子写J¥感光体本体の表面34に反映されるよう
になっている。
模式的イδ故図である◎電子写真感光体30の層構bx
、#i、導亀性支持体31上に光導電層32を成層して
なり、先導v1層32は支持体側の層32−1.中間層
32−3.表面側の層32−2の三層構造であシ表面側
の層32−2と中間層32−3との境界が粗な界面33
となっている。各々の層は、支持体側の層32−1が導
電性支持体31から注入されるキャリアの障壁という機
能を持ち、中間層32−3が光キャリアの発生及び輸送
という機能を持ち、表面側の層32−3が表面保護、指
荷注入阻止という機能を持つ場合があるが、各層の機能
が重複することも可能である。また粗な界面33の凹凸
#i[子写J¥感光体本体の表面34に反映されるよう
になっている。
第4図は、光導を層が四層構造である電子写真感光体の
模式的構成図である。電子写真感光体400層構成は、
導電性支持体41上に光導電層42を成層してなり、光
導電層42は、支持体側の層42−1.第2中間層42
−4.中間層42−3.表面側の/# 42−2の四層
構造であり、第3図と同様に表面側の層42−2と中間
層42−3との境界が粗な界面43となっている。各層
の機能は、第2中間層42−4以外は、第3図に示す三
層構造のものと同様であり、第2中間層42−4Fi中
間層42−3より更に光吸収の大きい、キャリア発生機
能を持つ場合、支持体側の層42−1の障壁効果を大き
くする機能を持つ場合等がある0この場合第2中間層4
2−4と中間層42−3の機能は逆転する場合も可能で
あり、各層の機能は重複する場合も可能である□また粗
な界面43の凹凸は電子写X感光体本体の表面44に反
映されるようになっている。
模式的構成図である。電子写真感光体400層構成は、
導電性支持体41上に光導電層42を成層してなり、光
導電層42は、支持体側の層42−1.第2中間層42
−4.中間層42−3.表面側の/# 42−2の四層
構造であり、第3図と同様に表面側の層42−2と中間
層42−3との境界が粗な界面43となっている。各層
の機能は、第2中間層42−4以外は、第3図に示す三
層構造のものと同様であり、第2中間層42−4Fi中
間層42−3より更に光吸収の大きい、キャリア発生機
能を持つ場合、支持体側の層42−1の障壁効果を大き
くする機能を持つ場合等がある0この場合第2中間層4
2−4と中間層42−3の機能は逆転する場合も可能で
あり、各層の機能は重複する場合も可能である□また粗
な界面43の凹凸は電子写X感光体本体の表面44に反
映されるようになっている。
更に光導を層が5層以上の層からなる場合も可能である
。
。
また粗の界面の位置も第2図から第4図に示す位五以外
、即ち、各層の境界以外でも有効である0 ところで、界面を徂にする方法としては、各種の乾式あ
るいは湿式のエツチング及び機械的処理法がある。乾式
エツチングとしては、プラズマを用いた反応性イオンエ
ンチング、スパッタエツチング等が、湿式エツチングと
しては、酸、アルカリを用いたもの、あるいは通電罠よ
る溶解、陽極酸化等があシ、機械的処理法としては、サ
ンドブラスト、バフ及びその他の研摩材を用いたものが
可能である。
、即ち、各層の境界以外でも有効である0 ところで、界面を徂にする方法としては、各種の乾式あ
るいは湿式のエツチング及び機械的処理法がある。乾式
エツチングとしては、プラズマを用いた反応性イオンエ
ンチング、スパッタエツチング等が、湿式エツチングと
しては、酸、アルカリを用いたもの、あるいは通電罠よ
る溶解、陽極酸化等があシ、機械的処理法としては、サ
ンドブラスト、バフ及びその他の研摩材を用いたものが
可能である。
次に以上述べた構造の電子写真感光体の具体的製法及び
実施例について説明する。
実施例について説明する。
実施例1
真空槽中、50℃に加熱したアルミニツムドラム上に真
空蒸着によりSe及びSe Te合金(Te48%含有
)を各々45μm、3μmの膜厚で積層した電子写真感
光体をf−A試料とした。
空蒸着によりSe及びSe Te合金(Te48%含有
)を各々45μm、3μmの膜厚で積層した電子写真感
光体をf−A試料とした。
次にl−A試料の成膜過程の中でSeの蒸着の後圧一度
真空槽から取り出し、グラダマリアクタ中でフレオンプ
ラズマに10秒間曝射し、更に1−A試料と同様に5e
Te合金の蒸着を行なったものを1−B試料とした0両
試料に対し6.5KVの印加電圧によりコロナ帯電を施
し、800vの表面電位に帯電させ、発振波長790μ
mの半導体レーザーを光源として蕗光したところ、半減
露光感度は1−A試料で2.2μJ/α2゜1−B試料
で1.5μJ/cRでありフレオンプラズマによる処理
で界面を粗罠することで、光感度かよくなることがわか
った。更に、同様の半棉体レーザーを用い、トナー現1
欣を行なったところにじみのなく、干渉縞のない良好な
画像が得られた。この様・に界面を粗にすることで電子
写真感光体表面での乱反射光と導電性支持体での反射光
との干渉が弱まり干渉縞がなくなるという効果も生ずる
。
真空槽から取り出し、グラダマリアクタ中でフレオンプ
ラズマに10秒間曝射し、更に1−A試料と同様に5e
Te合金の蒸着を行なったものを1−B試料とした0両
試料に対し6.5KVの印加電圧によりコロナ帯電を施
し、800vの表面電位に帯電させ、発振波長790μ
mの半導体レーザーを光源として蕗光したところ、半減
露光感度は1−A試料で2.2μJ/α2゜1−B試料
で1.5μJ/cRでありフレオンプラズマによる処理
で界面を粗罠することで、光感度かよくなることがわか
った。更に、同様の半棉体レーザーを用い、トナー現1
欣を行なったところにじみのなく、干渉縞のない良好な
画像が得られた。この様・に界面を粗にすることで電子
写真感光体表面での乱反射光と導電性支持体での反射光
との干渉が弱まり干渉縞がなくなるという効果も生ずる
。
実施例2
平行平板プラズマCVD装置中にアルミニウム平板(1
00mmX 100wm)を設置し、10−’Torr
の真空度まで減圧し、アルミニウム平板を230 ”O
まで加熱した。昇温後5iH47oscc昼Arペース
B21−161%力x 3 SCCMの原料カスを流し
ながら0.5Torrの圧力に保ち13.56MHz。
00mmX 100wm)を設置し、10−’Torr
の真空度まで減圧し、アルミニウム平板を230 ”O
まで加熱した。昇温後5iH47oscc昼Arペース
B21−161%力x 3 SCCMの原料カスを流し
ながら0.5Torrの圧力に保ち13.56MHz。
120Wの高周波電力を投入し、プラズマ放電を生起さ
せ3分間の成膜を、行なった。次にS 1H41408
CCM、 0.8 Torrの圧力で200W、の高周
波電力を投入し、2時間の成膜を行ない、更に51g4
70 SCCM、 0210 SCCM、 0.5 T
orrの圧力で1ooWの高周波電力を投入し、2分間
の成膜を行なった。試料が室温まで冷却された後、真空
を破り試料を取り出し、これを2−A試料とした。次に
2−A試料の成膜過程の中でS iH414Q SCC
M 、 Q、g Torrの圧力で200Wの高周波電
力Kjルff1l[:、S i H47Q SCCM。
せ3分間の成膜を、行なった。次にS 1H41408
CCM、 0.8 Torrの圧力で200W、の高周
波電力を投入し、2時間の成膜を行ない、更に51g4
70 SCCM、 0210 SCCM、 0.5 T
orrの圧力で1ooWの高周波電力を投入し、2分間
の成膜を行なった。試料が室温まで冷却された後、真空
を破り試料を取り出し、これを2−A試料とした。次に
2−A試料の成膜過程の中でS iH414Q SCC
M 、 Q、g Torrの圧力で200Wの高周波電
力Kjルff1l[:、S i H47Q SCCM。
0210 SCCM、 0.5 Torrの圧力で10
0Wの高周波電力による成膜との間に、CCF4100
5CC,02758CCMを流し、圧力Q、$Torr
に保ちつつ%150Wの為周波電力を投入し5分間のプ
ラズマエツチングを施した。試料冷却後、真空を破り試
料を取り出しこれを2−B試料とした。この両試料に対
して6.5KVの印加電圧によりコロナ帯電を施し、5
00Vの表面電位に帯電させ発振波長790nmの半導
体レーザーを光源として露光したところ半減蕗光感度は
2−A試料で1.2 pJ/cm2. 2− B試料テ
0.8μJ/cR2であり、プラズマエツチングニよる
処理で界面を粗にすることで、光感反がよくなることが
わかった。
0Wの高周波電力による成膜との間に、CCF4100
5CC,02758CCMを流し、圧力Q、$Torr
に保ちつつ%150Wの為周波電力を投入し5分間のプ
ラズマエツチングを施した。試料冷却後、真空を破り試
料を取り出しこれを2−B試料とした。この両試料に対
して6.5KVの印加電圧によりコロナ帯電を施し、5
00Vの表面電位に帯電させ発振波長790nmの半導
体レーザーを光源として露光したところ半減蕗光感度は
2−A試料で1.2 pJ/cm2. 2− B試料テ
0.8μJ/cR2であり、プラズマエツチングニよる
処理で界面を粗にすることで、光感反がよくなることが
わかった。
以上説明したように本発明によれば、みかけの光感度の
低下を抑制し、長波長光に十分な光感糺を持つ電子写真
感光体を得ることができる。
低下を抑制し、長波長光に十分な光感糺を持つ電子写真
感光体を得ることができる。
第1図乃至第4図は本発明の一婁施例の電子写真感光体
を示す模式的描成図である。
を示す模式的描成図である。
Claims (5)
- (1)導電性支持体上に光導電層を形成してなる電子写
真感光体において、前記光導電層中に粗な界面を有する
ことを特徴とする電子写真感光体。 - (2)前記光導電層中の粗な界面が前記導電性支持体の
表面と平行あるいは同軸上にあることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載の電子写真感光体。 - (3)前記光導電層中の粗な界面が電子写真感光体本体
の表面近傍にあることを特徴とする特許請求の範囲第1
項又は第2項記載の電子写真感光体。 - (4)前記光導電層中の粗な界面の両側で成膜条件が異
なることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第3項
のいずれかに記載の電子写真感光体。 - (5)前記光導電層がケイ素を主体とする非晶質層から
なることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第4項
のいずれかに記載の電子写真感光体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18453484A JPS6163850A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 電子写真感光体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18453484A JPS6163850A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 電子写真感光体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6163850A true JPS6163850A (ja) | 1986-04-02 |
Family
ID=16154879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18453484A Pending JPS6163850A (ja) | 1984-09-05 | 1984-09-05 | 電子写真感光体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6163850A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61238060A (ja) * | 1985-04-16 | 1986-10-23 | Canon Inc | 電子写真感光体及びその画像形成法 |
WO2005093520A1 (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Canon Kabushiki Kaisha | 電子写真感光体、電子写真感光体の製造方法、プロセスカートリッジ および電子写真装置 |
-
1984
- 1984-09-05 JP JP18453484A patent/JPS6163850A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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