JPS6163850A - 電子写真感光体 - Google Patents

電子写真感光体

Info

Publication number
JPS6163850A
JPS6163850A JP18453484A JP18453484A JPS6163850A JP S6163850 A JPS6163850 A JP S6163850A JP 18453484 A JP18453484 A JP 18453484A JP 18453484 A JP18453484 A JP 18453484A JP S6163850 A JPS6163850 A JP S6163850A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
photoconductive layer
light
electrophotographic photoreceptor
photosensitivity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18453484A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidekazu Kaga
英一 加賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP18453484A priority Critical patent/JPS6163850A/ja
Publication of JPS6163850A publication Critical patent/JPS6163850A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、電子写真感光体、特にレーザープリンタ用電
子写真感光体に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
近年、レーザービームプリンタと言われる計算機の端末
、インテリジェントコピア等に使用される高級複写機の
需要が急速に高まっており、その光源として、He−N
e、Ar等のガスレーザーが用いられてきたが、最近、
装置の小型化。
低コスト化、変調の行ない易さ、等の点で半導体レーザ
ーが用いられるよう罠なってきた。
しかしながら、半導体レーザーの発振波長は、現在実用
レベルでは800 nm付近が最も短かく、8e−Te
系、Se As系、 a−8i 、 a−8i:Ge等
の材料を用いた電子写真感光体における長波長感度上昇
の努力が進められているが、十分な光感度を持ち、かつ
Fiシ返し特性が良好で長寿命なものは得られてムない
0特罠ケイ素を主体とする非晶気層を光4′Fb、層と
した感光体は、その長寿命、良好な繰シ返し特性にもか
かわらず長波長感度がわずかに不足しており実用化のレ
ベルとしては不十分である0 またレーザー光はコヒーレントな光であるため、大気中
から自体に入射されて反射されると、その位相が反転し
、入射光と干渉し、これを減衰させるように作用する0
この位相の反転した反射光と入射光との干渉による入射
光の減衰は入射角が小さい程大きく、また反射表面の平
滑性が良い程大きくなる0この様な入射光の減衰により
みかけの光113匹は低下する。当然のことながら反射
率が大きい程みかけの光感度の低下も大きくなる。また
入射光がコヒーレントな光でない場合も1表面反射によ
りみかけの光感度の低下は見られるが、コヒーレント光
の場合は。
非コヒーレント光の場合の倍に近い低下率を示すことに
なる。その為、以上に述べた様な5e−Te系、 8F
!−As系、a−8i等半導体レーザーの長波長限界で
1OclIL  柵板の光吸収係数を持つ実質的に−)
を感度の低い材靭においては、位相の反転した反射光と
入射光との干渉による入射光の減衰というみかけの光感
度の低下は致命的である。
〔発明の目的〕
本発明は1以上のような事情にもとづいてなされたもの
で、みかけの光感度の低下を抑制し、長波長光九十分な
光感度を持つ電子写真感光体を提供することを目的とす
る0 〔発明の概要〕 本発明は、上記目的を達成するために1導電性支持体上
に光導電層を形成してなる電子写真感光体くおいて、光
導電1−中に粗な界面を有し、入射光を乱射させること
により、位相の反転した反射光と入射光との干渉による
入射光の減衰というみかけの光感度の低下を抑制する電
子写真感光体である。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を図示の一実施例を参照しながら説明する
第1図は、本発明の電子写真感光体の基本的なCX#成
例を説明する為の模式的構成図である0電子写真感光体
10の層構成は導電性支持体11の上に光41h層12
をa層してなる0導電性支持体11は、例えばアルミニ
ウム。
ステンレス等の全編又はガラス、高分子フィルムの表面
に導電性もしくは半弓電性物質をコーティングしたもの
が利用でキ、−1lI−根状あるいは円筒状に形成して
用いられる。
光導電層12中には、導1b、性支持体11が平面ある
いは、これに近似できる曲面の場合は平行に、また導電
性支持体11が円筒状の場合は、同軸円筒面に谷々粗な
界面13が設けられており、その凹凸が電子写真感光体
本体の表面14に反映されることになる。本来、入射光
の乱反射を目的とするものである為、電子写真感光体本
体の表面14を粗にする方がより直接的であるが、現実
にtiル、子写真感光体本体の表面14は一般に必然的
に機械的強度が強く、化学的安定性の大きなものなので
、成膜後、粗にするより、光導電層12中罠粗な界面1
3を設け、この界面の上に均一に積層することで電子写
真感光体本体の表面14上に徂な昇面の凹凸を反映きせ
る方が簡率である。この為、光導電111# 12中の
粗な界面13は電子写真感光体本体の表面14の近傍に
あった方が望ましい。逆に導電性支持体11の近傍に粗
な界面を設けると電子写真感光体本体の表面14への凹
凸の反映が少なくなり、更にとの界面で乱反射が起こる
と画像のにじみを生じ易く望ましくない。
また光導tr@12は、単層から二層以上の被数層も可
能であり、その場合、粗な界面は異なった層の境界とす
ることが可能である。第2図は光導電層が二#構造であ
る電子写真感光体の模式的構成図である。電子写真感光
体20のl層構成は導電性支持体21上に、光4電層2
2を成層してなり、光導電層22は、粗な界面23を境
界として支持体側の層22−1と表面側のH22−1と
の二層tj4造である。谷々の層は、支持体側の622
−1が光キャリアの発生、輸送という機能を付ち、表1
i!1(′!llの鳩22−2が表面沫禮という囁11
’Fjを待つ場合、支持体側の層22−1が光キャリア
の輸送という機能を持ち、表面側の層22−2が光キャ
リアの発生という機能をもつ場合、またその逆の場合、
更に支持体側のN422−1が導電性支持体21から注
入されるキャリアの障壁という機能を持ち、表面側の層
22−2が光キャリアの発生、輸送という機能を持つ場
合等がある。また第1図と同様。
粗な界11tI23の凹凸が電子写真感光体本体の表面
24に反映されるようになっている。
第3図は、光導電層が三層構造である電子写真感光体の
模式的イδ故図である◎電子写真感光体30の層構bx
、#i、導亀性支持体31上に光導電層32を成層して
なり、先導v1層32は支持体側の層32−1.中間層
32−3.表面側の層32−2の三層構造であシ表面側
の層32−2と中間層32−3との境界が粗な界面33
となっている。各々の層は、支持体側の層32−1が導
電性支持体31から注入されるキャリアの障壁という機
能を持ち、中間層32−3が光キャリアの発生及び輸送
という機能を持ち、表面側の層32−3が表面保護、指
荷注入阻止という機能を持つ場合があるが、各層の機能
が重複することも可能である。また粗な界面33の凹凸
#i[子写J¥感光体本体の表面34に反映されるよう
になっている。
第4図は、光導を層が四層構造である電子写真感光体の
模式的構成図である。電子写真感光体400層構成は、
導電性支持体41上に光導電層42を成層してなり、光
導電層42は、支持体側の層42−1.第2中間層42
−4.中間層42−3.表面側の/# 42−2の四層
構造であり、第3図と同様に表面側の層42−2と中間
層42−3との境界が粗な界面43となっている。各層
の機能は、第2中間層42−4以外は、第3図に示す三
層構造のものと同様であり、第2中間層42−4Fi中
間層42−3より更に光吸収の大きい、キャリア発生機
能を持つ場合、支持体側の層42−1の障壁効果を大き
くする機能を持つ場合等がある0この場合第2中間層4
2−4と中間層42−3の機能は逆転する場合も可能で
あり、各層の機能は重複する場合も可能である□また粗
な界面43の凹凸は電子写X感光体本体の表面44に反
映されるようになっている。
更に光導を層が5層以上の層からなる場合も可能である
また粗の界面の位置も第2図から第4図に示す位五以外
、即ち、各層の境界以外でも有効である0 ところで、界面を徂にする方法としては、各種の乾式あ
るいは湿式のエツチング及び機械的処理法がある。乾式
エツチングとしては、プラズマを用いた反応性イオンエ
ンチング、スパッタエツチング等が、湿式エツチングと
しては、酸、アルカリを用いたもの、あるいは通電罠よ
る溶解、陽極酸化等があシ、機械的処理法としては、サ
ンドブラスト、バフ及びその他の研摩材を用いたものが
可能である。
次に以上述べた構造の電子写真感光体の具体的製法及び
実施例について説明する。
実施例1 真空槽中、50℃に加熱したアルミニツムドラム上に真
空蒸着によりSe及びSe Te合金(Te48%含有
)を各々45μm、3μmの膜厚で積層した電子写真感
光体をf−A試料とした。
次にl−A試料の成膜過程の中でSeの蒸着の後圧一度
真空槽から取り出し、グラダマリアクタ中でフレオンプ
ラズマに10秒間曝射し、更に1−A試料と同様に5e
Te合金の蒸着を行なったものを1−B試料とした0両
試料に対し6.5KVの印加電圧によりコロナ帯電を施
し、800vの表面電位に帯電させ、発振波長790μ
mの半導体レーザーを光源として蕗光したところ、半減
露光感度は1−A試料で2.2μJ/α2゜1−B試料
で1.5μJ/cRでありフレオンプラズマによる処理
で界面を粗罠することで、光感度かよくなることがわか
った。更に、同様の半棉体レーザーを用い、トナー現1
欣を行なったところにじみのなく、干渉縞のない良好な
画像が得られた。この様・に界面を粗にすることで電子
写真感光体表面での乱反射光と導電性支持体での反射光
との干渉が弱まり干渉縞がなくなるという効果も生ずる
実施例2 平行平板プラズマCVD装置中にアルミニウム平板(1
00mmX 100wm)を設置し、10−’Torr
の真空度まで減圧し、アルミニウム平板を230 ”O
まで加熱した。昇温後5iH47oscc昼Arペース
B21−161%力x 3 SCCMの原料カスを流し
ながら0.5Torrの圧力に保ち13.56MHz。
120Wの高周波電力を投入し、プラズマ放電を生起さ
せ3分間の成膜を、行なった。次にS 1H41408
CCM、 0.8 Torrの圧力で200W、の高周
波電力を投入し、2時間の成膜を行ない、更に51g4
70 SCCM、 0210 SCCM、 0.5 T
orrの圧力で1ooWの高周波電力を投入し、2分間
の成膜を行なった。試料が室温まで冷却された後、真空
を破り試料を取り出し、これを2−A試料とした。次に
2−A試料の成膜過程の中でS iH414Q SCC
M 、 Q、g Torrの圧力で200Wの高周波電
力Kjルff1l[:、S i H47Q SCCM。
0210 SCCM、 0.5 Torrの圧力で10
0Wの高周波電力による成膜との間に、CCF4100
5CC,02758CCMを流し、圧力Q、$Torr
に保ちつつ%150Wの為周波電力を投入し5分間のプ
ラズマエツチングを施した。試料冷却後、真空を破り試
料を取り出しこれを2−B試料とした。この両試料に対
して6.5KVの印加電圧によりコロナ帯電を施し、5
00Vの表面電位に帯電させ発振波長790nmの半導
体レーザーを光源として露光したところ半減蕗光感度は
2−A試料で1.2 pJ/cm2. 2− B試料テ
0.8μJ/cR2であり、プラズマエツチングニよる
処理で界面を粗にすることで、光感反がよくなることが
わかった。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、みかけの光感度の
低下を抑制し、長波長光に十分な光感糺を持つ電子写真
感光体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第4図は本発明の一婁施例の電子写真感光体
を示す模式的描成図である。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)導電性支持体上に光導電層を形成してなる電子写
    真感光体において、前記光導電層中に粗な界面を有する
    ことを特徴とする電子写真感光体。
  2. (2)前記光導電層中の粗な界面が前記導電性支持体の
    表面と平行あるいは同軸上にあることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の電子写真感光体。
  3. (3)前記光導電層中の粗な界面が電子写真感光体本体
    の表面近傍にあることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項又は第2項記載の電子写真感光体。
  4. (4)前記光導電層中の粗な界面の両側で成膜条件が異
    なることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第3項
    のいずれかに記載の電子写真感光体。
  5. (5)前記光導電層がケイ素を主体とする非晶質層から
    なることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第4項
    のいずれかに記載の電子写真感光体。
JP18453484A 1984-09-05 1984-09-05 電子写真感光体 Pending JPS6163850A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18453484A JPS6163850A (ja) 1984-09-05 1984-09-05 電子写真感光体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18453484A JPS6163850A (ja) 1984-09-05 1984-09-05 電子写真感光体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6163850A true JPS6163850A (ja) 1986-04-02

Family

ID=16154879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18453484A Pending JPS6163850A (ja) 1984-09-05 1984-09-05 電子写真感光体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6163850A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61238060A (ja) * 1985-04-16 1986-10-23 Canon Inc 電子写真感光体及びその画像形成法
WO2005093520A1 (ja) * 2004-03-26 2005-10-06 Canon Kabushiki Kaisha 電子写真感光体、電子写真感光体の製造方法、プロセスカートリッジ および電子写真装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61238060A (ja) * 1985-04-16 1986-10-23 Canon Inc 電子写真感光体及びその画像形成法
JPH0547101B2 (ja) * 1985-04-16 1993-07-15 Canon Kk
WO2005093520A1 (ja) * 2004-03-26 2005-10-06 Canon Kabushiki Kaisha 電子写真感光体、電子写真感光体の製造方法、プロセスカートリッジ および電子写真装置
US7226711B2 (en) 2004-03-26 2007-06-05 Canon Kabushiki Kaisha Electrophotographic photosensitive member, method for manufacturing electrophotographic photosensitive member, process cartridge and electrophotographic apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4411972A (en) Integrated circuit photomask
JPH0364062B2 (ja)
JPS6163850A (ja) 電子写真感光体
US3443938A (en) Frost imaging employing a deformable electrode
EP0021751B1 (en) Electrophotographic plate and a process for preparation of such a plate
JPS6163851A (ja) 電子写真感光体
US4330610A (en) Method of imaging overcoated photoreceptor containing gold injecting layer
JPH04204735A (ja) フォトマスクブランク及びその製造方法、並びにファトマスク及びその製造方法
JPH0462501A (ja) 屈折率分布型レンズアレイ
JPS61105560A (ja) 電子写真感光体
JPS6381430A (ja) 電子写真感光体
CA1249476A (en) Low field electrophotographic process
JPH0544668B2 (ja)
JPS6146966A (ja) 電子写真装置
JPS63305365A (ja) 電子写真用感光体
JPS6129850A (ja) 電子写真感光体
JP3192533B2 (ja) 光学素子の製造方法
JPH0485543A (ja) 電子写真用感光体およびその製造方法
JPS62150259A (ja) 電子写真用感光体
JPH10239883A (ja) 電子写真有機感光体
JPS6120047A (ja) 光受容部材
JPS6142663A (ja) 情報記録装置
US20050000822A1 (en) Method for preparing a carrier for a photoconductor for the formation of an electrophotographic recording element and a recording element formed accordingly
JPS6035745A (ja) 電子写真感光体
JPS6146967A (ja) 電子写真装置