JPS61124185A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は小型化対策に好適な配置を行なったガスレーザ
装置に関する。

〔発明の背景〕

従来のガスレーザ装置は、第一熱交換器からブロアまで
と、ブロアから第二熱交換器までのガス流路がＬ形に接
続されているのが多く見られる。

また、ブロアと熱交換器を床面と平行に配置しているも
のもあるが、いずれも、占有床面積が大きくなってしま
う。

この種の装置構成を示しているものには、例えば、特開
昭５６−８１９８９　、特開昭５７−１１５８９０、特
開昭５８−１８２８８７号公報等が挙げられる。

また、レーザ発振器の効率を上げるためにブロアの前後
に熱交換器を設けるが、熱交換器、ブロア、熱交換器と
いう三要素を床面と平行配置もしくはＬ字形配置にして
は占有床面積が大きくなってしまう。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、小型のガスレーザ装置を提供すること
にある。

〔発明の概要〕

本発明の要点は、高さ方向にブロア、熱交換器を重ね上
げ、かつ、上・上熱交換器側面よりガスの流出入を行な
い小型化を図ることにある。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第一熱交換器１．ブロア２、第二熱交換器３を高さ方向
に重ねる。ガス流方向は矢印４で示している。第一熱交
換器１の側面にはガス流入口５が設けられている。第二
熱交換器２の側面にはガス吐出口６が設けられる。レー
ザガスはブロア２により吹き出され、第二熱交換器３で
冷却されたあと、放電部７ａ、７ｂに吹き込まれる。放
電にさらされ加熱されたガスは第一熱交換器１に戻り、
冷却され、ブロア２へ送られる。

本実施例によれば、熱交換器部、ブロア部の占有床面積
を少なくでき、かつ、高さ方向長も熱交換器部、ブロア
部の高さ方向成分のもに低減できる。

放電部７ａ、７ｂの寸法と比較し、余裕のできる下部に
は、補機、たとえば、真空ポンプなどが設置でき、装置
全体の小型化が図れる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、熱交換器−ブロア系の占有床面積を減
少することにより、リーザ装置を小型化することができ
る。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例の装置構成図である。 １・・・第一熱交換器、２・・・ブロア、３・・・第二
熱交換器、５・・・ガス流入口、６・・・ガス吐出口。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、気密容器内にレーザガスを満たし、このレーザガス
   を励起する放電部と、放電によつて熱せられた前記レー
   ザガスを冷却する熱交換器と、前記レーザガスを循環さ
   せるブロアを設けたガスレーザ装置において、 前記ブロアの上部に第一熱交換器を設け、前記ブロア下
   部に第二熱交換器を設け、前記第一熱交換器の側面に前
   記レーザガスの流入口を設け、前記第二熱交換器の側面
   に前記レーザガスの吐出口を設けたことを特徴とするガ
   スレーザ装置。