JPS61122951A - 光記録デイスク用記録媒体のコ−テイング方法 - Google Patents
光記録デイスク用記録媒体のコ−テイング方法Info
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- JPS61122951A JPS61122951A JP59243703A JP24370384A JPS61122951A JP S61122951 A JPS61122951 A JP S61122951A JP 59243703 A JP59243703 A JP 59243703A JP 24370384 A JP24370384 A JP 24370384A JP S61122951 A JPS61122951 A JP S61122951A
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- JP
- Japan
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- target
- optical recording
- gaseous
- recording medium
- recording disk
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
- G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
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- G11B2007/24302—Metals or metalloids
- G11B2007/24316—Metals or metalloids group 16 elements (i.e. chalcogenides, Se, Te)
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11B2007/24318—Non-metallic elements
- G11B2007/2432—Oxygen
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
るものである。
従来例の構成とその問題点
近年高恰度記録メディアとして光記録ディスクが注目さ
れてきた。我々は、特にその記録媒体について研究開発
を進めた結果、テルル（Ｔｏ ）の低［設化物を主成分
とした材料がＣ／Ｎ 、熱安定性の点で優れており、簀
侠え可能なものも得られる事を見出した。しかしながら
その特性は、媒体の組成・膜質の影響を大きく受け、注
意深く作る必（ＴａＯ２）＆び酸化可能な金属の多成分
系が用いら゛れ、従来真空蒸着により成膜していた。し
かしながら、真空蒸着の場合には、同じパワーで加熱し
ても、その再現性に問題があり、微妙な組成のコントロ
ールが出来ないため、歩留りが悪い。さらに真空蒸着で
は材料によって蒸気圧に差がある事から、つまシ低い温
度で容易に蒸発する材料と、蒸発し難い材料がら９、一
般的に蒸着当初は蒸発し易い材料が多く含まれる組成で
、次第に蒸発し難い材料の組成が増加してくるという特
徴があるため、実際に求める組成の膜が得られるのは、
蒸発し易い材料と、蒸発し難い材料の蒸気圧が特定の値
くなる極めて限られた期間という事になり、材料組成の
コントロールが困難である事は勿論のこと、材料の利用
効率や作業性にも多くの問題があった。
れてきた。我々は、特にその記録媒体について研究開発
を進めた結果、テルル（Ｔｏ ）の低［設化物を主成分
とした材料がＣ／Ｎ 、熱安定性の点で優れており、簀
侠え可能なものも得られる事を見出した。しかしながら
その特性は、媒体の組成・膜質の影響を大きく受け、注
意深く作る必（ＴａＯ２）＆び酸化可能な金属の多成分
系が用いら゛れ、従来真空蒸着により成膜していた。し
かしながら、真空蒸着の場合には、同じパワーで加熱し
ても、その再現性に問題があり、微妙な組成のコントロ
ールが出来ないため、歩留りが悪い。さらに真空蒸着で
は材料によって蒸気圧に差がある事から、つまシ低い温
度で容易に蒸発する材料と、蒸発し難い材料がら９、一
般的に蒸着当初は蒸発し易い材料が多く含まれる組成で
、次第に蒸発し難い材料の組成が増加してくるという特
徴があるため、実際に求める組成の膜が得られるのは、
蒸発し易い材料と、蒸発し難い材料の蒸気圧が特定の値
くなる極めて限られた期間という事になり、材料組成の
コントロールが困難である事は勿論のこと、材料の利用
効率や作業性にも多くの問題があった。
発明の目的
本発明は上記欠点に鑑み、光記録ディスク用駕１記録媒
体の容易なコーティング法を提供することを目的とする
ものである。
体の容易なコーティング法を提供することを目的とする
ものである。
発明の構成
本発明の方法は、テルルと酸化テルル及び酸化される金
属との多成分材料をターゲットに用い、ガスとしてＡｒ
とＱ２の混合気体を用い、ＲＦ電源よりマツチング回路
を通じて、カソードに電力を供給し、ターゲットに対向
したディスクを回転させながら、記録媒体をコーティン
グするもので、再現性、作業性及び組成のコントロール
が容易となるものである。
属との多成分材料をターゲットに用い、ガスとしてＡｒ
とＱ２の混合気体を用い、ＲＦ電源よりマツチング回路
を通じて、カソードに電力を供給し、ターゲットに対向
したディスクを回転させながら、記録媒体をコーティン
グするもので、再現性、作業性及び組成のコントロール
が容易となるものである。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
テルルと酸化テルル及び酸化される金属を含む多成分材
料をプレスで固め、銅のバッキングプレートに接層した
ターゲット１を、ＲＦ 電源２よりマツチング回路３を
通して、電力を供給されるカソード４に取付け、真空ポ
ンプ８を持つチャンバ５にバリアプルリークパルプ６を
介してガスを導入し、ターゲット１に対向して回転可能
な光記録ディスク基板７を配したスパッタ装置のチャン
バ内を１０ Ｔｏｒｒまで排気し、次にＡｒ９と０□
１゜をその体積比で１０対０．５〜１Ｑ対３の割合に混
合したガスを導入し、ＲＦ電源より５００ＶＶの電力を
カソードに供給１０”” Ｔｏｒｒ台で放電を開始させ
た後５ Ｘ １０”から３ Ｘ １０−’ Ｔａｒ ｒ
の範囲に圧力を調整してターゲットより材料をスパッタ
させ、１０〜２００ｒｐｗ に回転させた光記録ディス
ク基板に、約１２００人の膜を打出させた後、ＲＦ ハ
ワーを切シ、ガス供給を止め、チャンバを大気に戻して
、ディスクを取出す。
料をプレスで固め、銅のバッキングプレートに接層した
ターゲット１を、ＲＦ 電源２よりマツチング回路３を
通して、電力を供給されるカソード４に取付け、真空ポ
ンプ８を持つチャンバ５にバリアプルリークパルプ６を
介してガスを導入し、ターゲット１に対向して回転可能
な光記録ディスク基板７を配したスパッタ装置のチャン
バ内を１０ Ｔｏｒｒまで排気し、次にＡｒ９と０□
１゜をその体積比で１０対０．５〜１Ｑ対３の割合に混
合したガスを導入し、ＲＦ電源より５００ＶＶの電力を
カソードに供給１０”” Ｔｏｒｒ台で放電を開始させ
た後５ Ｘ １０”から３ Ｘ １０−’ Ｔａｒ ｒ
の範囲に圧力を調整してターゲットより材料をスパッタ
させ、１０〜２００ｒｐｗ に回転させた光記録ディス
ク基板に、約１２００人の膜を打出させた後、ＲＦ ハ
ワーを切シ、ガス供給を止め、チャンバを大気に戻して
、ディスクを取出す。
以上のように本実施例によれば、テルルと酸化テルル及
び酸化可能な金属を主成分とする多成分材料をターゲッ
トにし、ＡｒとＱ２の混合ガスで、ＲＦ スパッタし、
ターゲットに対向した光記録ディスク基板を回転しなが
ら成膜することによシ、ディスク基板上に、均一で均質
な記録媒体を、その組成・膜質を所望の通り容易に得ら
れることができる。
び酸化可能な金属を主成分とする多成分材料をターゲッ
トにし、ＡｒとＱ２の混合ガスで、ＲＦ スパッタし、
ターゲットに対向した光記録ディスク基板を回転しなが
ら成膜することによシ、ディスク基板上に、均一で均質
な記録媒体を、その組成・膜質を所望の通り容易に得ら
れることができる。
ここでＡｒと０□０混合ガスを用いず、一般的に用いら
れるＡｒガスのみでスパッタすると、テルルと酸化テル
ルの膜組成比が、ターゲット材料の組成比と異なるとい
う問題があシ、予め、ターゲット材料組成比を変えてお
いても、成膜時の組成再現性に問題がある事が判った。
れるＡｒガスのみでスパッタすると、テルルと酸化テル
ルの膜組成比が、ターゲット材料の組成比と異なるとい
う問題があシ、予め、ターゲット材料組成比を変えてお
いても、成膜時の組成再現性に問題がある事が判った。
発明の効果
以上のように、テルルと酸化テルル及び酸化可能な金属
を主成分とする多成分材料をターゲットにし、Ａｒと０
２の混合ガスで、ＲＦパワーによシ陰極スパッタし、タ
ーゲットに対向した光記録ディスク基板を回転しながら
成膜することにより、均一で均質な膜が、所望の組成で
再現性よく得られ、光記録ディスク生産の点からその実
用的効果は大なるものがある。
を主成分とする多成分材料をターゲットにし、Ａｒと０
２の混合ガスで、ＲＦパワーによシ陰極スパッタし、タ
ーゲットに対向した光記録ディスク基板を回転しながら
成膜することにより、均一で均質な膜が、所望の組成で
再現性よく得られ、光記録ディスク生産の点からその実
用的効果は大なるものがある。
図は本発明の一実施例におけるスパッタ装置の構成概念
図である。 １・・・・・・ターゲット、２・・・・・・ＭＦ電源、
７・・・・・・光記録ディスク基板。
図である。 １・・・・・・ターゲット、２・・・・・・ＭＦ電源、
７・・・・・・光記録ディスク基板。
Claims (1)
- テルルと酸化テルル及び酸化可能な金属を主成分とする
多成分材料をターゲットに、ＡｒとＯ＿２の混合ガスで
、ＲＦパワーにより陰極スパッタし、ターゲットに対向
した光記録ディスク基板を回転しながら成膜する光記録
ディスク用記録媒体のコーティング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59243703A JPH0648554B2 (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 光記録デイスク用記録媒体のコ−テイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59243703A JPH0648554B2 (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 光記録デイスク用記録媒体のコ−テイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61122951A true JPS61122951A (ja) | 1986-06-10 |
| JPH0648554B2 JPH0648554B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=17107726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59243703A Expired - Fee Related JPH0648554B2 (ja) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | 光記録デイスク用記録媒体のコ−テイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648554B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6348632A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-03-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
| CN113666717A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-11-19 | 先导薄膜材料有限公司 | 一种导电TeOX旋转靶材及其制备方法 |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP59243703A patent/JPH0648554B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6348632A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-03-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
| JPH0752527B2 (ja) * | 1986-08-18 | 1995-06-05 | 松下電器産業株式会社 | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 |
| CN113666717A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-11-19 | 先导薄膜材料有限公司 | 一种导电TeOX旋转靶材及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648554B2 (ja) | 1994-06-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |