JPS61104411A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61104411A JPS61104411A JP22339484A JP22339484A JPS61104411A JP S61104411 A JPS61104411 A JP S61104411A JP 22339484 A JP22339484 A JP 22339484A JP 22339484 A JP22339484 A JP 22339484A JP S61104411 A JPS61104411 A JP S61104411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic head
- head
- thin film
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
コノ発明は、シロツピイディスクなどの可撓性のある磁
気記録媒体に接触して記録・再生または消去を行なう磁
気ヘッドに関するものである。
気記録媒体に接触して記録・再生または消去を行なう磁
気ヘッドに関するものである。
゛ （従来の技術）
近年、小型電子計算機（いわゆるマイコン）などの補助
記憶装置として、可撓性の磁気記憶媒体いわゆるフロッ
ピィディスクに磁気ヘッドを接触させて記録・再生を行
なうフロッピィディスク装置が盛んに用いらｊ２ている
。こｎ、は、大型電子計算機などに使用さｎ、ているア
ルミ円板に付着ざｎ、た磁気記録媒体に磁気ヘッドで非
接触記録・再生を行なうノ・−ドディスク装置に較べて
、トラッキングサーボなどの機能を有していないので、
性能、機能の面では劣るものの、小型であり、はるかに
安価でβるという利点を有している。
記憶装置として、可撓性の磁気記憶媒体いわゆるフロッ
ピィディスクに磁気ヘッドを接触させて記録・再生を行
なうフロッピィディスク装置が盛んに用いらｊ２ている
。こｎ、は、大型電子計算機などに使用さｎ、ているア
ルミ円板に付着ざｎ、た磁気記録媒体に磁気ヘッドで非
接触記録・再生を行なうノ・−ドディスク装置に較べて
、トラッキングサーボなどの機能を有していないので、
性能、機能の面では劣るものの、小型であり、はるかに
安価でβるという利点を有している。
このフロッピィディスク装置に対して、市場よりさらに
小型化、大容量化、高記録密度化の要求がな一３ｎ、て
いる。この要求に応えるためには、トラック密度の向上
や線記録密度の向上を計る必要がある。しかし、従来か
ら使用さｎ、てきたＮ１−２ｎフエライトやＭｎ−Ｚｎ
フェライトの磁気ヘッドでは種々の問題点がアリ、この
要求に対応するには限度がある。
小型化、大容量化、高記録密度化の要求がな一３ｎ、て
いる。この要求に応えるためには、トラック密度の向上
や線記録密度の向上を計る必要がある。しかし、従来か
ら使用さｎ、てきたＮ１−２ｎフエライトやＭｎ−Ｚｎ
フェライトの磁気ヘッドでは種々の問題点がアリ、この
要求に対応するには限度がある。
第４図は従来の磁気ヘッドの構造を示し、その（ｃＬ）
図は平面図、（ｂ）図は一部切断した正面図、（Ｃ）図
は一部切断した側面図であり、磁気ヘッドチップ１の部
分は、第５図に示すように、サポート部２，６、消去ヘ
ッド部３，５、記録・再生ヘッド部４の５つの部分に分
かｎ、ており、トラック幅７，８．９に対応する薄片の
消去ヘッド部３と記録・再生ヘッド部４と消去ヘッド部
５とを積層接着することで組立てらｎ、ている。
図は平面図、（ｂ）図は一部切断した正面図、（Ｃ）図
は一部切断した側面図であり、磁気ヘッドチップ１の部
分は、第５図に示すように、サポート部２，６、消去ヘ
ッド部３，５、記録・再生ヘッド部４の５つの部分に分
かｎ、ており、トラック幅７，８．９に対応する薄片の
消去ヘッド部３と記録・再生ヘッド部４と消去ヘッド部
５とを積層接着することで組立てらｎ、ている。
このため、磁気ヘッドチップの厚み、すなわち、記録・
再生トラック幅または消去トラック幅は、加工上、取扱
い上から１５０〜２００μｍが限度と考えらｎｌ、トラ
ック密度の向上には大変不利である。さらに、線記録密
度の向上に対しても、磁気ヘッドの磁気回路が長く、記
録・再生用巻線１０や消去用巻線１１ の位置も磁気
ヘッドギャップ１２．１３からかなり雛ｎ、た部分にあ
るため、短波長の信号の再生には大変不利である。
再生トラック幅または消去トラック幅は、加工上、取扱
い上から１５０〜２００μｍが限度と考えらｎｌ、トラ
ック密度の向上には大変不利である。さらに、線記録密
度の向上に対しても、磁気ヘッドの磁気回路が長く、記
録・再生用巻線１０や消去用巻線１１ の位置も磁気
ヘッドギャップ１２．１３からかなり雛ｎ、た部分にあ
るため、短波長の信号の再生には大変不利である。
（発明か解決しようとする問題点）
この発明は、トラック密度の向上のための、磁気ヘッド
の狭トラツク幅の加工を容易にし、てらに、高記録密度
化のために、保磁力の高い記録媒体に対しても容易に記
録・再生および消去ができる勇気ヘッドを得ようとする
ものでろる。
の狭トラツク幅の加工を容易にし、てらに、高記録密度
化のために、保磁力の高い記録媒体に対しても容易に記
録・再生および消去ができる勇気ヘッドを得ようとする
ものでろる。
（問題点を解決するための手段）
この発明は、前記のような問題点を解決するため、電磁
変換素子でるる磁気ヘッドチップとこの磁気ヘッドチッ
プの両側を挾み込むヘッドサポート部を備え、磁気記録
媒体と対向する表面が球面状をなし、磁気記録媒体と接
触走行しながら記録・再生を行なう磁気ヘッドにおいて
、前記ヘッドサポート上にスパッタリング加工または蒸
着加工などで形成した磁性薄膜、で磁気ヘッドチップを
構成した磁気ヘッド、およびヘッドサポート上に前記同
様にして形成した磁性薄膜を５１０２またはＡｌ２Ｏ３
などの電気絶縁材料で層間を絶縁して多層化した磁気ヘ
ッドチップを構成した磁気ヘッドを提供するものである
。
変換素子でるる磁気ヘッドチップとこの磁気ヘッドチッ
プの両側を挾み込むヘッドサポート部を備え、磁気記録
媒体と対向する表面が球面状をなし、磁気記録媒体と接
触走行しながら記録・再生を行なう磁気ヘッドにおいて
、前記ヘッドサポート上にスパッタリング加工または蒸
着加工などで形成した磁性薄膜、で磁気ヘッドチップを
構成した磁気ヘッド、およびヘッドサポート上に前記同
様にして形成した磁性薄膜を５１０２またはＡｌ２Ｏ３
などの電気絶縁材料で層間を絶縁して多層化した磁気ヘ
ッドチップを構成した磁気ヘッドを提供するものである
。
（作 用）
この発明は、前記のような手段によって、すなわち、ヘ
ッドサポート上にスパッタリング加工または蒸着加工な
どで磁性薄膜を形成し、こｊ、によって磁気ヘッドチッ
プを構成することにより、磁気ヘッドの狭トラツク幅の
加工を容易に行なうことができる。
ッドサポート上にスパッタリング加工または蒸着加工な
どで磁性薄膜を形成し、こｊ、によって磁気ヘッドチッ
プを構成することにより、磁気ヘッドの狭トラツク幅の
加工を容易に行なうことができる。
（実施例）
以下、この発明の実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。
る。
第１図はこの発明の磁気ヘッドを示し、その（α）図は
平面図、わ）図は正面図、（ｃ１図は側面図であり、図
示のように、この磁気ヘッドは、記録・再生用ヘッドチ
ップ１４と消去用ヘッドチッグト５を有するトンネルイ
レーズ方式の磁気ヘッドであり、こｎ、らの磁気−ツト
チツブの両側は、非磁性のセラミック製のヘッドサポー
ト部１６により挾まｎ、ており、磁気ヘッドチップとヘ
ッドサポート部で形成さｎ、る表面１７は、記録媒体走
行時に記録媒体にできるだけ密着し、記録媒体を傷付け
ないようにするため、球面または楕球面などの丸味を有
するように研摩石ｎ。
平面図、わ）図は正面図、（ｃ１図は側面図であり、図
示のように、この磁気ヘッドは、記録・再生用ヘッドチ
ップ１４と消去用ヘッドチッグト５を有するトンネルイ
レーズ方式の磁気ヘッドであり、こｎ、らの磁気−ツト
チツブの両側は、非磁性のセラミック製のヘッドサポー
ト部１６により挾まｎ、ており、磁気ヘッドチップとヘ
ッドサポート部で形成さｎ、る表面１７は、記録媒体走
行時に記録媒体にできるだけ密着し、記録媒体を傷付け
ないようにするため、球面または楕球面などの丸味を有
するように研摩石ｎ。
ている。さらに、記録・再生用巻線１０や消去用巻線１
１をできるだけ磁気ヘッドチップの磁性体に近づけるた
め、溝１８を設けてこの溝に巻線に行なうことにより磁
気ヘッドの効率を良くしである。
１をできるだけ磁気ヘッドチップの磁性体に近づけるた
め、溝１８を設けてこの溝に巻線に行なうことにより磁
気ヘッドの効率を良くしである。
次に、この磁気ヘッドの製造について第２図を参照しな
がら説明する。まず、磁性材料の熱膨張係数とほぼ同じ
、値を有するセラミック基板１９にスパッタリング加工
または蒸着加工などでの）図に示すように磁性薄膜２０
を形成する。
がら説明する。まず、磁性材料の熱膨張係数とほぼ同じ
、値を有するセラミック基板１９にスパッタリング加工
または蒸着加工などでの）図に示すように磁性薄膜２０
を形成する。
次に、ｂ）図に示すように、上記のように磁性薄膜２０
を形成［またセラミック基板１９．１９を２枚互いに磁
性薄、［２０，２０を向い合わせて接着するか、あるい
は図示しないが磁性薄膜の付着していないセラミック基
板で上記磁性薄膜２０を挾むようにセラミック基板１９
と接着して、記録・再生用の磁気ヘッド材料を作る。（
０図は消去用の磁気ヘッド材料を示すが、２枚のセラミ
ック基板１９．１９の磁性薄、模２０，２０（Ｄ 間ｉ
Ｃスペーサ２１を挾み込んで接着している。
を形成［またセラミック基板１９．１９を２枚互いに磁
性薄、［２０，２０を向い合わせて接着するか、あるい
は図示しないが磁性薄膜の付着していないセラミック基
板で上記磁性薄膜２０を挾むようにセラミック基板１９
と接着して、記録・再生用の磁気ヘッド材料を作る。（
０図は消去用の磁気ヘッド材料を示すが、２枚のセラミ
ック基板１９．１９の磁性薄、模２０，２０（Ｄ 間ｉ
Ｃスペーサ２１を挾み込んで接着している。
こｎ、らの磁性薄膜２０の膜厚が最終的に磁気ヘッドの
トラック幅となる。
トラック幅となる。
次に、（Ｃ）図またはｆ６）図に示すような大きな磁気
ヘッド材料を、（ｅ）図に示すような磁気ヘッドに近い
大きさに切断し、（ｆ）図に示すように巻線溝２２を加
ニジ１．ギャップ対向面２３，２４は研摩加工を施す。
ヘッド材料を、（ｅ）図に示すような磁気ヘッドに近い
大きさに切断し、（ｆ）図に示すように巻線溝２２を加
ニジ１．ギャップ対向面２３，２４は研摩加工を施す。
次に、後述するギャップ部を形成するためギャップ対向
面２３．２４にＳ１０□などの絶縁物をスパッタリング
加工や蒸着加工などでギャップ長に相当するスペーサを
形成した後、−図に示すように上記ギャップ対向面２３
．２４を接着してギャップ２５を形成した記録・再生ヘ
ッドチップ２６を作成する。次に、ｔｈＪ図に示すよう
に、上記同様にして作成した消去ヘッドチップ２７と記
録・再生ヘッド２６とを互いに接着し、記録媒体との接
触面を球面るるいは楕球面の一部となるように研中し、
第１図に示すように溝１８を形成し、そこに巻線を施し
て磁気ヘッドを完成させる。この装造工程における接着
はガラスや金属などの無機接着あるいはエポキシ系接着
剤などの有機接着のどちらか一方または両方で行なって
よい。
面２３．２４にＳ１０□などの絶縁物をスパッタリング
加工や蒸着加工などでギャップ長に相当するスペーサを
形成した後、−図に示すように上記ギャップ対向面２３
．２４を接着してギャップ２５を形成した記録・再生ヘ
ッドチップ２６を作成する。次に、ｔｈＪ図に示すよう
に、上記同様にして作成した消去ヘッドチップ２７と記
録・再生ヘッド２６とを互いに接着し、記録媒体との接
触面を球面るるいは楕球面の一部となるように研中し、
第１図に示すように溝１８を形成し、そこに巻線を施し
て磁気ヘッドを完成させる。この装造工程における接着
はガラスや金属などの無機接着あるいはエポキシ系接着
剤などの有機接着のどちらか一方または両方で行なって
よい。
この発明の磁気ヘッドは、以上説明したように構成した
もので６Ｊ）、その磁気ヘッドの狭トラツク加工の容易
さについて説明すると、従来の磁気ヘッド材料のフェラ
イトなどのバルク材を研削してトラック幅を作る手段に
較べて、スパッタリング加工や蒸着加工などで形成石ｎ
、た磁性薄膜の膜厚がトラック幅となるこの発明の磁気
ヘッドの方が、トラック幅のコントロールすなわち磁性
薄膜の膜厚のコントロールの精度が高く、容易に±０．
１μフルを実現できる。
もので６Ｊ）、その磁気ヘッドの狭トラツク加工の容易
さについて説明すると、従来の磁気ヘッド材料のフェラ
イトなどのバルク材を研削してトラック幅を作る手段に
較べて、スパッタリング加工や蒸着加工などで形成石ｎ
、た磁性薄膜の膜厚がトラック幅となるこの発明の磁気
ヘッドの方が、トラック幅のコントロールすなわち磁性
薄膜の膜厚のコントロールの精度が高く、容易に±０．
１μフルを実現できる。
また、磁気ヘッドの高飽和磁束密度化について説明する
と、狭トラツク化を行なうと、当然、再生出力の低下を
きたす。この低下は、磁気記録媒体の残留磁化Ｂｒを大
きくすることでカバーできるが、線記録密度の上限を決
める磁気記録媒体の磁化遷移長α、磁気記録媒体の保磁
力Ｈｃと残留磁化Ｂ、との間に、αＣＸ： （Ｂ、 ／
Ｈ，）””の関係が知らｎ、ておシ、残留磁化Ｂ７を犬
きぐした場合は、保磁力Ｈｃも大きくする必要がある。
と、狭トラツク化を行なうと、当然、再生出力の低下を
きたす。この低下は、磁気記録媒体の残留磁化Ｂｒを大
きくすることでカバーできるが、線記録密度の上限を決
める磁気記録媒体の磁化遷移長α、磁気記録媒体の保磁
力Ｈｃと残留磁化Ｂ、との間に、αＣＸ： （Ｂ、 ／
Ｈ，）””の関係が知らｎ、ておシ、残留磁化Ｂ７を犬
きぐした場合は、保磁力Ｈｃも大きくする必要がある。
保磁力Ｈ６の大きい磁気記録媒体に充分に記録するには
、磁気ヘッドの飽和磁束密度Ｂ １０１を犬きくする必
要があり、Ｍｎ−Ｚｎ フェライトの飽和磁束密度Ｂ
１ｏ３０００〜５５００ ガウスに較べて、金属系磁
性体たとえばパーマロイ、センダストなどの飽和磁束密
度Ｂ１ｏ ８０００〜１１０００ガウスの方が高記録密
度化の面から大変有利である。この発明では、この金属
系磁性体をスパッタリング加工や蒸着加工などによシ、
磁性薄膜として利用しているものでるる。
、磁気ヘッドの飽和磁束密度Ｂ １０１を犬きくする必
要があり、Ｍｎ−Ｚｎ フェライトの飽和磁束密度Ｂ
１ｏ３０００〜５５００ ガウスに較べて、金属系磁
性体たとえばパーマロイ、センダストなどの飽和磁束密
度Ｂ１ｏ ８０００〜１１０００ガウスの方が高記録密
度化の面から大変有利である。この発明では、この金属
系磁性体をスパッタリング加工や蒸着加工などによシ、
磁性薄膜として利用しているものでるる。
第３図は、磁性薄膜の膜厚の拡大図で、（α）図はトラ
ック幅Ａの一層の磁性薄膜２８を表わしている。
ック幅Ａの一層の磁性薄膜２８を表わしている。
第３図の（ｂ１図はこの発明の他の実施例の磁性薄膜の
膜厚の拡大図である。磁性薄膜の材料として金属系磁性
体（パーマロイ、センダストなど）を用いると、比抵抗
が小さいため磁気ヘッドチップ内で渦電流が流ｎ易くな
り、周波数によっては磁束の表皮効果により磁性薄膜の
断面全体が有効に使えなくなって磁気特性の劣化を招く
。そこで、この表皮効果による影響を避けるため、磁性
薄ノ漠を、ｓｉ、ｏ２やＡ４２０３などの電気絶縁材料
で層間を絶縁して多層化することにより、膜厚全体を有
効に利用することができ。
膜厚の拡大図である。磁性薄膜の材料として金属系磁性
体（パーマロイ、センダストなど）を用いると、比抵抗
が小さいため磁気ヘッドチップ内で渦電流が流ｎ易くな
り、周波数によっては磁束の表皮効果により磁性薄膜の
断面全体が有効に使えなくなって磁気特性の劣化を招く
。そこで、この表皮効果による影響を避けるため、磁性
薄ノ漠を、ｓｉ、ｏ２やＡ４２０３などの電気絶縁材料
で層間を絶縁して多層化することにより、膜厚全体を有
効に利用することができ。
高周波での磁気特性の劣化を防止することができる。そ
こで、第３図のわ）図の実施例では、５層の磁性薄膜２
９とこｎ、らの層間を絶縁層３０で絶縁したものである
。なお、この磁性薄膜の層数に制限はなく、磁気特性と
の兼ね合いで決定さｎ、るものである。
こで、第３図のわ）図の実施例では、５層の磁性薄膜２
９とこｎ、らの層間を絶縁層３０で絶縁したものである
。なお、この磁性薄膜の層数に制限はなく、磁気特性と
の兼ね合いで決定さｎ、るものである。
（発明の効果）
この発明の磁気ヘッドは、以上詳述したように、磁性薄
膜で磁気ヘッドチップを構成することにより、従来の磁
気ヘッドに較べて容易に狭トラツク化を実現することが
でき、高いトラック幅精度を有する磁気ヘッドを作るこ
とが可能となり、その磁性薄膜をスパッタリング加工や
蒸着加工などで形成することにより、磁性材料″の使用
効率を高め、また、磁性薄膜を絶縁層を介して多層化す
ることにより、磁気特性が向上し、製造歩留の向上はも
ちろんのこと、製造時間の短縮化を達成することができ
、均一な製品を多量生産することができるなど多くの特
長を有する。
膜で磁気ヘッドチップを構成することにより、従来の磁
気ヘッドに較べて容易に狭トラツク化を実現することが
でき、高いトラック幅精度を有する磁気ヘッドを作るこ
とが可能となり、その磁性薄膜をスパッタリング加工や
蒸着加工などで形成することにより、磁性材料″の使用
効率を高め、また、磁性薄膜を絶縁層を介して多層化す
ることにより、磁気特性が向上し、製造歩留の向上はも
ちろんのこと、製造時間の短縮化を達成することができ
、均一な製品を多量生産することができるなど多くの特
長を有する。
第１図はこの発明の磁気ヘッドを示しその鯰）図は平面
図、（ｂ１図は正面図、（０）図は細面図、第２図はこ
の発明の磁気ヘッドの製造工程を示す図、第３図は磁性
薄膜の拡大図で（α）図は一層の磁性薄膜で、（ｂ１図
は多層の磁性薄膜を示す。第４図は従来の磁気ヘッドで
、（α）図は平面図、（ｂ１図は一部切断した正面図、
（Ｃｌ図は一部切断した側面図、第５図は従来の磁気ヘ
ッドチップの分解図である。 １０・・・記録・再生用巻線、１１・・・消去用巻線、
１２．１３・・・磁気ヘッドギャップ、１４・・・記録
−再生用ヘッドチップ、１５・・・消去用ヘッドチップ
、１６・・・ヘッドサポート部、１７・・・磁気記録媒
体と接触する表面、１８・・・巻線を行なう溝、１９・
・・セラミック基板、２０・・・磁性薄膜、２１・・・
スペーサ、２２・・・巻線溝、２３ 、２４−・・ギャ
ップ対向面、２５・・・ギャップ、２６・・・記録・再
生ヘッドチップ、２７・・・消去ヘッドチップ、２８・
・・一層の磁性薄膜、２９・・・多層の磁性薄膜、３０
・・・絶縁層。 ！４図 ８１１図 第２ｒｇＪ （ｅ） （ｆ） （９） （ｈ
）第３Ｉ！Ｉ （ｂ）
図、（ｂ１図は正面図、（０）図は細面図、第２図はこ
の発明の磁気ヘッドの製造工程を示す図、第３図は磁性
薄膜の拡大図で（α）図は一層の磁性薄膜で、（ｂ１図
は多層の磁性薄膜を示す。第４図は従来の磁気ヘッドで
、（α）図は平面図、（ｂ１図は一部切断した正面図、
（Ｃｌ図は一部切断した側面図、第５図は従来の磁気ヘ
ッドチップの分解図である。 １０・・・記録・再生用巻線、１１・・・消去用巻線、
１２．１３・・・磁気ヘッドギャップ、１４・・・記録
−再生用ヘッドチップ、１５・・・消去用ヘッドチップ
、１６・・・ヘッドサポート部、１７・・・磁気記録媒
体と接触する表面、１８・・・巻線を行なう溝、１９・
・・セラミック基板、２０・・・磁性薄膜、２１・・・
スペーサ、２２・・・巻線溝、２３ 、２４−・・ギャ
ップ対向面、２５・・・ギャップ、２６・・・記録・再
生ヘッドチップ、２７・・・消去ヘッドチップ、２８・
・・一層の磁性薄膜、２９・・・多層の磁性薄膜、３０
・・・絶縁層。 ！４図 ８１１図 第２ｒｇＪ （ｅ） （ｆ） （９） （ｈ
）第３Ｉ！Ｉ （ｂ）
Claims (2)
- （１）電磁変換素子である磁気ヘッドチップとこの磁気
ヘッドチップの両側を挾み込むヘッドサポート部を備え
、磁気記録媒体と対向する表面が球面状をなし、磁気記
録媒体と接触走行しながら記録・再生を行なう磁気ヘッ
ドにおいて、前記ヘッドサポート上にスパッタリング加
工または蒸着加工などで形成した磁性薄膜で磁気ヘッド
チップを構成したことを特徴とする磁気ヘッド。 - （２）電磁変換素子である磁気ヘッドチップとこの磁気
ヘッドチップの両側を挾み込むヘッドサポート部を備え
、磁気記録媒体と対向する表面が球面状をなし、磁気記
録媒体と接触走行しながら記録・再生を行なう磁気ヘッ
ドにおいて、前記ヘッドサポート上にスパッタリング加
工または蒸着加工などで形成した磁性薄膜をＳｉＯ＿２
またはＡｌ＿２Ｏ＿３などの電気絶縁材料で層間を絶縁
して多層化した磁気ヘッドチップを構成したことを特徴
とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22339484A JPS61104411A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22339484A JPS61104411A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61104411A true JPS61104411A (ja) | 1986-05-22 |
Family
ID=16797454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22339484A Pending JPS61104411A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61104411A (ja) |
-
1984
- 1984-10-24 JP JP22339484A patent/JPS61104411A/ja active Pending
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